本实用新型专利技术公开了一种X射线衍射貌相仪及其样品台装置，样品台装置包括第一样品台和第二样品台。第一样品台上设置有贯穿第一样品台上下两面的第一通孔。第二样品台用于承载样品，第二样品台可升降地设置在第一通孔处。通过升降第二样品台，将不同厚度的样品升降到指定位置，不需要调整X射线发射器的位置，X射线衍射貌相仪就可以对不同厚度的样品进行测试，操作简单，提高了工作效率，同时也确保了测试结果的准确性。结果的准确性。结果的准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种X射线衍射貌相仪及其样品台装置
[0001]本技术涉及样品承载装置
，尤其涉及一种X射线衍射貌相仪及其样品台装置。
技术介绍
[0002]随着半导体的发展和近完整晶体材料的大量使用，然而，晶体中存在的位错等各种缺陷会严重影响器件性能。X射线衍射貌相仪可以无损地检测晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷，获取各种缺陷的形态、数量及演化过程，对研究晶体的生长条件及物理性质和晶体质量具有重要意义。
[0003]对于常规晶圆，工作人员通常使用X射线衍射貌相仪对样品进行测试，而目前的X射线衍射貌相仪要同时能够实现透射模式测试和反射模式测试，通常X射线衍射貌相仪的样品台和X射线发射器之间的距离是固定的，并且要求样品的厚度小于1mm。但是当样品的厚度大于1mm时，由于样品台和X射线发射器之间的距离是固定的，样品到X射线发射器的距离不满足测试条件，X射线衍射貌相仪无法对样品进行反射模式测试。
[0004]因此，现有的样品台装置需要改进。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种X射线衍射貌相仪及其样品台装置，第二样品台可以将不同厚度的样品升降到指定位置，以使X射线衍射貌相仪对不同厚度的样品进行测试。
[0006]本技术的目的采用以下技术方案实现：
[0007]一种X射线衍射貌相仪的样品台装置，包括：
[0008]第一样品台，所述第一样品台上设置有贯穿所述第一样品台上下两面的第一通孔；
[0009]第二样品台，所述第二样品台用于承载样品，所述第二样品台可升降地设置在所述第一通孔处。
[0010]优选地，所述样品台装置还包括驱动组件，所述驱动组件包括固定块和旋转把手，所述固定块设置在所述第一通孔处，所述旋转把手可升降地穿过所述固定块，所述旋转把手用于驱动所述第二样品台升降。
[0011]优选地，所述旋转把手的外壁上设置有外螺纹，所述固定块上设置有贯穿所述固定块上下两面的第二通孔，所述第二通孔的内壁上设置有与所述外螺纹对应的内螺纹，部分所述旋转把手设置在所述第二通孔内，通过转动所述旋转把手，以驱动所述第二样品台升降。
[0012]优选地，所述驱动组件还包括连接轴，所述连接轴设置在所述第二样品台与所述旋转把手之间，所述连接轴至少部分位于所述第二通孔内，通过转动所述旋转把手，以使所述旋转把手通过所述连接轴驱动所述第二样品台升降。
[0013]优选地，所述连接轴上设置有第一导向部，所述第二通孔内设置有第二导向部，所述第一导向部和第二导向部配合以引导所述连接轴仅进行轴向移动。
[0014]优选地，所述第一导向部是凹槽，所述第二导向部是凸起；或者，所述第一导向部是凸起，所述第二导向部是凹槽。
[0015]优选地，所述驱动组件还包括弹性部件，所述弹性部件的一端与所述连接轴抵接，所述弹性部件的另一端与所述旋转把手抵接。
[0016]优选地，所述第二通孔包括第一段孔和第二段孔，所述第一段孔靠近所述第二样品台，所述第一段孔的孔径小于所述第二段孔的孔径；
[0017]所述连接轴整体呈倒T字型，所述连接轴靠近所述旋转把手的一端的直径大于所述第一段孔的孔径并小于或等于所述第二段孔的孔径，所述连接轴靠近所述第二样品台的一端的直径小于所述第一段孔的孔径。
[0018]优选地，所述第二样品台朝向所述固定块的一面设置有支撑杆，所述支撑杆与所述驱动组件连接，所述第二样品台的直径小于等于所述第一通孔的孔径。
[0019]一种X射线衍射貌相仪，包括如上述任意一项所述的X射线衍射貌相仪的样品台装置。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果至少包括：
[0021]本技术的X射线衍射貌相仪及其样品台装置，通过升降第二样品台，将不同厚度的样品升降到指定位置，不需要调整X射线发射器的位置，X射线衍射貌相仪就可以对不同厚度的样品进行测试，操作简单，提高了工作效率，同时也确保了测试结果的准确性。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例的样品台装置未设置连接轴时的结构示意图。
