钽靶材吊装工具及吊装方法技术

本发明专利技术属于吊装技术领域，公开了一种钽靶材吊装工具及吊装方法。该钽靶材吊装工具包括基体、第一夹板和第二夹板以及第一调节结构和第二调节结构，基体具有相对且间隔设置的第一基块和第二基块；第一夹板设置于第一基块朝向第二基块的一侧，且通过第一调节结构与第一基块的间距可调，第二夹板设置于第二基块朝向第一基块的一侧，且通过第二调节结构与第二基块的间距可调。在夹紧钽靶材前，需要先保证第一夹板与第一基块之间以及第二夹板与第二基块之间均具有间隙。该钽靶材吊装工具及吊装方法能够方便钽靶材的上下机和翻面，提高钽靶材的加工效率，降低工作人员的劳动强度，还能避免钽靶材发生跌落而造成工作人员的伤害以及钽靶材的损伤报废。靶材的损伤报废。靶材的损伤报废。

【技术实现步骤摘要】
钽靶材吊装工具及吊装方法


[0001]本专利技术涉及吊装
，尤其涉及一种钽靶材吊装工具及吊装方法。

技术介绍

[0002]随着电子技术的高速发展，钽靶材作为半导体芯片制造过程中的溅射耗材，应用越来越广泛。钽靶材一般是以钽锭为原料所制成的圆形板材，将钽锭以锯切、压延等方式加工得到近似所需的厚度及外径，获得钽靶材的毛坯料，然后对毛坯料的周向侧面进行加工，得到规则的圆柱形侧面，再装夹到车削机床上，对其两个端面进行加工。为了避免端面车削时产生的钽屑留在钽靶材表面影响钽靶材的加工和最终的成型质量，需要将钽靶材以竖直状态进行车削，因此车削机床的卡盘也竖直设置于工作平台上。
[0003]钽靶材的直径较大且重量较重，往往需要吊运至工作平台上，但钽靶材又需要使加工面紧靠卡盘安装，因此当卡盘竖直设置时，钽靶材很难直接吊装至卡盘上。现有技术通常采用吊带沿钽靶材的外周环绕勒紧，将其以竖直状态吊装至工作平台上靠近机床卡盘的位置，然后由多名工作人员扶稳钽靶材，取下吊带后，再合力将钽靶材移至靠近卡盘，并用卡盘上的卡爪夹紧，完成第一端面车削前的安装，待钽靶材的第一端面车削完毕后，再合力将钽靶材朝着背离卡盘的方向放倒并翻面，然后移动钽靶材使其第二端面靠近卡盘，并用卡爪夹紧，完成第二端面车削前的安装。
[0004]在此操作过程中，如果带着吊带直接夹装到卡爪上，会造成夹持不稳定，钽靶材易脱离卡爪，因此只能将吊带在卡盘附近撤掉，然后依靠多名工作人员合力操作实现钽靶材的上下机和翻面，如此导致了工作人员劳动强度大，钽靶材的上下机困难、翻面困难、加工效率低下，不利于批量化加工。与此同时，在吊带环绕钽靶材的外周进行吊装的过程中，以及工作人员人力搬运安装钽靶材的过程中，均存在钽靶材跌落的风险，容易造成工作人员的伤害以及钽靶材的损伤报废，不利于安全施工。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种钽靶材吊装工具及吊装方法，能够方便钽靶材的上下机和翻面，提高钽靶材的加工效率，降低工作人员的劳动强度，还能避免钽靶材发生跌落而造成工作人员的伤害以及钽靶材的损伤报废。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]一方面，提供了一种钽靶材吊装工具，能够将钽靶材直接吊装至车床上呈竖直状态设置的卡盘的卡爪内，包括：
[0008]基体，所述基体具有相对且间隔设置的第一基块和第二基块；
[0009]第一夹板和第二夹板，所述第一夹板设置于所述第一基块朝向所述第二基块的一侧，且与所述第一基块的间距可调，所述第二夹板设置于所述第二基块朝向所述第一基块的一侧，且与所述第二基块的间距可调，所述钽靶材能够沿其厚度方向夹紧于所述第一夹板和所述第二夹板之间；
[0010]第一调节结构和第二调节结构，所述第一调节结构的调节端设置于所述第一基块背离所述第一夹板的一侧，能够调节所述第一夹板与所述第一基块的间距，所述第二调节结构的调节端设置于所述第二基块背离所述第二夹板的一侧，能够调节所述第二夹板与所述第二基块的间距。
