一种硅片清洗自动加药设备制造技术

本实用新型专利技术涉及加药设备技术领域，具体涉及一种硅片清洗自动加药设备，包括控制箱；还包括：一个及以上药剂桶，安置于控制箱的一侧，所述药剂桶一侧设置有供药剂输送通断的供液阀；一个及以上储液槽，固定设置于第一管路的一端；一个及以上清洗槽，设置于第二管路的一端；通过将药剂桶借助供液阀与控制箱连接，使得储液槽内的药剂能够达到准时、准量、定速加药的需求，同时也可实现多种药剂量添加，通过控制箱可以满足一台或多台清洗机的加药需求，能够提高清洗加药效率，降低人工工时、减少药剂损耗和不良品的产生的效果。剂损耗和不良品的产生的效果。剂损耗和不良品的产生的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗自动加药设备


[0001]本技术涉及加药设备
，尤其涉及一种硅片清洗自动加药设备。

技术介绍

[0002]随着硅片清洗工艺窗口的不断缩窄，对于药剂添加的准确性要求十分严苛，其中添加量和添加频率均是硅片清洗质量的关键点，多加或提前加药容易出现硅片表面过度腐蚀或者蓝片，少加或延后加药容易导致硅片表面硅粉或切割液残留，影响光电转换效率；而且在加药过程中，清洗槽内不能有硅片，导致清洗机产能降低。
[0003]在对硅片进行清洗的过程中，通常会出现如下专利中存在的问题，参见公开号为CN206215606U公开了一种硅片清洗池用的自动加药装置，属于单晶硅生产设备
，该装置包括储药罐，关键是：所述的装置还包括浓度检测仪、计量泵、控制模块、上喷头和下喷头，浓度检测仪的检测端位于清洗池内液面的下方，浓度检测仪的控制端与控制模块的信号输入端连接，控制模块的控制端与计量泵的受控端连接，虽然该专利利用计量泵将储药罐内的药液加入清洗池内，使清洗池内药液的浓度快速恢复到所需的范围内，但是仍然存在难以进行准时、准量、定速加药的问题，从而影响了多台设备同时清洗加药的效率，因此，在长期的研发测试过程中专利技术人发现：现有技术中的清洗加药设备难以提升加药过程中的准时、准量以及定速加药的需求，限制了一台或多台清洗机的加药需求，降低了清洗加药效率的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种硅片清洗自动加药设备，以解决难以提升加药过程中的准时、准量以及定速加药的需求的问题。
[0005]基于上述目的，本技术提供了一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱；还包括：一个及以上药剂桶，安置于控制箱的一侧，所述药剂桶一侧设置有供药剂输送通断的供液阀；第一管路，固定设置于供液阀的一端，所述第一管路中部两侧分别固定安装有气动进液控制阀和手动阀；一个及以上储液槽，固定设置于第一管路的一端，所述储液槽内部上方固定安装有第一液位计，所述储液槽内部下方固定安装有第二液位计，所述储液槽内部中央固定安装有第三液位计；第二管路，固定安装于储液槽的底端，所述第二管路上方固定安装有手动流量调节阀，所述第二管路一端固定安装有手动放空阀，所述第二管路另一端固定安装有气动放液控制阀；一个及以上清洗槽，设置于第二管路的一端。
[0006]优选的，所述药剂桶一侧底端固定安装有药剂桶阀，所述药剂桶阀一端与供液阀固定连接，所述供液阀内部固定安装有输送泵。
[0007]优选的，所述储液槽的底端呈V型结构，所述储液槽的底部位于所述清洗槽的上方。
[0008]优选的，所述第一管路的一端位于储液槽的底部中央位置。
[0009]优选的，所述控制箱上方固定安装有一个及以上压力报警灯，三个压力报警灯分
别用于检测三个药剂桶向三个储液槽内输送药剂的输送压力。
[0010]优选的，所述储液槽外围一侧设置有测量烧杯。
[0011]本技术的有益效果：通过将药剂桶借助供液阀与控制箱连接，使得储液槽内的药剂能够达到准时、准量、定速加药的需求，同时也可实现多种药剂量添加，通过控制箱可以满足一台或多台清洗机的加药需求，能够提高清洗加药效率，降低人工工时、减少药剂损耗和不良品的产生的效果。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为本技术供液阀连接结构示意图；
[0014]图2为本技术储液槽结构示意图；
[0015]图3为本技术清洗槽结构示意图。