[0023]图2是本技术实施例的样品台装置未设置连接轴时的剖面图。
[0024]图3是本技术实施例的样品台装置未设置连接轴时的分解示意图。
[0025]图4是本技术实施例的样品台装置设置连接轴时的结构示意图。
[0026]图5是本技术实施例的样品台装置设置连接轴时的剖面图。
[0027]图6是本技术实施例的样品台装置设置连接轴时的分解示意图。
[0028]图中：100、样品台装置；1、第一样品台；10、第一通孔；11、第一安装孔；2、第二样品台；20、支撑杆；3、驱动组件；30、固定块；301、第二通孔；3011、第二导向部；3012、第一段孔；3013、第二段孔；302、第二安装孔；31、旋转把手；32、连接轴；321、第一导向部；322、第一部分；323、第二部分；33、弹性部件。
具体实施方式
[0029]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。
[0030]本技术中所描述的表达位置与方向的词，均是以附图为例进行的说明，但根据需要也可以做出改变，所做改变均包含在本技术保护范围内。
[0031]参照图1至图6，本技术提供一种X射线衍射貌相仪的样品台装置100，包括第一样品台1和第二样品台2。本实施例中的样品台装置100可以应用于X射线衍射貌相仪。
[0032]具体的，第一样品台1上设置有贯穿第一样品台1上下两面的第一通孔10，第一样品台1大致呈长方形，第一样品台1安装在X射线衍射貌相仪上，并与X射线衍射貌相仪的X射线发射器(未示出)保持一定的距离。第一通孔10优选位于第一样品台1的中间位置，第一通孔10的形状例如是圆形、方形等，在本实施例中，第一通孔10的形状是圆形。X射线衍射貌相仪具有透射模式测试和反射模式测试，透射模式测试时，样品放置在第一样品台1上，样品的厚度小于1mm，X射线衍射貌相仪可以穿透样品，对样品的内部进行测试；反射模式测试时，样品放置在第一样品台1上，样品的厚度小于1mm，X射线衍射貌相仪对样品的表面进行反射模式测试。当样品的厚度大于1mm时，样品表面到X射线发射器的距离超出仪器的要求范围，X射线衍射貌相仪无法对样品的表面进行反射模式测试，或者测试结果会有很大的误差。
[0033]第二样品台2用于承载样品，第二样品台2可升降地设置在第一通孔10处。第二样品台2的承载面的形状例如是圆形、方形等，在本实施例中，第二样品台2的承载面的形状是圆形。第二样品台2的直径小于等于第一通孔10的孔径，这样可以确保第二样品台2能够通过第一通孔10进行升降，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种X射线衍射貌相仪的样品台装置，其特征在于，包括：第一样品台，所述第一样品台上设置有贯穿所述第一样品台上下两面的第一通孔；第二样品台，所述第二样品台用于承载样品，所述第二样品台可升降地设置在所述第一通孔处。2.根据权利要求1所述的X射线衍射貌相仪的样品台装置，其特征在于，所述样品台装置还包括驱动组件，所述驱动组件包括固定块和旋转把手，所述固定块设置在所述第一通孔处，所述旋转把手可升降地穿过所述固定块，所述旋转把手用于驱动所述第二样品台升降。3.根据权利要求2所述的X射线衍射貌相仪的样品台装置，其特征在于，所述旋转把手的外壁上设置有外螺纹，所述固定块上设置有贯穿所述固定块上下两面的第二通孔，所述第二通孔的内壁上设置有与所述外螺纹对应的内螺纹，部分所述旋转把手设置在所述第二通孔内，通过转动所述旋转把手，以驱动所述第二样品台升降。4.根据权利要求3所述的X射线衍射貌相仪的样品台装置，其特征在于，所述驱动组件还包括连接轴，所述连接轴设置在所述第二样品台与所述旋转把手之间，所述连接轴至少部分位于所述第二通孔内，通过转动所述旋转把手，以使所述旋转把手通过所述连接轴驱动所述第二样品台升降。5.根据权利要求4所述的X射线衍射貌相仪的样品台装置，其特征在于，所述连接轴上设置有第一导向部，所述第二通孔内...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹婷婷，李朝军，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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