一种插片机装片位吹气装置制造方法及图纸

技术编号:39390262 阅读:7 留言:0更新日期:2023-11-18 11:13
本实用新型专利技术涉及一种插片机装片位吹气装置,所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构,所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组,所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口,所述吹风口与气泵连接,所述平台远端位于第一传送组处设置传感器,所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片,所述传感器用于感应硅片位置,所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板,所述第二传送组一部分伸入所述支撑板,所述升降机构驱动支撑板升降花篮,所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风,保证硅片顺利插入花篮中,提高了生产效率和产品质量。产效率和产品质量。产效率和产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种插片机装片位吹气装置


[0001]本技术涉及硅片生产设备
,尤其涉及一种插片机装片位吹气装置。

技术介绍

[0002]插片机是硅片清洗加工过程中将硅片插入花篮的设备,在插片过程中,经过清洗的硅片经由传送带输送时,由于水渍的残留导致粘片和粘传送带,导致插片时无法对准花篮的齿槽,导致卡片、破片,为硅片生产带来不必要的损失。
[0003]现有技术中的吹气装置大都仅用于清洗后的分片,因此,需要设计一种插片机装片位吹气装置以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的缺点,本技术的目的是提供一种插片机装片位吹气装置,以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0005]为实现上述目的,本技术的技术方案如下:
[0006]一种插片机装片位吹气装置,所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构,所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组,所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口,所述吹风口与气泵连接,所述平台远端位于第一传送组处设置传感器,所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片,所述传感器用于感应硅片位置,所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板,所述第二传送组一部分伸入所述支撑板,所述升降机构驱动支撑板升降花篮,所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风。
[0007]进一步的,所述升降机构包括底座、设置在所述底座远端的第二电机和第二导轨、滑动设置在所述第二导轨上的第二滑块,所述第二电机用于驱动第二滑块沿第二导轨升降,所述第二滑块后端两侧设置三角板,所述三角板远端设置支撑板。
[0008]进一步的,所述支撑板开设供所述第二传送组伸入的凹槽。
[0009]进一步的,所述第一传送组包括设置在所述平台远端的第一固定块、旋转穿过所述第一固定块设置的第一转轴,所述第一转轴两侧分别设置两个第一带轮,最外侧的两个所述第一带轮通过第一皮带传动。
[0010]进一步的,所述第二传送组包括设置在所述平台远端的第二固定块、旋转设置在所述第二固定块内的第二转轴,所述第二转轴两侧分别设置第二带轮,所述第二带轮与第一转轴内侧的第一带轮通过第二皮带传动。
[0011]进一步的,所述平台远端位于第二传送组处设置T型托架。
[0012]进一步的,所述平台两侧位于第一传送组处设置护板,所述护板近端通过支架与地面连接。
[0013]进一步的,所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干齿杆,所述齿杆与固定板围成放置硅片的空间,所述固定板表面设置至少三个吊耳。
[0014]进一步的,所述支撑板开设供所述吊耳穿过的通孔。
[0015]进一步的,所述插片机装片位吹气装置还包括控制器,所述控制器分别与传感器、气泵连接。
[0016]与现有技术相比,本技术的有益技术效果如下:
[0017](一)本技术的插片机装片位吹气装置,通过在平台远端位于第二传送组处设置吹风口,在平台远端位于第一传送组处设置传感器,硅片经过传感器并被传感器检测到,传感器向控制器发送信号,控制器接收信号后通过预先设置的延时控制气泵开启,吹风口在硅片前端进入花篮的时候开始吹气,直至硅片完全进入花篮后控制气泵关闭,吹风口停止吹气,避免了硅片出现水渍残留以及粘传送带的情况,保证硅片顺利插入花篮中,提高了生产效率和产品质量。
[0018](二)进一步的,所述平台两侧位于第一传送组处设置护板,所述护板近端通过支架与地面连接,所述护板之间的间距略大于硅片的宽度,用于硅片输送时的限位,保证硅片能够正常插入花篮中。
附图说明
[0019]图1示出了本技术实施例一提供的一种插片机装片位吹气装置的正视结构示意图。
[0020]图2示出了本技术实施例一提供的一种插片机装片位吹气装置的俯视结构示意图。
[0021]图3示出了本技术实施例一提供的一种插片机装片位吹气装置装载花篮时的俯视结构示意图。
[0022]图4示出了本技术实施例一提供的一种插片机装片位吹气装置中花篮的结构示意图。
[0023]图5示出了本技术实施例一提供的一种插片机装片位吹气装置的连接关系图。
[0024]附图中标记:
[0025]1、平台;11、传感器;12、吹风口;13、T型托架;2、升降机构;21、底座;22、第二导轨;23、第二电机;24、第二滑块;25、三角板;26、支撑板;261、通孔;262、凹槽;3、第一传送组;30、第一固定块;31、第一带轮;32、第一转轴;33、第一皮带;34、第一电机;4、第二传送组;40、第二固定块;41、第二带轮;42、第二转轴;43、第二皮带;5、护板;51、支架;6、花篮;61、固定板;62、齿杆;63、吊耳;7、气泵;8、控制器。
具体实施方式
[0026]为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂,请参阅附图。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本技术实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0027]在本技术的描述中,限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚
度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]为了更加清楚地描述上述一种插片机装片位吹气装置的结构,本技术限定术语“远端”和“近端”、“前端”和“后端”,具体而言,“远端”表示远离地面的一端,“近端”表示靠近地面的一端,“前端”表示远离硅片来料方向的一端,“后端”表示靠近硅片来料方向的一端,以图1为例,图1中支架51的下端为近端,图1中支架51的上端为远端,图1中护板5的左侧为前端,图1中护板5的右侧为后端。
[0029]实施例一
[0030]请参考图1、图2、图3和图4,一种插片机装片位吹气装置,所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构2,所述输送机构包括平台1、设置在所述平台1远端的第一传送组3、与所述第一传送组3前端部分连接的第二传送组4,所述平台1远端位于第二传送组4处设置吹风口12,所述吹风口12与气泵7连接,所述平台1远端位于第一传送组3处设置传感器11,所述第一传送组3和第二传送组4用于输送硅片,所述传感器11用于感应硅片位置,所述升降机构2靠近输送机构一侧设置支撑板26,所述本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种插片机装片位吹气装置,其特征在于:所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构,所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组,所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口,所述吹风口与气泵连接,所述平台远端位于第一传送组处设置传感器,所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片,所述传感器用于感应硅片位置,所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板,所述第二传送组一部分伸入所述支撑板,所述升降机构驱动支撑板升降花篮,所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风。2.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置,其特征在于:所述升降机构包括底座、设置在所述底座远端的第二电机和第二导轨、滑动设置在所述第二导轨上的第二滑块,所述第二电机用于驱动第二滑块沿第二导轨升降,所述第二滑块后端两侧设置三角板,所述三角板远端设置支撑板。3.如权利要求2所述的一种插片机装片位吹气装置,其特征在于:所述支撑板开设供所述第二传送组伸入的凹槽。4.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置,其特征在于:所述第一传送组包括设置在所述平台远端的第一固定块...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈川南冯培良
申请(专利权)人:无锡荣能半导体材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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