晶圆的晶粒图像重构方法技术

本申请公开一种晶圆的晶粒图像重构方法

【技术实现步骤摘要】
晶圆的晶粒图像重构方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本申请涉及半导体制造
，尤其涉及一种晶圆的晶粒图像重构方法
、
装置
、
电子设备及存储介质
。

技术介绍

[0002]一片晶圆上可以制造几十万个晶粒，通常晶粒是规则的，所以晶粒可以在晶圆上紧密有序排列
。
当晶圆扫描到系统记录时，由于晶粒的数量庞大且晶粒可观测面积过小，故能够记录得到的只有晶粒的排列情况，记录的是晶粒的相对位置
。
[0003]要对晶粒进行检测，判断是否存在缺陷或者瑕疵，需要使用高清摄像头捕捉，此时只能捕捉到晶圆的一部分，要捕捉得到所有整个晶圆需要多次有序捕捉
。
由于每次捕捉图像会因为环境因素的影响导致捕捉到的局部图像存在角度偏移，故无法准确确定各晶粒在晶圆中的相对位置，从而对晶粒的检测结果造成影响
。
[0004]上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术
。

技术实现思路

[0005]本申请的主要目的在于提供一种晶圆的晶粒图像重构方法
、
装置
、
电子设备及存储介质，旨在解决目前获取晶圆局部图像对晶粒进行检测时，可能影响晶粒检测结果的技术问题
。
[0006]为实现上述目的，本申请提出一种晶圆的晶粒图像重构方法，所述晶圆上不同区域的晶粒对应不同的局部图像，所述晶圆的晶粒图像重构方法包括以下步骤：对于任意一局部图像，从所述局部图像中获取第一晶粒和第二晶粒，得到矫正晶粒合集，其中，所述第一晶粒为最接近局部图像中心位置的晶粒，初始的第二晶粒在所述局部图像中与所述第一晶粒相邻，且初始的第二晶粒之间在所述局部图像中不处于同一排且不处于同一列；基于所述晶圆的预设标准晶粒阵列中晶粒与所述矫正晶粒合集中晶粒的关联关系，对所述局部图像进行矫正得到矫正局部图像；将各所述局部图像的矫正局部图像进行组合得到完整晶圆图像，并将所述完整晶圆图像中各晶粒与预设标准晶粒阵列中各晶粒进行对齐关联
。
[0007]可选地，所述基于所述晶圆的预设标准晶粒阵列中晶粒与所述矫正晶粒合集中晶粒的关联关系，对所述局部图像进行矫正得到矫正局部图像的步骤包括：将所述第一晶粒与所述局部图像中心位置在预设标准晶粒阵列中对应的目标基础晶粒关联；基于所述目标基础晶粒将各所述第二晶粒与所述预设标准晶粒阵列中的晶粒进行关联，得到关联晶粒合集，其中，所述关联晶粒合集包括所述预设标准晶粒阵列中与所述第一晶粒关联的晶粒，以及所述预设标准晶粒阵列中与各所述第二晶粒关联的晶粒；
根据所述关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，生成所述矫正晶粒合集转换至所述关联晶粒合集的仿射信息；基于所述仿射信息将所述局部图像旋转矫正得到所述矫正局部图像
。
[0008]可选地，所述基于所述目标基础晶粒将各所述第二晶粒与所述预设标准晶粒阵列中的晶粒进行关联的步骤包括：对任意一个第二晶粒，确定所述第二晶粒相对所述第一晶粒的相对位置；将所述预设标准晶粒阵列中，位于所述目标基础晶粒的所述相对位置上的晶粒，与所述第二晶粒关联
。
[0009]可选地，所述仿射信息为仿射矩阵，根据所述关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，生成所述矫正晶粒合集转换至所述关联晶粒合集的仿射信息的步骤包括：确定所述矫正晶粒合集中各晶粒在所述局部图像的第一坐标系中的第一坐标数据合集，其中，所述局部图像为矩形，所述第一坐标系为基于所述局部图像构建，所述第一坐标系的坐标轴为所述局部图像的相邻边；确定所述关联晶粒合集中各晶粒在第二坐标系中的第二坐标数据合集，其中，所述第二坐标系基于所述局部图像在晶圆上的标准矩形获取区域构建，所述第二坐标系的坐标轴为所述标准矩形获取区域的相邻边；根据晶关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，确定所述第一坐标数据合集中的坐标与所述第二坐标数据合集中的坐标之间的关联关系；根据所述第一坐标数据合集中的坐标与所述第二坐标数据合集中的坐标之间的关联关系，生成所述第一坐标数据合集转换至所述第二坐标数据合集的仿射矩阵
。
[0010]可选地，所述仿射信息为仿射矩阵，所述基于所述仿射信息将所述局部图像进行旋转得到所述矫正局部图像的步骤包括：基于所述仿射矩阵将所述局部图像进行旋转矫正得到预备矫正局部图像；判断所述预备矫正局部图像中各晶粒与所述预设标准晶粒阵列中各晶粒的偏离度是否大于预设偏离度；若大于或等于所述预设偏离度，则从所述局部图像中任获取一晶粒作为第二晶粒加入至所述矫正晶粒合集中，生成新的矫正晶粒合集，基于所述新的矫正晶粒合集返回执行所述基于所述目标基础晶粒将所述第二晶粒与所述预设标准晶粒阵列中的晶粒进行关联，得到关联晶粒合集的步骤；若小于所述预设偏离度，则将所述预备矫正局部图像作为所述矫正局部图像
。
[0011]可选地，所述将各所述局部图像的矫正局部图像进行组合得到完整晶圆图像的步骤包括：基于各所述矫正局部图像获取时的位置，将各所述矫正局部图像组合得到组合图像；对所述组合图像中重叠部分的晶粒进行去重得到所述完整晶圆图像
