一种晾干槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晾干槽，包括槽体、气管和进气口，所述槽体具有容纳待干燥件的空腔，所述气管设置在所述空腔的底面和/或内壁上，所述气管上间隔设置有若干个吹气孔，且至少部分所述吹气孔朝向所述待干燥件的表面，所述进气口设置在所述槽体上并与所述气管的一端连接。该晾干槽采用吹风的方式辅助晾干，能有效避免掩膜版生锈，延长其使用寿命；同时，缩短了掩膜版整个清洗工序的时间，避免了使用未彻底干燥的掩膜版对后续生产造成的影响，具有整体结构简单、制造成本低、使用方便的优点。使用方便的优点。使用方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种晾干槽


[0001]本技术涉及掩膜版干燥领域，尤其涉及一种晾干槽。

技术介绍

[0002]蒸镀Mask是将材料蒸镀至基板固定区域的一种模具，因其价格昂贵，故蒸镀结束后需清洗以便反复使用。
[0003]Mask的清洗需经过NMP1、NMP2、IPA1、纯水喷淋、IPA2、丙酮、挂起晾干这些流程，由于药液的浓度随着使用的过程逐步降低，导致后续的晾干时间逐渐增长，影响后续作业效率和使用。
[0004]若将未彻底晾干的Mask直接放入MS腔室抽真空，容易对冷泵、干泵造成损伤，同时影响产品的光电性能，放入储存柜则又容易导致Mask生锈，影响使用。
[0005]为此，如何最大程度去除Mask表面残留水分，延长使用寿命，提高蒸镀效率是一个有待解决的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种晾干槽，用于最大程度吹干掩膜版表面残留水分，避免其生锈影响使用寿命。
[0007]本技术的目的采用以下技术方案实现：
[0008]一种晾干槽，包括：
[0009]槽体，所述槽体具有容纳待干燥件的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晾干槽，其特征在于，包括：槽体(1)，所述槽体(1)具有容纳待干燥件的空腔(101)；气管(2)，所述气管(2)设置在所述空腔(101)的底面和/或内壁上，所述气管(2)上间隔设置有若干个吹气孔(201)，且至少部分所述吹气孔(201)朝向所述待干燥件的表面；进气口(3)，所述进气口(3)设置在所述槽体(1)上并与所述气管(2)的一端连接。2.根据权利要求1所述的晾干槽，其特征在于，所述空腔(101)内沿横向或纵向并排设置有若干个固定架(4)。3.根据权利要求1所述的晾干槽，其特征在于，所述槽体(1)上还设置有上盖(5)和排气口(6)；所述上盖(5)设置在所述空腔(101)的腔口上方；所述排气口(6)与所述气管(2)的另一端连接。4.根据权利要求1所述的晾干槽，其特征在于，所述气管(2)为S形结构或格栅状结构。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁永朋，李勇，杨宗苓，
申请(专利权)人：苏州清越光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：