[0011]作为优选，所述第一调节结构包括第一紧固件和第一弹性件，所述第一紧固件穿设于所述第一基块，其调节端位于所述第一基块背离所述第一夹板的一侧，另一端能够抵接于所述第一夹板，通过调节所述第一紧固件的调节端能够改变所述第一紧固件抵接所述第一夹板的一端伸出所述第一基块的长度，所述第一弹性件的一端连接于所述第一夹板，另一端连接于所述第一基块，当所述第一夹板与所述第一基块具有间距时，所述第一弹性件处于拉伸变形状态；
[0012]所述第二调节结构包括第二紧固件和第二弹性件，所述第二紧固件穿设于所述第二基块，其调节端位于所述第二基块背离所述第二夹板的一侧，另一端能够抵接于所述第二夹板，通过调节所述第二紧固件的调节端能够改变所述第二紧固件抵接所述第二夹板的一端伸出所述第二基块的长度，所述第二弹性件的一端连接于所述第二夹板，另一端连接于所述第二基块，当所述第二夹板与所述第二基块具有间距时，所述第二弹性件处于拉伸变形状态。
[0013]作为优选，所述第一紧固件和所述第二紧固件均为紧固螺丝，所述第一调节结构的所述紧固螺丝螺纹穿设于所述第一基块，其旋拧端位于所述第一基块背离所述第一夹板的一侧，另一端能够抵接于所述第一夹板，通过旋拧所述第一调节结构的所述紧固螺丝能够改变其抵接所述第一夹板的一端伸出所述第一基块的长度；
[0014]所述第二调节结构的所述紧固螺丝螺纹穿设于所述第二基块，其旋拧端位于所述第二基块背离所述第二夹板的一侧，另一端能够抵接于所述第二夹板，通过旋拧所述第二调节结构的所述紧固螺丝能够改变其抵接所述第二夹板的一端伸出所述第二基块的长度。
[0015]作为优选，所述第一夹板和所述第二夹板相互朝向的侧面上均设置有防滑垫板。
[0016]作为优选，所述第一夹板和所述第二夹板均由硬质材料制成，所述防滑垫板由弹性材料制成。
[0017]作为优选，所述第一基块和所述第二基块上均设置有加厚部，所述第一调节结构设置于所述第一基块的所述加厚部上，所述第二调节结构设置于所述第二基块的所述加厚部上。
[0018]作为优选，所述钽靶材吊装工具还包括吊环，所述吊环设置于所述基体上，钩吊所述吊环时，所述第一夹板和所述第二夹板呈竖直状态。
[0019]作为优选，所述第一基块、所述第一夹板和所述第一调节结构所组合的整体的厚度小于所述卡爪的厚度，且能伸入相邻两个所述卡爪之间；
[0020]所述第二基块、所述第二夹板和所述第二调节结构所组合的整体的厚度小于所述卡爪的厚度，且能伸入相邻两个所述卡爪之间。
[0021]另一方面，提供了一种钽靶材吊装方法，采用上述钽靶材吊装工具，包括以下步骤：
[0022]S11、分别调节所述第一调节结构和所述第二调节结构，使所述第一夹板与所述第一基块之间以及所述第二夹板与所述第二基块之间均具有间隙；
[0023]S12、在所述钽靶材的第一端面车削完成后，将所述第一夹板伸入所述卡盘与所述钽靶材之间，所述第二夹板位于所述钽靶材背离所述卡盘的一侧，调节所述第二调节结构，使所述第二夹板朝着靠近所述第一夹板的方向移动，直至所述第一夹板和所述第二夹板夹紧所述钽靶材；
[0024]S13、将所述钽靶材从所述卡爪上松开，通过钩吊所述基体将所述钽靶材呈竖直状态吊起，旋转所述基体使所述第二基块和所述钽靶材的第二端面靠近所述卡盘，并将所述钽靶材锁紧于所述卡爪上；
[0025]S14、调节所述第一调节结构，使所述第一夹板朝着背离所述第二夹板的方向移动，以将所述钽靶材吊装工具从所述钽靶材上取下，完成所述钽靶材第二端面车削前的安装。
[0026]作为优选，在所述步骤S11之前，还包括以下步骤：
[0027]S01、分别调节所述第一调节结构和所述第二调节结构，使所述第一夹板与所述第一基块之间以及所述第二夹板与所述第二基块之间均具有间隙；
