一种半导体用三联阀及其工作方法技术

本发明专利技术涉及阀门技术领域，具体涉及一种半导体用三联阀及其工作方法；本发明专利技术提供了一种半导体用三联阀，阀体内开设有一容纳腔，出水管固定在阀体侧壁，且出水管与容纳腔连通；若干进水管等间距固定在阀体上，且进水管与容纳腔连通；阀盘可升降的设置在容纳腔内，一个阀盘对应一个进水管，阀盘适于闭合进水管；调节止转部套设在阀盘外壁，调节止转部适于限位阀盘；其中，调节止转部适于防止阀盘相对驱动杆周向转动；调节部的外层活动端向下移动时适于闭合出水管；通过调节止转部的设置，能够避免流体冲击阀盘，导致阀盘相对驱动杆周向转动，提高了阀盘固定的稳定性

【技术实现步骤摘要】
一种半导体用三联阀及其工作方法


[0001]本专利技术涉及阀门
，具体涉及一种半导体用三联阀及其工作方法
。

技术介绍

[0002]半导体器件在生产过程中需要使用多种酸碱介质，常规的阀门为在阀体内不设置密封元件，容易使介质接触到阀门的活塞件，活塞件容易发生腐蚀，从而造成阀门漏液，影响半导体器件的生产；而活塞件多螺纹连接在驱动杆端部，驱动杆适于驱动活塞件竖直上下移动，以闭合或打开阀体；而流体介质在阀体内流动时，会不断的冲刷活塞件，导致活塞件发生转动，最终导致活塞件出现松动或脱落的情况发生
。
因此，研发一种半导体用三联阀及其工作方法是很有必要的
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种半导体用三联阀及其工作方法
。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种半导体用三联阀，包括：阀体
、
出水管
、
若干进水管
、
若干阀盘和若干调节止转部，所述阀体内开设有一容纳腔，所述出水管固定在所述阀体侧壁，且所述出水管与所述容纳腔连通；若干所述进水管等间距固定在所述阀体上，且所述进水管与所述容纳腔连通；所述阀盘可升降的设置在所述容纳腔内，一个阀盘对应一个进水管，所述阀盘适于闭合所述进水管；所述调节止转部套设在所述阀盘外壁，所述调节止转部适于限位所述阀盘；其中，所述调节止转部适于防止所述阀盘相对驱动杆周向转动；调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管
。
[0005]作为优选，所述阀体内开设有若干活塞孔，所述活塞孔与所述容纳腔连通，一个活塞孔对应一个阀盘；每个所述活塞孔内固定有一调节密封块，所述驱动杆可升降的设置在所述调节密封块内，且所述阀盘与所述驱动杆螺纹适配；所述驱动杆适于驱动所述阀盘上下移动
。
[0006]作为优选，所述阀盘下端一体设置有一波纹环，所述波纹环套设在所述驱动杆外壁，且所述波纹环下端固定在所述调节密封块上
。
[0007]作为优选，所述调节止转部包括：外套筒
、
内套筒和联动件，所述联动件下端固定在所述调节密封块上，且所述联动件分别与所述内套筒和所述外套筒联动；所述内套筒可升降的套设在所述波纹环外部；所述外套筒可升降的套设在所述阀盘外壁，且所述外套筒与所述内套筒移动方向相反；其中，所述外套筒适于限位所述阀盘，防止其周向转动；阀盘向上移动时，所述内套筒同步向上移动，外套筒同步向下移动以闭合所述出
水管；阀盘向下移动时，所述外套筒同步向上移动，所述外套筒适于过滤拦截流体中的大颗粒杂质
。
[0008]作为优选，所述联动件包括：固定套环
、
两限位盘和两调节齿盘，所述固定套环套设在所述波纹环外部，且所固定套环下端固定在所述调节密封块上；两限位盘对称固定在所述固定套环外壁，且其中一个限位盘垂直固定在所述固定套环的上端部；所述固定套环外壁对称开设有两容纳槽，所述容纳槽设置在两限位盘之间；所述调节齿盘可转动的设置在所述容纳槽内，且所述调节齿盘分别与所述内套筒和所述外套筒联动
。
[0009]作为优选，所述内套筒外壁对称固定有两内直线齿条，所述内直线齿条与所述调节齿盘互相啮合，内直线齿条上下移动时适于驱动所述调节齿盘周向转动
。
[0010]作为优选，所述外套筒内壁对称固定有两外直线齿条，所述外直线齿条与所述调节齿盘互相啮合，调节齿盘周向转动时适于驱动所述外套筒竖直上下移动
。
[0011]作为优选，所述外套筒内壁等间距固定有若干限位框，所述限位框沿所述外套筒轴向方向延伸；所述阀盘外壁开设有若干与所述限位框相适配的滑槽，所述限位框可滑动的设置在所述滑槽内，且所述限位框与所述滑槽滑动密封
。
[0012]作为优选，所述外套筒外壁开设有若干过滤孔，所述过滤孔设置在所述限位框内部
。
[0013]作为优选，所述内套筒下端固定有一压缩弹簧，所述压缩弹簧下端固定在所述调节密封块上，所述压缩弹簧适于推动所述内套筒向上移动
。
[0014]作为优选，所述内套筒上端固定有一插接块，所述阀盘下端开设有一与所述插接块相适配的插接槽，所述插接块适于插入所述插接槽内；其中，阀盘向上移动时，压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动
。
[0015]另一方面，本专利技术还提供了一种半导体用三联阀的工作方法，驱动杆驱动所述阀盘向下移动时，阀盘在逐渐向下移动的过程中，推动内套筒同步向下移动；外套筒同步向上移动，至外套筒的上端与容纳腔的内顶壁抵接，经进水管进入的流体，适于通过所述外套筒流入所述容纳腔内，所述外套筒适于过滤流体内的大颗粒杂质；流体自外套筒内部向容纳腔内流动的过程中，所述限位框起到限位阀盘的作用，防止阀盘被流体冲击后相对驱动杆发生周向转动；内套筒套设在波纹环的外部，且内套筒底壁与调节密封块抵接，内套筒起到隔绝流动的流体持续冲刷波纹环的效果；驱动杆驱动所述阀盘向上移动，以闭合所述进水管；压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动，压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动，至内套筒上端与阀盘底端抵接，以提高阀盘与容纳腔内顶壁的密封效果；外套筒同步向下移动，所述外套筒适于闭合所述出水管
