基板搬送方法技术

本发明专利技术涉及一种基板处理系统及基板搬送方法。根据本发明专利技术的一实施例的基板处理系统可以包括：第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，或从所述第二腔室搬送至所述第一腔室。腔室。腔室。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送方法
[0001]本申请是申请日为2018年4月13日、申请号为201810328229.6、题为“基板处理系统及基板搬送方法”的专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种基板处理系统及基板处理系统的基板搬送方法。

技术介绍

[0003]显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序，其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此，在利用基板制造显示装置的情况下，基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序。
[0004]在如上所述进行各个单位工序的各个工序腔室(Processing Chamber)可以投入一个大型基板，并对大型基板执行沉积工序等。
[0005]最近，随着制造的显示装置的尺寸的多样化，投入到沉积工序的基板的尺寸也变得多样化。例如，可以使用相当于大型基板一半尺寸的基板来替代以往的大型基板。
[0006]然而，若将这种一半尺寸的基板投入到工序腔室，则会不必要地剩下工序腔室的空间，或者需要进行如制造针对一半尺寸的基板的新的工序腔室等的设计变更。
专利技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板搬送方法，同时将两个基板从包括多个收纳槽的盒子搬送到第一腔室，其中，包括如下步骤：确认在所述多个收纳槽中的一个收纳槽是否布置有所述两个基板；在所述一个收纳槽布置有所述两个基板的情况下，将所述两个基板放置于搬送部的支撑杆上，进而将所述两个基板搬送至所述第一腔室；以及在所述一个收纳槽布置有一个基板的情况下，在所述一个收纳槽布置另一个基板之后，将所述两个基板放置于所述支撑杆上，进而将所述两个基板搬送至所述第一腔室。2.如权利要求1所述的基板搬送方法，其中，在所述一个收纳槽布置所述另一个基板的步骤包括如下步骤：确认所述一个基板位于所述一个收纳槽的内侧还是位于所述一个收纳槽的外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志皇，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：