数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法技术

本发明专利技术公开了一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法。该镀膜机包括立式真空室、工件架、接收套、行星传动装置、计算机及软件等部分。行星传动装置实现接收套的自动间距调节和自转公转功能。计算机辅助设计软件模拟工件在真空室内的摆放形态,确定工件架数量和间距。间距调节时,接收套进入调节区段,共用动力装置带动间距调节传动齿圈转动完成间距调整;定位齿圈与间距调节传动齿圈通过调节与定位组件实现啮合切换。整个镀膜过程实现数字化零介入,大大提高效率。与传统手工操作相比,本发明专利技术无需人工计算和设置工件位置,也无需人工调节接收套间距,实现了自动化智能化,具有数字化、零介入、高效率、精准可靠等显著优点和进步。著优点和进步。著优点和进步。

【技术实现步骤摘要】
数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法


[0001]本专利技术属于产品的真空镀膜
，具体涉及一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是一种常见的工业设备
,
它利用真空环境和多种不同的物理及化学方法
,
将一定成分和结构的膜层溅射在产品表面形成保护层
。
[0003]真空镀膜机通常由真空镀膜室
、
用于将室内空气抽离以形成真空环境的加载泵
、
惰性气体管路系统
、
金属靶材
、
将金属靶材加热汽化等处理的溅射靶和蒸发机构
、
多个工件架
、
传动系统
、
动力系统和控制系统等组成
。
传动系统驱动工件架同时自转和公转
。
在以往的技术中，多个工件架是固定位列的，相互距离不能调节，这使得针对不同产品进行镀膜时，为使产品在真空镀膜室中的空间布置尽量合理，需要更换不同的工件架，但是即便如此，工件架的储备限于成本和存放条件，其规格种类也是有限的，另一方面，更换工件架的人力和时间的成本也不少，因此，一些不常镀膜加工的产品可能没有很匹配的工件架，而一些批量小的产品虽然有相匹配的工件架也会因为顾虑更换的时间和成本，而采用并不合适的工件架进行加工
。
这些情况都将影响生产效率
、
能源利用，镀膜的质量也受到影响
。
[0004]也正是因为工件架固定且相互距离不能调节
、
规格种类不能被有限限定，使得繁重的工件摆放工作较难的实现自动化
。
本申请人申报的申请号为
CN202211695902.2
的中国专利技术专利申请，公开了一种基于物联网技术的塑料餐具制造过程管控系统，这其中的真空镀膜机就是前述的结构
。
[0005]然而，在生产实际中，产品和真空镀膜室的结构都是已知的，假设可以做到对每个工件架的位置可调节，那么针对不同的产品就可以通过启用合适数量的工件架以及调节每个工件架的相互距离来适配，并在此基础上，进一步的利用计算机预先模拟编排，作业人员就可以视觉直观的从显示设备上观察这种布局，可以预先知道运行中的空间是否始终合理，由此，预备的工件架种类也能大大缩减，这样也就容易设置专用的吊运和摆放的装置，进而达到镀膜的工作人工零介入
。