。
[0016]本专利技术的有益效果是，本专利技术的一种半导体用三联阀，通过调节止转部的设置，能够避免流体冲击阀盘，导致阀盘相对驱动杆周向转动，提高了阀盘固定的稳定性
。
同时，调
与进水管3和容纳腔
10
的连通处的顶壁抵接时，所述阀盘4适于闭合并密封所述进水管
3。
所述调节止转部5套设在所述阀盘4外壁，所述调节止转部5适于限位所述阀盘4；其中，所述调节止转部5适于防止所述阀盘4相对驱动杆
13
周向转动；调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管
2。
通过调节止转部5的设置，能够避免流体冲击阀盘4，导致阀盘4相对驱动杆
13
周向转动，提高了阀盘4固定的稳定性
。
[0024]参考附图2，为了便于控制阀盘4，所述阀体1内开设有若干活塞孔
11
，所述活塞孔
11
与所述容纳腔
10
连通，一个活塞孔
11
对应一个阀盘4；所述活塞孔
11
的内径大于所述阀盘4的外径，所述阀盘4适于通过所述活塞孔
11
插入所述容纳腔
10
内；每个所述活塞孔
11
内固定有一调节密封块
12
，所述驱动杆
13
可升降的设置在所述调节密封块
12
内，所述驱动杆
13
与所述调节密封块
12
滑动密封，且所述阀盘4与所述驱动杆
13
螺纹适配；所述驱动杆
13
适于驱动所述阀盘4上下移动
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体用三联阀，其特征在于，包括：阀体（1）
、
出水管（2）
、
若干进水管（3）
、
若干阀盘（4）和若干调节止转部（5），所述阀体（1）内开设有一容纳腔（
10
），所述出水管（2）固定在所述阀体（1）侧壁，且所述出水管（2）与所述容纳腔（
10
）连通；若干所述进水管（3）等间距固定在所述阀体（1）上，且所述进水管（3）与所述容纳腔（
10
）连通；所述阀盘（4）可升降的设置在所述容纳腔（
10
）内，一个阀盘（4）对应一个进水管（3），所述阀盘（4）适于闭合所述进水管（3）；所述调节止转部（5）套设在所述阀盘（4）外壁，所述调节止转部（5）适于限位所述阀盘（4）；其中，所述调节止转部（5）适于防止所述阀盘（4）相对驱动杆（
13
）周向转动；调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管（2）
。2.
如权利要求1所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，所述阀体（1）内开设有若干活塞孔（
11
），所述活塞孔（
11
）与所述容纳腔（
10
）连通，一个活塞孔（
11
）对应一个阀盘（4）；每个所述活塞孔（
11
）内固定有一调节密封块（
12
），所述驱动杆（
13
）可升降的设置在所述调节密封块（
12
）内，且所述阀盘（4）与所述驱动杆（
13
）螺纹适配；所述驱动杆（
13
）适于驱动所述阀盘（4）上下移动
。3.
如权利要求2所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，所述阀盘（4）下端一体设置有一波纹环（
40
），所述波纹环（
40
）套设在所述驱动杆（
13
）外壁，且所述波纹环（
40
）下端固定在所述调节密封块（
12
）上
。4.
如权利要求3所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，所述调节止转部（5）包括：外套筒（
51
）
、
内套筒（
52
）和联动件（
53
），所述联动件（
53
）下端固定在所述调节密封块（
12
）上，且所述联动件（
53
）分别与所述内套筒（
52
）和所述外套筒（
51
）联动；所述内套筒（
52
）可升降的套设在所述波纹环（
40
）外部；所述外套筒（
51
）可升降的套设在所述阀盘（4）外壁，且所述外套筒（
51
）与所述内套筒（
52
）移动方向相反；其中，所述外套筒（
51
）适于限位所述阀盘（4），防止其周向转动；阀盘（4）向上移动时，所述内套筒（
52
）同步向上移动，外套筒（
51
）同步向下移动以闭合所述出水管（2）；阀盘（4）向下移动时，所述外套筒（
51
）同步向上移动，所述外套筒（
51
）适于过滤拦截流体中的大颗粒杂质
。5.
如权利要求4所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，所述联动件（
53
）包括：固定套环（
531
）
、
两限位盘（
532
）和两调节齿盘（
533
），所述固定套环套设在所述波纹环（
40
）外部，且所固定套环（
531
）下端固定在所述调节密封块（
12
）上；两限位盘（
532
）对称固定在所述固定套环（
531
）外壁，且其中一个限位盘（
532
）垂直固定在所述固定套环（
531
）的上端部；所述固定套环（
531
）外壁对称开设有两容纳槽，所述容纳槽设置在两限位盘（
532
）之间；
所述调节齿盘（
533
）可转动的设置在所述容纳槽内，且所述调节齿盘（
533

【专利技术属性】
技术研发人员：季红生，叶品华，韩涧希，
申请(专利权)人：海普瑞常州洁净系统科技有限公司，
类型：发明
国别省市：