半导体用气体加热器制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体用气体加热器，包括：加热器本体，用于加热气流；过滤器装置，用于过滤进入到加热器本体内的气流；过滤器装置包括：进气管，与加热器本体内部相连通；转盘，设于进气管上；滤板，设于转盘上；吸水棉，设于滤板一侧；转盘上设有通道，进气管至少具有通道和进气管相连通的开启状态和通道和进气管相错开的关闭状态；进气管处于开启状态时，吸水棉相对于滤板静止并处于滤板一侧；进气管处于关闭状态时，吸水棉相对于滤板移动并挤压在滤板上；本发明专利技术能够有效去除进气中的杂质和水汽

【技术实现步骤摘要】
半导体用气体加热器


[0001]本专利技术属于半导体加工
，尤其是涉及一种半导体用气体加热器
。

技术介绍

[0002]在集成电路制造过程中，湿法清洗作为一种非常重要的表面处理手段，被用于清洗芯片制造过程中各工序引入的各种污染物
。
在清洗过程中，当采用各种化学品及去离子水将半导体晶圆
(wafer)
表面的污染物去除后，通常都会伴随一个干燥过程去除晶圆表面残留的水渍，保证晶圆可直接用于下一工序
。
[0003]半导体的干燥方式包括气体干燥方法，利用加热器将气体加热后再对半导体进行干燥，一般的加热器如公开号为
CN109631559A
公开的名为芯片烘干用气体加热器的专利技术专利所示，气流是在整个系统内循环使用的，气流在干燥晶圆后会携带水蒸气，同时气流在流动时会携带较多杂质，此时气流直接进入到气管内容易造成气管的堵塞，同时也会使得气体加热不均匀，进而影响对晶圆的干燥效果
。

