可自动添加液氮的低温测试装置制造方法及图纸

技术编号:39381351 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-18 11:10
本申请公开了一种可自动添加液氮的低温测试装置,包括恒温样品池,侧壁下部设有进液孔,上部设有溢流孔,池底设有样品放置区;液氮罐设有回流口;回流管一端与回流口连接,另一端与溢流孔连接;液氮泵布置在恒温样品池与液氮罐之间,进口与液氮罐内部连通设置;进液管一端与液氮泵的出口连接,另一端与进液孔连接;温度传感器布置在恒温样品池内;控制器与液氮泵和温度传感器电性连接。本申请温度传感器可以实时检测恒温样品池内的温度,并反馈温度信号给控制器,控制器可以预设温度阈值,控制器通过比对实时温度和温度阈值可以控制液氮泵的启闭,从而自动控制恒温样品池内的液氮输入量,保证待测样品温度稳定。保证待测样品温度稳定。保证待测样品温度稳定。

【技术实现步骤摘要】
可自动添加液氮的低温测试装置


[0001]本申请属于低温测试
,具体涉及一种可自动添加液氮的低温测试装置。

技术介绍

[0002]商品化的霍尔效应测试仪可以对半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数进行测试,在测试时为了保证待测样品保持低温状态,需要将待测样品浸泡于液氮中。
[0003]为了保证待测样品的温度稳定,需要频繁向杜瓦瓶里添加液氮,若在测试过程中添加液氮不及时则会引起样品温度发生变化,造成测试结果异常。而测试设备所自带的杜瓦瓶容积较小,难以满足测试需求;人工添加则难以有效控制添加量,易发生液氮添加量过多,使得液氮流速过快,影响待测样品的液面稳定,造成样品台处液氮溢出,影响后续测试的问题。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种可自动添加液氮的低温测试装置,以解决现有技术中霍尔效应测试仪所自带的杜瓦瓶容积较小,难以满足低温测试需求;人工添加液氮难以有效控制添加量,易发生液氮添加量过多,使得液氮流速过快,影响待测样品的液面稳定,造成样品台处液氮溢出,影响后续测试的技术问题。
[0005]为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:
[0006]提供了一种可自动添加液氮的低温测试装置,包括:
[0007]恒温样品池,侧壁下部设有进液孔,侧壁上部设有溢流孔,池底设有样品放置区;
[0008]液氮罐,设有回流口;
[0009]回流管,一端与所述回流口连接,另一端与所述溢流孔连接;
[0010]液氮泵,布置在所述恒温样品池与所述液氮罐之间,所述液氮泵的进口与所述液氮罐内部连通设置;
[0011]进液管,一端与所述液氮泵的出口连接,另一端与所述进液孔连接;
[0012]温度传感器,布置在所述恒温样品池内;
[0013]控制器,与所述液氮泵和所述温度传感器电性连接,所述控制器用于基于所述温度传感器反馈的温度信号控制所述液氮泵启闭。
[0014]在一个或多个实施方式中,所述恒温样品池的池底设有凸台,所述凸台背离池底一面设有所述样品放置区,所述凸台的高度大于所述进液孔与所述恒温样品池的池底的距离。
[0015]在一个或多个实施方式中,所述恒温样品池为圆形池体,所述凸台为与所述恒温样品池同心设置的圆形凸台,且所述凸台布置在所述恒温样品池的池底中心。
[0016]在一个或多个实施方式中,还包括挥发管,所述挥发管一端与所述溢流孔连接设置,另一端沿远离所述恒温样品池方向朝上方延伸设置。
[0017]在一个或多个实施方式中,所述恒温样品池为聚四氟乙烯池。
[0018]在一个或多个实施方式中,所述回流管、进液管和挥发管外均套设有保温层。
[0019]在一个或多个实施方式中,所述温度传感器的安装高度小于所述溢流孔与所述恒温样品池的池底的距离。
[0020]在一个或多个实施方式中,所述进液孔和所述溢流孔布置在所述恒温样品池内相对的两侧侧壁上。
[0021]区别于现有技术,本申请的有益效果是:
[0022]本申请温度传感器可以实时检测恒温样品池内的温度,并反馈温度信号给控制器,控制器可以预设温度阈值,控制器通过比对实时温度和温度阈值可以控制液氮泵的启闭,从而自动控制恒温样品池内的液氮输入量,保证待测样品温度稳定;
[0023]本申请恒温样品池内过量输入的液氮可通过溢流孔和回流管回流至液氮管内,保证恒温样品池内液氮量恒定,保证待测样品温度稳定;
[0024]本申请恒温样品池内汽化的液氮可通过溢流孔和挥发管排出,保证回流管内的常压状态,保证液氮可正常通过回流管回流。
