【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性膜、感光性元件及层叠体的制造方法
[0001]本专利技术涉及一种感光性膜
、
感光性元件
、
层叠体的制造方法等
。
技术介绍
[0002]在能够用作配线基板的层叠体的制造中,形成抗蚀剂图案以获得所期望的配线
。
抗蚀剂图案能够通过对使用感光性树脂组合物获得的感光性树脂层进行曝光及显影来形成
。
作为感光性树脂组合物,研究了各种组合物
。
例如,在下述专利文献1中,记载了含有粘合剂聚合物
、
光聚合性化合物及特定的光聚合引发剂的感光性树脂组合物
。
能够通过将感光性树脂组合物成形为膜状而获得感光性膜
。
[0003]以往技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开
2019
‑
028398
号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的技术课题
[0007]在使用感光性膜或感光性树脂组合物形成能够用作抗蚀剂图案的固化物图案时,有时形成具有直线状的线部分和与线部分相邻的直线状的空间部分的固化物图案
。
而且,当形成空间部分的宽度
(
空间宽度
)
小于线部分的宽度
(
线宽度
)
的固化物图案时,作为良好地形成线部分及空间部分的特性,要求优异的分辨率
。
并且,当形成线宽度小于空间宽度的固 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种感光性膜,其含有:
(A)
粘合剂聚合物;
(B)
光聚合性化合物;
(C)
光聚合引发剂;
(D)
选自由蒽化合物
、
吡唑啉化合物及二苯乙烯基苯化合物组成的组中的至少一种;及
(E)
萘化合物
。2.
根据权利要求1所述的感光性膜,其中,所述
(A)
成分具有
(
甲基
)
丙烯酸芳基酯及苯乙烯化合物作为单体单元
。3.
根据权利要求1或2所述的感光性膜,其中,所述
(A)
成分中的苯乙烯化合物的单体单元的含量以构成所述
(A)
成分的单体单元的总量为基准为
40
质量%以上
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的感光性膜,其中,所述
(A)
成分的重均分子量为
20000
~
50000。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的感光性膜,其中,所述
(B)
成分包含双酚
A
型
(
甲基
)
丙烯酸化合物
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的感光性膜,其中,所述
(B)
成分包含具有聚氧亚烷基的
(
甲基
)
丙烯酸化合物
。7.
根据权利要求1至6中任一项所述的感光性膜,其中,所述
(B)
成分的含量相对于所述
(A)
成分及所述
(B)
成分的总量
100
质量份为
30
~
60
质量份
。8.
根据权利要求1至7中任一项所述的感光性膜,其中,所述
(D)
成分包含蒽化合物,以所述蒽化合物的总质量为基准,具有键合于蒽环的9位及
10
位的未经取代的烷氧基的蒽化合物的含量为
50
~
100
质量%
。9.
根据权利要求8所述的感光性膜,其中,所述
(D...
【专利技术属性】
技术研发人员:成田真生,小野敬司,渡边祐作,桐生真奈美,武田明子,大友聪,
申请(专利权)人:株式会社力森诺科,
类型:发明
国别省市:
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