DIE测试装置制造方法及图纸

技术编号:39347900 阅读:7 留言:0更新日期:2023-11-18 11:01
本申请公开了一种DIE测试装置,包括针卡模块、测试控制模块、测试程序模块、电源模块和DIE切换模块,针卡模块用于放置待检测DIE;测试控制模块与针卡模块连接,测试控制模块包括多个不同的测试单元;测试程序模块与测试控制模块连接,测试程序模块中存储有不同的测试程序;电源模块与测序程序模块连接;DIE切换模块与测试控制模块连接,DIE切换模块设置有多个切换开关,切换开关对应连通不同的测试单元时,激活不同的测试程序,以实现测试不同型号的待检测DIE。本申请通过以上方式,设置DIE切换模块,通过连通测试控制模块中的不同测试单元,就可以激活不同的测试程序,实现测试不同型号的待检测DIE,提高DIE测试装置的通用性。提高DIE测试装置的通用性。提高DIE测试装置的通用性。

【技术实现步骤摘要】
DIE测试装置


[0001]本申请涉及半导体器件测试领域,尤其涉及一种DIE测试装置。

技术介绍

[0002]随着晶圆(Wafer)制程技术飞速发展,更新迭代迅速,在每次制程技术升级过程中都会一定不足,从而出现一些良率偏低的产品,如果直接选用这些较低良率的晶圆直接封装,就会导致含有大量不可用坏块的产品,当封装费用消耗大于良品产出时企业就开始亏损。
[0003]传统使用的DIE测试装置采用一个die test(晶粒测试)针卡,再通过模拟操作,筛选掉晶圆中的坏块,从而达到测试的目的选出晶圆中的良品进行封装。传统测试装置在测试不同DIE就需要选用对应支持的控制芯片的测试装置,还需要更换测试设备,存在成本高和测试设备更换麻烦等缺点。
[0004]因此,一种测试简单,适用各种不同型号DIE测试的测试装备被人们迫切需要。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种DIE测试装置,通过设置DIE切换模块,提高DIE测试装置的通用性。
[0006]本申请公开了一种DIE测试装置,包括针卡模块、测试控制模块、测试程序模块、电源模块和DIE切换模块,针卡模块用于放置待检测DIE;测试控制模块与所述针卡模块连接,所述测试控制模块包括多个不同的测试单元;测试程序模块与所述测试控制模块连接,所述测试程序模块中存储有不同的测试程序;电源模块与所述测序程序模块连接;DIE切换模块与所述测试控制模块连接,所述DIE切换模块设置有多个切换开关,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,激活不同的所述测试程序,以实现测试不同型号的所述待检测DIE。
[0007]可选地,所述测试控制模块还包括主控单元,所述主控单元的一端与所述DIE切换模块连接,另一端与所述测试程序模块连接,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,通过所述主控单元激活不同的所述测试程序。
[0008]可选地,所述测试控制模块通过所述测试单元的一端连接所述针卡模块,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,通过所述主控单元激活不同的所述测试程序,并连通所述针卡模块。
[0009]可选地,所述针卡模块是可更换的。
[0010]可选地,所述针卡模块包括多个针卡单元,每个所述针卡单元对应一个所述待检测DIE。
[0011]可选地,所述DIE切换模块包括多个控制端子,多个所述控制端子的一端与多个所述切换开关一一对应连接,另一端与多个所述测试单元一一对应连接。
[0012]可选地,所述测试控制模块包括探针卡,所述探针卡设置至少一种,所述探针卡用
于检测所述待检测DIE的待检测部;所述探针卡至少包括一个探针卡组,每个探针卡组设置至少一个探针卡。
[0013]可选地,所述DIE测试装置还包括显示模块,所述显示模块与测试控制模块连接,且位于所述针卡模块的正上方,通过所述显示模块观察所述待检测DIE。
[0014]可选地,所述DIE测试装置还包括串口模块和上位机模块,所述串口模块的一端与所述测试控制模块连接,另一端与所述上位机模块连接。
[0015]可选地,所述DIE测试装置还包括电源开关模块,所述电源开关模块与所述电源模块连接,所述电源开关模块内设置有多个电源切换开关,不同的所述电源切换开关导通不同的供电模式,所述供电模式包括外部供电模式和直接供电模式。
[0016]相对于测试不同DIE需要更换测试控制芯片和测试设备,存在成本高和测试设备更换麻烦的方案来说,本申请的DIE测试装置除了设置针卡模块、测试控制模块、测试程序模块和电源模块各个模块外,还设置有DIE切换模块,DIE切换模块内设置有多个切换开关,每个切换开关连通不同的测试单元,当更换需要检测的待检测DIE时,切换开关对应连通不同的测试单元,测试控制模块激活不同的测试程序,以实现测试不同型号的待检测DIE,通过优化DIE测试装置,避免了更换测试设备麻烦,减少以往DIE测试不同而需要不同设备的购买成本,以及频繁使用不同设备切换的人力成本;同时,仅通过切换开关就可以连通测试单元,切换不同的测试程序,实现不同型号DIE测试切换,实现一机多用,降低了所需更换对应支持的控制芯片的成本,为企业节约一定的经济成本,还减少了设备购买成本,以及后期DIE测试装置的更换维护成本,增强市场竞争力。
