本申请涉及一种过滤装置及镀膜系统，壳体内形成有反应腔，壳体上开设有进气口及出气口。第一导流组件及第二导流组件均设置于反应腔内，并沿气流的流动方向交替间隔设置。在气流的流动方向上，第一过滤板的正投影及第二过滤板的正投影不重叠。尾气通过第一过滤板流入导流腔后，会在第二导流板的引导下改变流动方向，并沿着第二导流板的延伸方向流向第二过滤板，尾气通过第二过滤板流入导流腔后，会在第一导流板的引导下改变流动方向，并沿着第一导流板的延伸方向流向第一过滤板。如此，能够延长尾气在导流腔中的流通路径。长尾气在导流腔中的流通路径。长尾气在导流腔中的流通路径。
【技术实现步骤摘要】
过滤装置及镀膜系统
[0001]本申请涉及镀膜
，特别是涉及一种过滤装置及镀膜系统。
技术介绍
[0002]在现有技术中，ALD(Atomic Layer Deposition，原子层沉积技术)工艺为较为常用的镀膜技术。在ALD工艺的镀膜系统运行的过程中，通过将工艺气体脉冲交替地通入镀膜腔室，工艺气体在沉积基体上化学吸附并反应，而形成沉积膜。反应后的尾气中本身便会夹带粉尘颗粒，且尾气中未反应的工艺气体在过滤装置及真空泵中发生反应，产生新的粉尘颗粒。真空泵将反应后的尾气抽出镀膜装置，尾气依次流经颗粒捕捉过滤装置和真空泵。
[0003]现有的过滤装置能够对反应后的尾气中夹带的粉尘颗粒进行过滤，但，未反应的工艺气体在流经现有的过滤装置后，仍会在真空泵中与空气发生反应，并产生新的粉尘颗粒，且粉尘颗粒会在真空泵中积累，进而引起真空泵卡泵，影响镀膜系统的正常运行。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对如何延长尾气在过滤装置内的流通路径的问题，提供一种过滤装置及镀膜系统。
[0005]一种过滤装置，包括：
[0006]壳体，其内形成有反应腔，所述壳体上开设有进气口及出气口；
[0007]第一导流组件及第二导流组件，均设置于所述反应腔内，并沿气流的流动方向交替间隔设置，相邻的所述第一导流组件及所述第二导流组件之间形成导流腔；
[0008]其中，所述第一导流组件包括连接的第一导流板及第一过滤板，所述第二导流组件包括连接的第二导流板及第二过滤板，在气流的流动方向上，所述第一过滤板的正投影及所述第二过滤板的正投影不重叠。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一导流板围绕所述第一过滤板的周向设置；所述第二过滤板围绕所述第二导流板的周向设置。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一导流板相对所述第一过滤板朝气流的流动方向或者与气流的流动方向相反的方向延伸。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二导流板包括第一子板及第二子板，所述第二子板围绕所述第一子板的周向设置，且所述第二子板连接所述第一子板与所述第二过滤板；
[0012]其中，所述第二子板及所述第二过滤板均相对所述第一子板朝气流的流动方向或者与气流的流动方向相反的方向延伸。
[0013]在其中一个实施例中，所述第一导流板、所述第二子板及所述第二过滤板延伸的方向相同。
[0014]在其中一个实施例中，包括过滤件，所述过滤件设置于所述出气口处。
[0015]在其中一个实施例中，包括补气管道组件，所述补气管道组件包括相互连通的进气管及出气管，所述出气管设置于所述反应腔内，所述出气管设有若干个出气孔；
[0016]所述进气管用于向所述出气管内输入反应气体。
[0017]在其中一个实施例中，其特征在于，所述出气管位于所述反应腔内靠近所述进气口处。
[0018]在其中一个实施例中，所述出气管为多个，且所述出气管与所述导流腔一一对应，所述出气管设置于对应的所述导流腔内。
[0019]一种镀膜系统，包括：
[0020]镀膜装置，其内设有镀膜腔室；
[0021]真空泵；以及
[0022]前述实施例中的过滤装置，所述过滤装置的进气口与所述镀膜腔室连通，所述过滤装置的出气口与所述真空泵连通。