附图说明
[0025]图1是本申请可自动添加液氮的低温测试装置一实施方式的结构示意图。
[0026]图中所示:
[0027]恒温样品池100;进液孔101;溢流孔102;样品放置区103;凸台104;
[0028]液氮罐200;回流口201;
[0029]液氮泵300;
[0030]回流管400;
[0031]进液管500;
[0032]温度传感器600;
[0033]控制器700;
[0034]挥发管800。
具体实施方式
[0035]以下将结合附图所示的各实施方式对本申请进行详细描述。但该等实施方式并不限制本申请,本领域的普通技术人员根据该等实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本申请的保护范围内。
[0036]在霍尔效应测试仪对待测样品进行载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数进行测试时,为了保证参数稳定,提高测试结果的准确性,需要将待测样品浸泡于液氮中,避免温度变化造成测试结构异常。
[0037]现有技术中,由于设备自带杜瓦瓶容积较小,不可避免地需要人工添加液氮,但人工添加时不便控制掌握添加量,易发生添加量过多,使得液氮流速过快,造成样品台处液氮溢出,影响后续测试。
[0038]为了解决上述问题,申请人开发了一种可以自动连续添加液氮的低温检测装置,具体地,请参阅图1,图1是本申请可自动添加液氮的低温测试装置一实施方式的结构示意
图。
[0039]如图1所示,该低温测试装置包括恒温样品池100、液氮罐200和液氮泵300。
[0040]恒温样品池100的侧壁下部设有进液孔101,侧壁上部设有溢流孔102,池底设有样品放置区103。
[0041]液氮罐200上设有回流口201,回流口201和溢流孔102之间布置有回流管400。
[0042]液氮泵300布置在恒温样品池100与液氮罐200之间,液氮泵300的进口与液氮罐200内部连通设置,出口通过进液管500与进液孔101连接。
[0043]其中,液氮泵300用于将液氮由液氮罐200内通过进液孔101泵入恒温样品池100内;溢流孔102用于在液氮过量输入时将过量液氮导出并经过回流管400回流至液氮罐200中,样品放置区103用于放置待测样品。
[0044]为了保证恒温样品池100内部液氮的均匀分布,进液孔101和溢流孔102布置在恒温样品池100内相对的两侧侧壁上。
[0045]恒温样品池100中还布置有温度传感器600,温度传感器600和液氮泵300电性连接有控制器700,控制器700用于基于温度传感器600反馈的温度信号控制液氮泵300启闭。
[0046]可以理解的,温度传感器600可以实时检测恒温样品池100内的温度,并反馈温度信号给控制器700,控制器700可以预设温度阈值,控制器700通过比对实时温度和温度阈值可以控制液氮泵300的启闭,从而提高恒温样品池100内的温度。
[0047]具体地,当恒温样品池100内的温度小于温度阈值时,控制器700可以控制液氮泵300不工作或者减少工作功率,从而避免液氮过量输入恒温样品池100中;而当恒温样品池100内的温度大于温度阈值时,控制器700可以控制液氮泵300开始工作或提高工作功本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可自动添加液氮的低温测试装置,其特征在于,包括:恒温样品池,侧壁下部设有进液孔,侧壁上部设有溢流孔,池底设有样品放置区;液氮罐,设有回流口;回流管,一端与所述回流口连接,另一端与所述溢流孔连接;液氮泵,布置在所述恒温样品池与所述液氮罐之间,所述液氮泵的进口与所述液氮罐内部连通设置;进液管,一端与所述液氮泵的出口连接,另一端与所述进液孔连接;温度传感器,布置在所述恒温样品池内;控制器,与所述液氮泵和所述温度传感器电性连接,所述控制器用于基于所述温度传感器反馈的温度信号控制所述液氮泵启闭。2.根据权利要求1所述的低温测试装置,其特征在于,所述恒温样品池的池底设有凸台,所述凸台背离池底一面设有所述样品放置区,所述凸台的高度大于所述进液孔与所述恒温样品池的池底的距离。3.根据权利要求2所述的低...

【专利技术属性】
技术研发人员:李付锦赵迎春熊敏
申请(专利权)人:中科纳米张家港化合物半导体研究所
类型:新型
国别省市:

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