附图说明
[0017]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解,其构成了说明书的一部分,用于例示本申请的实施方式,并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中:
[0018]图1是本申请DIE测试装置的示意图;
[0019]图2是本申请电源开关模块的电路原理示意图;
[0020]图3是本申请针卡模块的示意图;
[0021]图4是本申请DIE切换模块的电路原理示意图;
[0022]图5是本申请测试控制模块的电路原理示意图;
[0023]图6是本申请DIE切换模块和测试控制模块的电连接示意图。
[0024]其中,10、DIE测试装置;20、针卡模块;210、针卡单元;30、测试控制模块;310、测试单元;320、主控单元;40、测试程序模块;50、电源模块;510、电源开关模块;60、DIE切换模块;610、切换开关;620、控制端子;70、串口模块;80、上位机模块。
具体实施方式
[0025]需要理解的是,这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节,仅仅是为了描述具体实施例,是代表性的,但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现,不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
[0026]在本申请的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示相对重要性,或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,除非另有说明,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征;“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形,意为不排他的包含,可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
[0027]另外,“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语,是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的,仅是为了便于描述本申请的简化描述,而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
[0028]此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]下面参考本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种DIE测试装置,其特征在于,包括针卡模块,用于放置待检测DIE;测试控制模块,与所述针卡模块连接,所述测试控制模块包括多个不同的测试单元;测试程序模块,与所述测试控制模块连接,所述测试程序模块中存储有不同的测试程序;电源模块,与所述测试程序模块连接;以及DIE切换模块,与所述测试控制模块连接,所述DIE切换模块设置有多个切换开关,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,激活不同的所述测试程序,以实现测试不同型号的所述待检测DIE。2.根据权利要求1所述的DIE测试装置,其特征在于,所述测试控制模块还包括主控单元,所述主控单元的一端与所述DIE切换模块连接,另一端与所述测试程序模块连接,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,通过所述主控单元激活不同的所述测试程序。3.根据权利要求2所述的DIE测试装置,其特征在于,所述测试控制模块通过所述测试单元的一端连接所述针卡模块,所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时,通过所述主控单元激活不同的所述测试程序,并连通所述针卡模块。4.根据权利要求1所述的DIE测试装置,其特征在于,所述针卡模块是可更换的。5.根据权利要求1所述的DIE测试装置,其特征在于,所述针卡模块包括多个针卡单元,每...

【专利技术属性】
技术研发人员:程皓吴坤龙罗居勇
申请(专利权)人:深圳市时创意电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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