远心激光镜头制造技术

本实用新型专利技术公开一种远心激光镜头，所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，所述远心激光镜头的光焦度为Φ，所述第一透镜组的光焦度为ΦG1，所述第二透镜组的光焦度为ΦG2，所述第三透镜组的光焦度为ΦG3，其中：

【技术实现步骤摘要】
远心激光镜头


[0001]本技术涉及光学
，尤其涉及远心激光镜头。

技术介绍

[0002]由于近些年来，随着半导体行业进一步发展，对光刻设备的需求逐步增加，也增加了各种放大倍率的远心激光镜头的需求。并且对其在特定光谱范围内的色差要求越来越高，同时也需要保证镜头在高低温下的工作性能。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种远心激光镜头，旨在提供一种在特定光谱范围内的色差小，同时高低温工作性能强的远心激光镜头。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的所述远心激光镜头，具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，所述远心激光镜头的光焦度为Φ，所述第一透镜组的光焦度为ΦG1，所述第二透镜组的光焦度为ΦG2，所述第三透镜组的光焦度为ΦG3，其中：
[0005]‑
17.037≤ΦG1/Φ≤17.037，
‑
0.1893≤ΦG2/Φ≤0.3786，
‑
18.93≤ΦG3/Φ≤24.609。
[0006]可选地，所述第一透镜组的光焦度为
‑
0.0090≤ΦG1≤
‑
0.0090；和/或，
[0007]所述第二透镜组的光焦度为
‑
0.0001≤ΦG2≤0.0002；和/或，
[0008]所述第三透镜组的光焦度为
‑r/>0.01≤ΦG3≤0.013；和/或，
[0009]所述车载镜头的焦距为1800mm～1900mm。
[0010]可选地，所述第一透镜组包括光焦度为正的第一透镜；和/或，
[0011]所述第二透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有正光焦度的第四透镜、具有负光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜和具有正光焦度的第七透镜；和/或，
[0012]所述第三透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第八透镜，具有正光焦度的第九透镜和平板玻璃。
[0013]可选地，所述第一透镜组包括光焦度为正的第一透镜；
[0014]所述第二透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有正光焦度的第四透镜、具有负光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜和具有正光焦度的第七透镜；
[0015]所述第三透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第八透镜，具有正光焦度的第九透镜和平板玻璃；
[0016]所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第八透镜和所述第九透镜均具有靠近所述物侧设置的物侧
面和靠近所述像侧设置的像侧面，其中：
[0017]所述第一透镜的物侧面为平面，像侧面为凸面；
[0018]所述第二透镜的物侧面为凸面，像侧面为凸面；
[0019]所述第三透镜的物侧面为凹面，像侧面为凹面；
[0020]所述第四透镜的物侧面为凸面，像侧面为凸面；
[0021]所述第五透镜的物侧面为凹面，像侧面为凹面；
[0022]所述第六透镜的物侧面为凹面，像侧面为凸面；
[0023]所述第七透镜的物侧面为凹面，像侧面为凸面；
[0024]所述第八透镜的物侧面为凸面，像侧面为凸面；
[0025]所述第八透镜的物侧面为凸面，像侧面为凸面。
[0026]可选地，所述第一透镜组包括的第一透镜，所述第一透镜的光焦度为Φ11，其中，
‑
0.0090≤Φ11≤0.0090。
[0027]可选地，所述第二透镜组包括自物侧至像侧依次设置的第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，所述第二透镜的光焦度为φ21，所述第三透镜的光焦度为φ22，所述第四透镜的光焦度为φ23，所述第五透镜的光焦度为φ24，所述第六透镜的光焦度为φ25，所述第七透镜的光焦度为φ26，其中：
[0028]0.008≤φ21≤0.015，
‑
0.02≤φ22≤
‑
0.010；0.0090≤Φ23≤0.0140，
‑
0.040≤φ24≤
‑
0.010，
‑
0.010≤φ25≤
‑
0.060；0.0050≤Φ26≤0.011。