[0028]S02、将所述钽靶材沿其厚度方向穿设于所述第一夹板和所述第二夹板之间，调节所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.钽靶材吊装工具，能够将钽靶材(100)直接吊装至车床上呈竖直状态设置的卡盘的卡爪内，其特征在于，包括：基体(1)，所述基体(1)具有相对且间隔设置的第一基块(11)和第二基块(12)；第一夹板(2)和第二夹板(3)，所述第一夹板(2)设置于所述第一基块(11)朝向所述第二基块(12)的一侧，且与所述第一基块(11)的间距可调，所述第二夹板(3)设置于所述第二基块(12)朝向所述第一基块(11)的一侧，且与所述第二基块(12)的间距可调，所述钽靶材(100)能够沿其厚度方向夹紧于所述第一夹板(2)和所述第二夹板(3)之间；第一调节结构(4)和第二调节结构(5)，所述第一调节结构(4)的调节端设置于所述第一基块(11)背离所述第一夹板(2)的一侧，能够调节所述第一夹板(2)与所述第一基块(11)的间距，所述第二调节结构(5)的调节端设置于所述第二基块(12)背离所述第二夹板(3)的一侧，能够调节所述第二夹板(3)与所述第二基块(12)的间距。2.根据权利要求1所述的钽靶材吊装工具，其特征在于，所述第一调节结构(4)包括第一紧固件(41)和第一弹性件(42)，所述第一紧固件(41)穿设于所述第一基块(11)，其调节端位于所述第一基块(11)背离所述第一夹板(2)的一侧，另一端能够抵接于所述第一夹板(2)，通过调节所述第一紧固件(41)的调节端能够改变所述第一紧固件(41)抵接所述第一夹板(2)的一端伸出所述第一基块(11)的长度，所述第一弹性件(42)的一端连接于所述第一夹板(2)，另一端连接于所述第一基块(11)，当所述第一夹板(2)与所述第一基块(11)具有间距时，所述第一弹性件(42)处于拉伸变形状态；所述第二调节结构(5)包括第二紧固件(51)和第二弹性件(52)，所述第二紧固件(51)穿设于所述第二基块(12)，其调节端位于所述第二基块(12)背离所述第二夹板(3)的一侧，另一端能够抵接于所述第二夹板(3)，通过调节所述第二紧固件(51)的调节端能够改变所述第二紧固件(51)抵接所述第二夹板(3)的一端伸出所述第二基块(12)的长度，所述第二弹性件(52)的一端连接于所述第二夹板(3)，另一端连接于所述第二基块(12)，当所述第二夹板(3)与所述第二基块(12)具有间距时，所述第二弹性件(52)处于拉伸变形状态。3.根据权利要求2所述的钽靶材吊装工具，其特征在于，所述第一紧固件(41)和所述第二紧固件(51)均为紧固螺丝，所述第一调节结构(4)的所述紧固螺丝螺纹穿设于所述第一基块(11)，其旋拧端位于所述第一基块(11)背离所述第一夹板(2)的一侧，另一端能够抵接于所述第一夹板(2)，通过旋拧所述第一调节结构(4)的所述紧固螺丝能够改变其抵接所述第一夹板(2)的一端伸出所述第一基块(11)的长度；所述第二调节结构(5)的所述紧固螺丝螺纹穿设于所述第二基块(12)，其旋拧端位于所述第二基块(12)背离所述第二夹板(3)的一侧，另一端能够抵接于所述第二夹板(3)，通过旋拧所述第二调节结构(5)的所述紧固螺丝能够改变其抵接所述第二夹板(3)的一端伸出所述第二基块(12)的长度。4.根据权利要求1所述的钽靶材吊装工具，其特征在于，所述第一夹板(2)和所述第二夹板(3)相互朝向的侧面上均设置有防滑垫板(21)。5.根据权利要求4所述的钽靶材吊装工具，其特征在于，所述第一夹板(2)和所述第二夹板(3)均由硬质材料制成，所述防滑垫板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，李桂鹏，黄志攀，徐立红，
申请(专利权)人：同创丽水特种材料有限公司，
类型：发明
国别省市：