一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种平面工件研磨或抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法和装置，通过在工件边缘加等势保护环，并对等势保护环与工件施加相同电势，使工件侧面与等势保护环间无侧向电流；所述装置包括：自上而下依次同心设第一尼龙盘、第二尼龙盘、工件夹具；第二尼龙盘中空设阶梯孔，其内设弹簧铜刷，上端与第一尼龙盘的中心孔中设的导电滑环通过导线连接、下端设铜刷头部穿过工件夹具的中通孔与下方工件弹性接触，工件嵌套在放置在同一平面上的等势保护环内，第二尼龙盘底部设有凹槽，其内设有弹簧石墨刷，与等势保护环保持弹性接触。本发明专利技术通过简单结构抑制工件边缘侧向电流以抑制工件边缘的杂散电流腐蚀，提高了电化学研磨/机械抛光加工精度。抛光加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置


[0001]本专利技术属于研磨抛光
，具体涉及一种用于平面工件电化学研磨/电化学机械抛光中抑制边缘杂散电流腐蚀的方法及装置。

技术介绍

[0002]平面零件作为常见的工程产品，在电子信息、能源交通和材料工程等领域得到广泛应用。面对相关领域对薄板零件服役性能的需求，往往需要对其进行精密或超精密加工以达到所要求的加工质量，如Si晶圆上的镀铜层，用于音圈电机的金属弹簧片，用于摩托车的刹车盘，用于爆轰、飞层撞靶等精密物理实验的纯金属飞层等。
[0003]面对不同材料薄板零件进行机械加工时，零件的加工方式和零件表面材料去除的非均匀性等会影响零件的加工质量；此外，一些低厚度平面零件，由于受到毛坯内应力、工装夹紧力、加工过程中切削力和切削热以及加工表面残余应力等多种因素影响，常常会出现翘曲、弯曲和扭曲等形式的加工变形，具有复杂性和多样性，严重影响零件的加工精度。因此，目前现有技术采用其它基于化学、电化学等多场作用的特种复合加工技术，如化学机械抛光、电化学抛光、电致化学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电化学机械加工时抑制边缘杂散电流腐蚀的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选择等势保护环(11)材料，所述等势保护环(11)材料金属性高于或等于所述工件(10)材料金属性；S2、将所述工件(10)与所述等势保护环(11)置于同一水平平面，并使所述工件(10)嵌套于所述等势保护环(11)中，所述工件(10)底面形心与所述等势保护环(11)底面形心相距0～1mm；S3、通过电源给所述工件(10)与等势保护环(11)施加相同电势，并进行电化学研磨/电化学机械抛光加工。2.根据权利要求1所述用于电化学机械加工时抑制边缘杂散电流腐蚀的方法，其特征在于，所述等势保护环(11)高度高于所述工件(10)的厚度，等势保护环(11)的内径大于所述工件夹具直径或大于所述工件夹具的最长对角线长度。3.一种用于电化学机械加工时抑制边缘杂散电流腐蚀的装置，其特征在于，包括：自上而下依次同心设置的第一尼龙盘(5)、第二尼龙盘(7)、工件夹具；所述第二尼龙盘(7)中空设有阶梯孔，所述阶梯孔内设有弹簧铜刷(6)，所述弹簧铜刷(6)上端与第一尼龙盘(5)的中心孔中设有的导电滑环(1)通过导线连接、下端设有的铜刷头部穿过所述工件夹具的中通孔与下方的工件(10)保持弹性接触，所述工件(10)嵌套在放置在同一平面上的等势保护环(11)内。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴頔，
申请(专利权)人：贵州大学，
类型：发明
国别省市：