[0016]图中标记为：1、药剂桶；2、控制箱；3、供液阀；4、药剂桶阀；5、储液槽；6、第一液位计；7、第二液位计；8、第三液位计；9、第一管路；10、气动进液控制阀；11、手动阀；12、第二管路；13、手动流量调节阀；14、手动放空阀；15、气动放液控制阀；16、清洗槽。
具体实施方式
[0017]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，对本技术进一步详细说明。
[0018]如图1、图2和图3所示，一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱2；还包括：一个及以上药剂桶1，安置于控制箱2的一侧，所述药剂桶1一侧设置有供药剂输送通断的供液阀3，所述药剂桶1一侧底端通过螺栓固定安装有药剂桶阀4，所述药剂桶阀4一端与供液阀3通过螺栓固定连接，所述供液阀3内部通过螺栓固定安装有输送泵；第一管路9，固定设置于供液阀3的一端，所述第一管路9中部两侧分别通过螺栓固定安装有气动进液控制阀10和手动阀11；所述控制箱2上方通过螺栓固定安装有一个及以上压力报警灯，三个压力报警灯分别用于检测三个药剂桶1向三个储液槽5内输送药剂的输送压力。
[0019]一个及以上储液槽5，固定设置于第一管路9的一端，所述第一管路9的一端位于储液槽5的底部中央位置，所述储液槽5的底端呈V型结构，从而使得每次加药成分更加均匀，所述储液槽5内部上方通过螺栓固定安装有第一液位计6，所述储液槽5内部下方通过螺栓固定安装有第二液位计7，所述储液槽5内部中央通过螺栓固定安装有第三液位计8；第二管路12，通过螺栓固定安装于储液槽5的底端，所述第二管路12上方通过螺栓固定安装有手动流量调节阀13，所述第二管路12一端通过螺栓固定安装有手动放空阀14，所述第二管路12另一端通过螺栓固定安装有气动放液控制阀15；一个及以上清洗槽16，设置于第二管路12的一端，所述储液槽5的底部位于所述清洗槽16的上方；所述储液槽5外围一侧设置有测量烧杯。
[0020]其中，药剂桶1通过供液阀3连接在控制箱2上，通过开启药剂桶阀4和控制箱2上对
应输送泵的开关，调整至自动状态，设定相应压力；控制箱2通过第一管路9供给储液槽5中；通过在控制箱2上安装压力报警灯，能够提示药剂桶1用完时，更换新的药剂桶1。
[0021]其中，当需要更换药剂桶1时，先关控制箱2上对应输送泵上的电源、再关闭药剂桶阀4，拆下快接头；并把装有药剂桶1的第一管路9连接上，通过开启药剂桶阀4和输送泵的电源实施更换的效果。
[0022]其中，在对储液槽5的液位进行调整和校正时，先在储液槽5置入一定量药剂，这时调整第一液位计6的灯在亮灭之间时；打开手动放空阀14，同时用烧杯测量，直至刚好等于清洗工艺要求的体积，关闭手动放空阀14；此时调整第二液位计7的灯在亮灭之间。
[0023]其中，在进行加药速率调整时，在清洗槽16内放入一定量清洗纯水，设置控制箱2为自动加药频率，自动开启气动放液控制阀15时，手动测量加药时间，调整手动流量调节阀13的角度，直至符合根据工艺要求；只需首次调整，固定手动阀11开启角度即可。
[0024]其中，清洗槽16加药时，加药状态只能有一个气动进液控制阀10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱(2)；其特征在于，还包括：一个及以上药剂桶(1)，安置于控制箱(2)的一侧，所述药剂桶(1)一侧设置有供药剂输送通断的供液阀(3)；第一管路(9)，固定设置于供液阀(3)的一端，所述第一管路(9)中部两侧分别固定安装有气动进液控制阀(10)和手动阀(11)；一个及以上储液槽(5)，固定设置于第一管路(9)的一端，所述储液槽(5)内部上方固定安装有第一液位计(6)，所述储液槽(5)内部下方固定安装有第二液位计(7)，所述储液槽(5)内部中央固定安装有第三液位计(8)；第二管路(12)，固定安装于储液槽(5)的底端，所述第二管路(12)上方固定安装有手动流量调节阀(13)，所述第二管路(12)一端固定安装有手动放空阀(14)，所述第二管路(12)另一端固定安装有气动放液控制阀(15)；一个及以上清洗槽(16)，设置于第二管路(12)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉莲，冯琰，王艺澄，
申请(专利权)人：江苏美科太阳能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：