[0023]上述过滤装置及镀膜系统，过滤装置包括壳体、第一导流组件及第二导流组件。壳体内形成有反应腔，壳体上开设有进气口及出气口。第一导流组件及第二导流组件均设置于反应腔内，并沿气流的流动方向交替间隔设置，相邻的第一导流组件及第二导流组件之间形成导流腔。其中，第一导流组件包括连接的第一导流板及第一过滤板，第二导流组件包括连接的第二导流板及第二过滤板，在气流的流动方向上，第一过滤板的正投影及第二过滤板的正投影不重叠。本申请实施例中的过滤装置，第一导流组件或第二导流组件将反应腔分割为连通的进气腔、导流腔及出气腔，进气腔与进气口连通，出气腔与出气口连通。尾气从进气口流入反应腔后，需要依次流经进气腔、导流腔和出气腔，再从出气口流出。其中，尾气通过第一过滤板流入导流腔后，会在第二导流板的引导下改变流动方向，并沿着第二导流板的延伸方向流向第二过滤板，如此，能够延长尾气在导流腔中的流通路径。同理，尾气通过第二过滤板流入导流腔后，会在第一导流板的引导下改变流动方向，并沿着第一导流板的延伸方向流向第一过滤板。
附图说明
[0024]图1为本申请中的镀膜系统的结构示意图，其中，箭头的方向为尾气的流动方向或参与镀膜的工艺气体的流动方向。
[0025]图2为本申请一实施例中的过滤装置的结构示意图。
[0026]图3为本申请另一实施例中的过滤装置的结构示意图，其中，箭头的方向为尾气的流动方向或反应气体的流动方向。
[0027]图4为图3中的A区局部放大结构示意图，其中，箭头的方向为尾气的流动方向或反应气体的流动方向。
[0028]图5为本申请又一实施例中的过滤装置的结构示意图。
[0029]图6为本申请再一实施例中的过滤装置的结构示意图，其中，箭头的方向为尾气的流动方向或反应气体的流动方向。
[0030]图7为本申请还一实施例中的过滤装置的结构示意图，其中，箭头的方向为尾气的流动方向或反应气体的流动方向。
[0031]图8为本申请中的补气管道组件的结构示意图。
[0032]附图标记
[0033]100、镀膜系统；
[0034]11、过滤装置；
[0035]111、壳体；111a、反应腔；111b、进气口；111c、出气口；111d、导流腔；111e、进气腔；111f、出气腔；1111、上盖；
[0036]112、第一导流组件；1121、第一导流板；1122、第一过滤板；112a、第一圆台形空间；
[0037]113、第二导流组件；1131、第二导流板；1132、第一子板；1133、第二子板；1134、第二过滤板；113a、第二圆台形空间；
[0038]114、补气管道组件；1141、进气管；1142、出气管；
[0039]115、过滤件；
[0040]12、镀膜装置；13、真空泵。
具体实施方式
[0041]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0042]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：壳体，其内形成有反应腔，所述壳体上开设有进气口及出气口；第一导流组件及第二导流组件，均设置于所述反应腔内，并沿气流的流动方向交替间隔设置，相邻的所述第一导流组件及所述第二导流组件之间形成导流腔；其中，所述第一导流组件包括连接的第一导流板及第一过滤板，所述第二导流组件包括连接的第二导流板及第二过滤板，在气流的流动方向上，所述第一过滤板的正投影及所述第二过滤板的正投影不重叠。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述第一导流板围绕所述第一过滤板的周向设置；所述第二过滤板围绕所述第二导流板的周向设置。3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述第一导流板相对所述第一过滤板朝气流的流动方向或者与气流的流动方向相反的方向延伸。4.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述第二导流板包括第一子板及第二子板，所述第二子板围绕所述第一子板的周向设置，且所述第二子板连接所述第一子板与所述第二过滤板；其中，所述第二子板及所述第二过滤板均相对所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛文瑞，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。