。
[0012]可选地，所述对所述组合图像中重叠部分的晶粒进行去重得到所述完整晶圆图像的步骤包括：若所述重叠部分为两组连续的晶粒重叠，将两组晶粒中长度短的晶粒组作为目标
组，将目标组中与另一晶粒组重叠的晶粒去除；若所述重叠部分为一组连续的晶粒与一组不连续的晶粒重叠，则将不连续的晶粒组中与另一晶粒组重叠的晶粒去除
。
[0013]此外，为实现上述目的，本申请还提供一种晶圆的晶粒图像重构装置，所述晶圆的晶粒图像重构装置包括：获取模块，用于对于任意一局部图像，从所述局部图像中获取第一晶粒和第二晶粒，得到矫正晶粒合集，其中，所述第一晶粒为最接近局部图像中心位置的晶粒，初始的第二晶粒在所述局部图像中与所述第一晶粒相邻，且初始的第二晶粒之间在所述局部图像中不处于同一排且不处于同一列；矫正模块，用于基于所述晶圆的预设标准晶粒阵列中晶粒与所述矫正晶粒合集中晶粒的关联关系，对所述局部图像进行矫正得到矫正局部图像；组合模块，用于将各所述局部图像的矫正局部图像进行组合得到完整晶圆图像，并将所述完整晶圆图像中各晶粒与预设标准晶粒阵列中各晶粒进行对齐关联
。
[0014]此外，为实现上述目的，本申请还提供一种电子设备，所述电子设备包括：存储器
、
处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的晶圆的晶粒图像重构程序，所述晶圆的晶粒图像重构程序被所述处理器执行时实现如上述的晶圆的晶粒图像重构方法的步骤
。
[0015]此外，为实现上述目的，本申请还一种可读储存介质，所述可读存储介质上存储有晶圆的晶粒图像重构程序，所述晶圆的晶粒图像重构程序被处理器执行时实现如上述的晶圆的晶粒图像重构方法的步骤
。
[0016]本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆的晶粒图像重构方法，其特征在于，所述晶圆上不同区域的晶粒对应于不同的局部图像，所述晶圆的晶粒图像重构方法包括以下步骤：对于任意一局部图像，从所述局部图像中获取第一晶粒和第二晶粒，得到矫正晶粒合集，其中，所述第一晶粒为最接近局部图像中心位置的晶粒，初始的第二晶粒在所述局部图像中与所述第一晶粒相邻，且初始的第二晶粒之间在所述局部图像中不处于同一排且不处于同一列；基于所述晶圆的预设标准晶粒阵列中晶粒与所述矫正晶粒合集中晶粒的关联关系，对所述局部图像进行矫正得到矫正局部图像；将各所述局部图像的矫正局部图像进行组合得到完整晶圆图像，并将所述完整晶圆图像中各晶粒与预设标准晶粒阵列中各晶粒进行对齐关联
。2.
如权利要求1所述的晶圆的晶粒图像重构方法，其特征在于，所述基于所述晶圆的预设标准晶粒阵列中晶粒与所述矫正晶粒合集中晶粒的关联关系，对所述局部图像进行矫正得到矫正局部图像的步骤包括：将所述第一晶粒与所述局部图像中心位置在预设标准晶粒阵列中对应的目标基础晶粒关联；基于所述目标基础晶粒将各所述第二晶粒与所述预设标准晶粒阵列中的晶粒进行关联，得到关联晶粒合集，其中，所述关联晶粒合集包括所述预设标准晶粒阵列中与所述第一晶粒关联的晶粒，以及所述预设标准晶粒阵列中与各所述第二晶粒关联的晶粒；根据所述关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，生成所述矫正晶粒合集转换至所述关联晶粒合集的仿射信息；基于所述仿射信息将所述局部图像旋转矫正得到所述矫正局部图像
。3.
如权利要求2所述的晶圆的晶粒图像重构方法，其特征在于，所述基于所述目标基础晶粒将各所述第二晶粒与所述预设标准晶粒阵列中的晶粒进行关联的步骤包括：对任意一个第二晶粒，确定所述第二晶粒相对所述第一晶粒的相对位置；将所述预设标准晶粒阵列中，位于所述目标基础晶粒的所述相对位置上的晶粒，与所述第二晶粒关联
。4.
如权利要求2所述的晶圆的晶粒图像重构方法，其特征在于，所述仿射信息为仿射矩阵，根据所述关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，生成所述矫正晶粒合集转换至所述关联晶粒合集的仿射信息的步骤包括：确定所述矫正晶粒合集中各晶粒在所述局部图像的第一坐标系中的第一坐标数据合集，其中，所述局部图像为矩形，所述第一坐标系为基于所述局部图像构建，所述第一坐标系的坐标轴为所述局部图像的相邻边；确定所述关联晶粒合集中各晶粒在第二坐标系中的第二坐标数据合集，其中，所述第二坐标系基于所述局部图像在晶圆上的标准矩形获取区域构建，所述第二坐标系的坐标轴为所述标准矩形获取区域的相邻边；根据晶关联晶粒合集中的晶粒与所述矫正晶粒合集中的晶粒之间的关联关系，确定所述第一坐标数据合集中的坐标与所述第二坐标数据合集中的坐标之间的关联关系；根据所述第一坐标数据合集中的坐标与所述第二坐标数据合集中的坐标之间的关联关系，生成所述第一坐标数据合集转换至所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘飞飞，肖俊河，刘斌，李杰，郭宇翔，
申请(专利权)人：珠海埃克斯智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：