技术实现思路

[0006]针对上述现有技术存在的缺陷，本专利技术所要解决的一个技术问题是提供一种能让产品事先通过数字化模拟排列摆放，从而让产品在真空镀膜室内获得正确合理的空间布置，并在此基础上进行远程控制，从而达到人工零介入的智能真空磁控溅射镀膜机
。
[0007]本专利技术的专利技术目的是通过以下技术方案实现的：一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
包括
:
立式真空室
,
用于进行镀膜
;
工件架
,
可在真空室开启时携带工件吊入或移出真空室
;
接收套
,
与工件架相连
,
间距可调节
;
行星传动装置
,
用于调节接收套之间的间距
,
并实现接收套的自转和公转
;
计算机和辅助软件
,
用于模拟工件在真空室内的摆放形态
,
并确定工件架数量和间距
;
所述行星传动装置包括
:
固定安装在真空室底部的固定基座
、
与固定基座可转动连接的行星架
;
行星架包括内圈
、
外圈和位于下方将内圈
、
外圈部分固连的连接实体
,
内圈和外圈未被连接的区域用于布置接收套
,
内圈的内部是一个回转空腔
,
向上和向外侧开口
;
紧密可转动安装在回转空腔内部的自转传动齿圈
、
所述自转传动齿圈在向上和朝向外侧的侧面均具有啮合齿
,
在安装就位后两处啮合齿分别对应的位于回转空腔向上和向外侧的开口
,
其中向上的啮合齿为圆柱形且高出开口一段
;
可紧密沿内圈滑移的滑座
、
紧密可转动地套接在滑座的外周面上的涡轮
、
涡轮的内圈设有与自转传动齿圈向上的啮合齿相配合的斜齿
,
外圈设有与蜗杆齿相配合的啮合齿
;
竖直设置并与涡轮啮合的蜗杆
、
一端固连在滑座上
、
另一端为自由端
、
中间设有安装腔以安装蜗杆的承载座
、
紧密可转动安装在外圈上的间距调节传动齿圈
、
同轴贴靠在间距调节传动齿圈上方并且大小
、
齿形一致
、
同时与外圈为固连的定位齿圈
、
设在承载座上的引导与复位组件和调节与定位组件
,
其中调节与定位组件实现定位齿圈与间距调节传动齿圈之间的啮合切换
,
以调节接收套的间距
;
一段固定在固定基座内侧壁
、
且向外突出的调节区段
。
[0008]作为优选，调节区段整体长度等于预设的单个接收套可调节范围的长度
,
其突出高度和大小形态则匹配触发切换件的斜台阶的尺寸和位置
。
调节区段的设计匹配了触发切换件的参数
,
使得调节动作准确
、
可控
。
[0009]作为优选，内圈
、
外圈与连接实体的连接部位均分为三段
。
内外圈分段连接
, 这样全部接收套的布置区域统一，便于设计自动调节还增强了结构强度
。
[0010]作为优选，滑座外周面为圆柱面
,
向上具有开口
,
自转传动齿圈的圆柱形啮合齿超出开口
。
滑座开口处配合自转传动齿圈
,
实现滑座带动自转传动
。
[0011]作为优选，滑座的两个端部均设置限位止口
。
滑座限位止口
,
确保滑座运动范围合理
,
避免故障
。
[0012]作为优选，涡轮可对称地分为两半
,
安装时通过螺栓紧固成为一体
。
涡轮可拆分设计
,
方便维修保养作为优选，引导与复位组件包括两根竖直设置的导柱和安装在导柱下段的复位弹簧
。
设置导柱和复位弹簧
,
使调节和定位动作更稳定可控
。
[0013]作为优选，调节与定位组件整体为矩形框架结构
,...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
包括
:
立式真空室
(01),
用于进行镀膜
;
工件架
(02),
可在真空室开启时携带工件吊入或移出真空室
;
接收套
(04),
与工件架
(02)
相连
,
间距可调节
;
行星传动装置
(20),
用于调节接收套
(04)
之间的间距
,
并实现接收套的自转和公转
;
计算机和辅助软件
,
用于模拟工件在真空室内的摆放形态
,
并确定工件架数量和间距
;
所述行星传动装置
(20)
包括
:
固定安装在真空室底部的固定基座
(21)、
与固定基座
(21)
可转动连接的行星架
(22);
行星架
(22)
包括内圈
(23)、
外圈
(24)
和位于下方将内圈
、
外圈部分固连的连接实体
(25),
内圈和外圈未被连接的区域用于布置接收套
04,
内圈
(23)
的内部是一个回转空腔
(26),
向上和向外侧开口
;
紧密可转动安装在回转空腔
(26)
内部的自转传动齿圈
(27)、
所述自转传动齿圈
(27)
在向上和朝向外侧的侧面均具有啮合齿
,
在安装就位后两处啮合齿分别对应的位于回转空腔
(26)
向上和向外侧的开口
,
其中向上的啮合齿为圆柱形且高出开口一段
;
可紧密沿内圈
(23)
滑移的滑座
(28)、
紧密可转动地套接在滑座
(28)
的外周面上的涡轮
(29)、
涡轮
(29)
的内圈设有与自转传动齿圈
(27)
向上的啮合齿相配合的斜齿
,
外圈设有与蜗杆齿相配合的啮合齿
;
竖直设置并与涡轮
(29)
啮合的蜗杆
(30)、
一端固连在滑座
(28)
上
、
另一端为自由端
、
中间设有安装腔
(31)
以安装蜗杆
(30)
的承载座
(32)、
紧密可转动安装在外圈
(24)
上的间距调节传动齿圈
(33)、
同轴贴靠在间距调节传动齿圈
(33)
上方并且大小
、
齿形一致
、
同时与外圈
(24)
为固连的定位齿圈
(34)、
设在承载座
(32)
上的引导与复位组件
(35)
和调节与定位组件
(36),
其中调节与定位组件
(36)
实现定位齿圈
(34)
与间距调节传动齿圈
(33)
之间的啮合切换
,
以调节接收套
(04)
的间距
;
一段固定在固定基座
(21)
内侧壁
、
且向外突出的调节区段
(211)。2.
根据权利要求1所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述调节区段
(211)
整体长度等于预设的单个接收套
(04)
可调节范围的长度
,
其突出高度和大小形态则匹配触发切换件
(363)
的斜台阶的尺寸和位置
。3.
根据权利要求1所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述内圈
(23)、
外圈
(24)
与连接实体
(25)
的连接部位均分为三段
。4.
根据权利要求1所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述滑座
(28)
外周面为圆柱面
,
向上具有开口
(281),
自转传动齿圈
(27)
的圆柱形啮合齿超出开口
(281)。5.
根据权利要求4所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述滑座
(28)
的两个端部均设置限位止口
。6.
根据权利要求1所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述涡轮
(29)
可对称地分为两半
,
安装时通过螺栓紧固成为一体
。7.
根据权利要求1所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述引导与复位组件
(35)
包括两根竖直设置的导柱
(351)
和安装在导柱
(351)
下段的复位弹簧
。8.
根据权利要求7所述的数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机
,
其特征在于
,
所述调节与定位组件
(36)
整体为矩形框架结构
,<...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐世杰，张一为，金胜焱，黄仕胜，申佳敏，
申请(专利权)人：浙江万得福智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：