【技术实现步骤摘要】
激光加压头部模块以及包括其的激光焊接装置
[0001]本专利技术涉及激光加压头部模块以及包括其的激光焊接装置。
技术介绍
[0002]随着信息化社会的发展,对于用来显示图像的显示装置的要求正在以各种形态增加。显示装置可以是如液晶显示装置(Liquid Crystal Display)、场致发射显示装置(Field Emission Display)、发光显示装置(Light Emitting Display)等这样的平板显示装置。
[0003]在以大型尺寸制造显示装置的情况下,由于像素数量的增加,发光元件的不良率可能会增加,生产性或可靠性可能会下降。为了解决这些问题,正在开发连接具有相对小的尺寸的多个显示装置来实现大型尺寸的显示屏的瓦片型显示装置。
[0004]另一方面,在基板中,对半导体元件等进行激光焊接。激光焊接在利用加压部件按压基板上的半导体元件的同时向半导体元件照射激光束来执行。
[0005]此时,向加压部件也会施加热,因此在加压部件中可能会产生热变形。由于这种热变形,在基板与半导体元件之间可能会产生未接触或半导体元件的对齐错误。由此,可能会向半导体元件传递不均匀的焊接力(welding force)。此外,加压部件的面积越大,越难管理用于加工的平坦度和平行度。
技术实现思路
[0006]因此,本专利技术要解决的课题在于,提供一种对基板和半导体元件均匀地进行加压的激光加压头部模块以及包括其的激光焊接装置。
[0007]本专利技术的课题并不限于以上所提及的课题,通 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光加压头部模块,包括:加压部件,包括第一透光部件和第二透光部件,在所述第一透光部件与所述第二透光部件之间形成密封的空间;以及气体供给部,向所述密封的空间供给气体来产生焊接力,所述第二透光部件通过所述焊接力而朝向外部方向膨胀或移动。2.根据权利要求1所述的激光加压头部模块,其中,所述第二透光部件被配置成在厚度方向上与所述第一透光部件重叠。3.根据权利要求2所述的激光加压头部模块,其中,所述第一透光部件由刚性物质形成,所述第二透光部件由弹性物质形成。4.根据权利要求3所述的激光加压头部模块,其中,所述第一透光部件形成为与所述第二透光部件相向的背面的角部被斜线切割的倒棱形状。5.根据权利要求4所述的激光加压头部模块,其中,所述第一透光部件包括在所述倒棱形状的所述角部配置遮光物质的遮光区域。6.根据权利要求4所述的激光加压头部模块,其中,所述第二透光部件包括在与所述第一透光部件的所述倒棱形状的所述角部重叠的区域中配置遮光物质的遮光区域。7.根据权利要求3所述的激光加压头部模块,其中,在所述第一透光部件与所述第二透光部件之间包括由弹性物质形成的第三透光部件,所述密封的空间形成在所述第二透光部件与所述第三透光部件之间。8.根据权利要求2所述的激光加压头部模块,还包括:拉伸部件,连接所述第一透光部件与所述第二透光部件,包围所述密封的空间,所述拉伸部件通过所述焊接力朝向所述第二透光部件的方向延伸。9.根据权利要求8所述的激光加压头部模块,其中,IPA2210KR1249所述拉伸部件由波纹管形成。10.根据权利要求8所述的激光加压头部模块,其中,所述第一透光部件和所述第二透光部件由刚性物质形成。11.根据权利要求10所述的激光加压头部模块,其中,所述第二透光部件是一面的角部被斜线切割的倒棱形状。12.根据权利要求11所述的激光加压头部模块,其中,所述第二透光部件包括在所述倒棱形状的所述角部配置遮光物质的遮光区域。13.根据权利要求1所述的激光加压头部模块,其中,所述焊接力是0.5MPa~1MPa。14.根据权利要求1所述的激光加压头部模块,其中,所述气体供给部包括:存储库,存储所述气体;气体泵,对所述气体进行加压来加以供给;气体阀,调节所述气体的流动;以及
气体供给导管,提供将所述气体供给到所述密封的空间的内部的路径。15.根据权利要求14所述的激光加压头部模块,其中,所述第一透光部件和第二透光部件之中的至少一个包括用于连接所述气体供给导管与所述密封的空间的贯通孔。16.一种激...
【专利技术属性】
技术研发人员:金钟协,李鎭坪,金吉准,金容焕,裵敏镐,梁海旭,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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