技术实现思路

[0004]本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述
。
本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围
。
[0005]本专利技术为了克服现有技术的不足，提供一种半导体用气体加热器
。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种半导体用气体加热器，包括：加热器本体，用于加热气流；过滤器装置，用于过滤进入到加热器本体内的气流；过滤器装置包括：进气管，与加热器本体内部相连通；转盘，设于进气管上；滤板，设于转盘上；吸水棉，设于滤板一侧；转盘上设有通道，进气管至少具有通道和进气管相连通的开启状态和通道和进气管相错开的关闭状态；进气管处于开启状态时，吸水棉相对于滤板静止并处于滤板一侧；进气管处于关闭状态时，吸水棉相对于滤板移动并挤压在滤板上
。
[0007]进一步的，进气管上设有中转腔，转盘设于中转腔内，中转腔底部设有第一通槽
。
[0008]进一步的，过滤器装置还包括：安装板，设于通道内；电机，用于驱动转盘转动；电推杆，用于推动安装板移动；吸水棉设于安装板上
。
[0009]进一步的，过滤器装置还包括：安装架，设于通道内；螺纹套筒，转动连接于安装架上；刮杆，设于螺纹套筒上；螺纹杆，设于安装板上；刮杆抵在滤板表面
。
[0010]进一步的，过滤器装置还包括：滑块，设于安装板上；第一复位弹簧，设于滑块上；第一推板，滑块移动而移动；刮杆一端铰接于螺纹套筒上，通道内设有供第一推板移动的环槽
。
[0011]进一步的，过滤器还包括：第一推杆，设于滑块上；若干第一推块，设于第一推杆上；第二推板，转动连接于第一推板上；第一推板上设有与第一推杆相对应的缺口，第二推板设于缺口内，第二推板上连接有第一扭簧
。
[0012]进一步的，过滤器还包括：第二推杆，设于滤板一侧；第一连接辊，设于第二推杆一端；第一传动轮，与第一连接辊传动配合；第二传动轮，与第一传动轮传动配合；第一连接辊上连接有第二扭簧
。
[0013]进一步的，第一传动轮上设有传动齿，传动齿进设于第一传动轮的部分圆周面上，第二传动轮在转盘转动时转动
。
[0014]进一步的，通道侧壁上设有多个排水槽，过滤器装置还包括：挡板，倾斜设于排水槽上方；活动块，与挡板的一端通过一个第一连接绳相连；转盘转动时带动活动块移动，使得挡板翻转至水平状态上
。
[0015]进一步的，过滤器装置还包括：第二推块，设于活动块底部；挡杆，推动第二推块移动；固定块，将第二推块固定于指定位置上；转杆，设于第二推块上；第二推块上设有通腔，转杆转动连接于通腔内，转杆转动时带动固定块移动
。
[0016]本专利技术的有益之处在于：提供一种有效去除进气中杂质和水汽的半导体用气体加热器
。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征
、
目的和优点变得更明显
。
本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定
。
[0018]另外，贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素
。
应当理解附图是示意性的，元件和元素不一定按照比例绘制
。
[0019]在附图中：
[0020]图1为本专利技术一种实施例中的半导体用气体加热器的结构示意图
。
[0021]图2为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的结构示意图
。
[0022]图3为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的右视图
。
[0023]图4为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的剖视图
。
[0024]图5为图4中的
A
处放大图
。
[0025]图6为图4中的
B
处放大图
。
[0026]图7为图4中的
C
处放大图
。
[0027]图8为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的活动块的剖视图
。
[0028]图9为图8中的
D
处放大图
。
[0029]图
10
为图8中的
E
处放大图
。
[0030]图
11
为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的第二推块的剖视图
。
[0031]图
12
为图
11
中的
F
处放大图
。
[0032]图
13
为图1所示实施例中的半导体用气体加热器的过滤器装置的第二推杆的剖视图
。
[0033]图
14
为图
13
中的
G
处放大图
。
[0034]图中附图标记的含义如下：
[0035]100、
加热器本体；
[0036]200、
过滤器装置；
201、
进气管；
202、
中转腔；
203、
电推杆；
204、
电机；
205、
转盘；
205a、
排水腔；
206、
滤板；
207、
安装板；
2071、
滑块；
208、
吸水棉；
209、
安装架；
210、
螺纹套筒；
211、
螺纹杆；
212、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体用气体加热器，包括：加热器本体，用于加热气流；过滤器装置，用于过滤进入到所述加热器本体内的气流；其特征在于：所述过滤器装置包括：进气管，与所述加热器本体内部相连通；转盘，设于所述进气管上；滤板，设于所述转盘上；吸水棉，设于所述滤板一侧；所述转盘上设有通道，所述进气管至少具有所述通道和所述进气管相连通的开启状态和所述通道和所述进气管相错开的关闭状态；所述进气管处于开启状态时，所述吸水棉相对于所述滤板静止并处于所述滤板一侧；所述进气管处于关闭状态时，所述吸水棉相对于所述滤板移动并挤压在所述滤板上
。2.
根据权利要求1所述的半导体用气体加热器，其特征在于：所述进气管上设有中转腔，所述转盘设于所述中转腔内，所述中转腔底部设有第一通槽
。3.
根据权利要求1所述的半导体用气体加热器，其特征在于：所述过滤器装置还包括：安装板，设于所述通道内；电机，用于驱动所述转盘转动；电推杆，用于推动所述安装板移动；所述吸水棉设于所述安装板上
。4.
根据权利要求3所述的半导体用气体加热器，其特征在于：所述过滤器装置还包括：安装架，设于所述通道内；螺纹套筒，转动连接于所述安装架上；刮杆，设于所述螺纹套筒上；螺纹杆，设于所述安装板上；所述刮杆抵在所述所述滤板表面
。5.
根据权利要求4所述的半导体用气体加热器，其特征在于：所述过滤器装置还包括：滑块，设于所述安装板上；第一复位弹簧，设于所述滑块上；第一推板，所述所述滑块移动而移动；所述刮杆一端铰接于所述螺纹套筒上，所述通道内设有供所述第一推板移动的环槽
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴利娟，杜亦兵，杜永昊，
申请(专利权)人：绍兴永昊精密电热器件有限公司，
类型：发明
国别省市：