[0029]可选地，所述第三透镜组包括自物侧至像侧依次设置的第八透镜，第九透镜和平板玻璃，所述第八透镜的光焦度为φ31，所述第九透镜的光焦度为φ32，其中：
[0030]0.008≤φ31≤0.015，0.004≤φ32≤0.010。
[0031]可选地，所述远心激光镜头的光学总长为TTL，所述远心激光镜头的总焦距为f，其中，0.188<TTL/f<0.3。
[0032]可选地，所述第二透镜组还包括设于所述第四透镜和所述第五透镜之间的光阑。
[0033]所述远心激光镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，所述远心激光镜头的光焦度为Φ，所述第一透镜组的光焦度为ΦG1，所述第二透镜组的光焦度为ΦG2，所述第三透镜组的光焦度为ΦG3，其中：
[0034]‑
17.037≤ΦG1/Φ≤17.037，
‑
0.1893≤ΦG2/Φ≤0.3786，
‑
18.93≤ΦG3/Φ≤24.609。
[0035]可选地，所述远心激光镜头的放大倍率为1.1X；
[0036]和/或，物方NA为0.12；物方视场为25.4mm，物像双远心；
[0037]光源的设计波长为390nm
‑
415nm，共轭工作距为430mm。
[0038]本技术提供的技术方案中，所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，所述远心激光镜头的光焦度为Φ，所述第一透镜组的光焦度为ΦG1，所述第二透镜组的光焦度为ΦG2，所述第三透镜组的光焦度为ΦG3，其中：
‑
17.037≤ΦG1/Φ≤17.037，
‑
0.1893≤ΦG2/Φ≤0.3786，
‑
18.93≤ΦG3/Φ≤24.609，由于所述第一
透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，其耐高温性能得到了极大的提升，工作温度范围可达20℃～60℃，并且，对所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组的光焦度的设计，能够让其在波长为395...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种远心激光镜头，其特征在于，所述远心激光镜头具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，其中，所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜，所述远心激光镜头的光焦度为Φ，所述第一透镜组的光焦度为ΦG1，所述第二透镜组的光焦度为ΦG2，所述第三透镜组的光焦度为ΦG3，其中：
‑
17.037≤ΦG1/Φ≤17.037，
‑
0.1893≤ΦG2/Φ≤0.3786，
‑
18.93≤ΦG3/Φ≤24.609。2.如权利要求1所述的远心激光镜头，其特征在于，所述第一透镜组的光焦度为
‑
0.0090≤ΦG1≤
‑
0.0090；和/或，所述第二透镜组的光焦度为
‑
0.0001≤ΦG2≤0.0002；和/或，所述第三透镜组的光焦度为
‑
0.01≤ΦG3≤0.013；和/或，所述远心激光镜头的焦距为1800mm～1900mm。3.如权利要求1所述的远心激光镜头，其特征在于，所述第一透镜组包括光焦度为正的第一透镜；和/或，所述第二透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有正光焦度的第四透镜、具有负光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜和具有正光焦度的第七透镜；和/或，所述第三透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第八透镜，具有正光焦度的第九透镜和平板玻璃。4.如权利要求3所述的远心激光镜头，其特征在于，所述第一透镜组包括光焦度为正的第一透镜；所述第二透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有正光焦度的第四透镜、具有负光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜和具有正光焦度的第七透镜；所述第三透镜组包括自物侧至像侧依次设置的具有正光焦度的第八透镜，具有正光焦度的第九透镜和平板玻璃；所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第八透镜和所述第九透镜均具有靠近所述物侧设置的物侧面和靠近所述像侧设置的像侧面，其中：所述第一透镜的物侧面为平面，像侧面为凸面；所述第二透镜的物侧面为凸面，像侧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈劲松，朱红伟，邱盛平，
申请(专利权)人：成都联江科技有限公司，
类型：新型
国别省市：