氮气干燥净化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氮气干燥净化装置，涉及氮气干燥技术领域。本实用新型专利技术包括C级精密过滤器、位于C级精密过滤器一侧的第一吸附塔、位于C级精密过滤器一侧的第二吸附塔，C级精密过滤器的一侧装设有微热再生干燥机，微热再生干燥机的一侧装设有A级精密过滤器，A级精密过滤器的一侧装设有二氧化碳净化装置，二氧化碳净化装置的一侧装设有T级精密过滤器。本实用新型专利技术通过采用吸附床层大容量设计，吸附器空塔流速控制在0.25m

【技术实现步骤摘要】
氮气干燥净化装置


[0001]本技术属于氮气干燥领域，具体地说，涉及一种氮气干燥净化装置。

技术介绍

[0002]在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有超高纯度。
[0003]但是，上述氮气干燥净化装置在使用过程中存在以下问题：
[0004]目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入氧气，导致氮气的纯度达不到超高标准，导致高纯试剂产品质量不合格的问题。
[0005]综上，因此本技术提供了一种氮气干燥净化装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种氮气干燥净化装置。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用技术方案的基本构思是：
[0008]一种氮气干燥净化装置，包括C级精密过滤器、位于C级精密过滤器一侧的第一吸附塔、位于C级精密过滤器一侧的第二吸附塔，C级精密过滤器的一侧装设有微热再生干燥机，微热再生干燥机的一侧装设有A级精密过滤器，A级精密过滤器的一侧装设有二氧化碳净化装置，二氧化碳净化装置的一侧装设有T级精密过滤器；
[0009]第一吸附塔与第二吸附塔之间装设有消声器，第一吸附塔的外侧壁装设有第一压力表，第二吸附塔的外侧壁装设有第二压力表。
[0010]可选的，C级精密过滤器上装设有空气进口，T级精密过滤器上装设有空气出口，第一吸附塔的一端装设有第一气动切换阀，第一气动切换阀带动一端装设有第二气动切换阀，第二吸附塔的一端装设有第三气动切换阀，第三气动切换阀的一端装设有第四气动切换阀，消声器装设在第三气动切换阀上，第三气动切换阀与第四气动切换阀之间装设有湿空气进口。
[0011]可选的，消声器装设在第一气动切换阀上，消声器装设在第三气动切换阀上，第一吸附塔上装设有电加热器，电加热器上装设有节流阀，节流阀的一端装设有干空气进口，电加热器上装设有第一止回阀，第一止回阀的一端装设有第二止回阀，干空气进口的一端装设第一止回阀和第二止回阀之间。
[0012]可选的，电加热器上装设有第三止回阀，第三止回阀的一端装设有第四止回阀，第四止回阀的一端装设在第二吸附塔上，第二止回阀的一端装设在第二吸附塔上，电加热器的一端装设有加热温度表，加热温度表的一端装设有再生压力表，再生压力表的一端装设在第三止回阀和第四止回阀之间。
[0013]采用上述技术方案后，本技术与现有技术相比具有以下有益效果，当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以下的所有优点：
[0014]采用吸附床层大容量设计，吸附器空塔流速控制在0.25m3/s，保证接触时间超过5.5S，并留有设计余量的25％，以适应操作负荷变化要求，床层截面气流分布特殊设计，防止气流沿床层截面不均匀性，即气流偏流，最大发挥吸附剂吸附能力，系统工艺空气出口阀，再生气进口阀采用升降式止回阀，使得工艺流程操作简单，减少了设备故障可能性，系统放压操作采用小口径的气动角座阀，有效保护吸附剂，延长吸附剂寿命，采用长周期时间切换，可以进一步节约再生空气，吸附剂/二氧化碳吸附剂采用知名品牌，确保性能可靠性，活性氧化铝具有静态吸附量大的、耐水强度好，耐磨性好，使用寿命长，空气进口阀，再生气出口阀采用国内知名品牌的气动蝶阀，该阀具有转动扭矩大，连续无故障次数>100万次，阀门泄漏率<4.0ml/min。
[0015]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
[0016]下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附
[0017]图中：
[0018]图1为本技术一实施例的C级精密过滤器结构示意图；
[0019]图2为本技术一实施例的第一吸附塔及第二吸附塔结构示意图。
[0020]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0021]C级精密过滤器1，A级精密过滤器2，微热再生干燥机3，T级精密过滤器4，二氧化碳净化装置5，空气进口6，空气出口7，干空气进口8，湿空气进口9，节流阀10，电加热器11，加热温度表12，第一压力表13，第一吸附塔14，消声器15，第一气动切换阀16，第二气动切换阀17，第一止回阀18，第三止回阀19，第二止回阀20，第四止回阀21，节流孔板22，再生压力表23，第二压力表24，第二吸附塔25，第三气动切换阀26，第四气动切换阀27。
[0022]需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本技术的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念。
具体实施方式
[0023]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。
[0024]请参阅图1
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2所示，在本实施例中提供了一种氮气干燥净化装置，包括C级精密过滤器1、位于C级精密过滤器1一侧的第一吸附塔14、位于C级精密过滤器1一侧的第二吸附塔25，C级精密过滤器1的一侧装设有微热再生干燥机3，微热再生干燥机3的一侧装设有A级精密过滤器2，A级精密过滤器2的一侧装设有二氧化碳净化装置5，二氧化碳净化装置5的一侧装设有T级精密过滤器4；
[0025]第一吸附塔14与第二吸附塔25之间装设有消声器15，第一吸附塔14的外侧壁装设有第一压力表13，第二吸附塔25的外侧壁装设有第二压力表24。
[0026]当氮气进入吸附干燥机二氧化碳净化装置时，首先使第一吸附塔14、第二吸附塔25压力值达到压力平衡后，空气从第二吸附塔25进气切换阀进入第二吸附塔25吸附筒，空气中的水份被充满塔内、表面有无数选择性小孔的吸附剂所吸附后，干燥空气完成了吸附
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干燥过程经出气第二止回阀20出氮气干燥/净化装置到用气点，此时第一吸附塔14排气第
一气动切换阀16打开，第一吸附塔14内的氮气经第一吸附塔14排气第一气动切换阀16、消声器15完全排空，第一吸附塔14内吸附了大量水份的干燥剂/大量二氧化碳因为压力变化，由吸附剂表面被干燥的氮气带走排出机外，同时一小部分处理后的干燥空气由干空气出气口经再生气节流阀9、节流孔板22、第四止回阀21到第一吸附塔14出气口进入第一吸附塔14，干燥空气将余下的少量水份从第一吸附塔14排气第一气动切换阀16带走，使第一吸附塔14内的干燥剂从新达到干燥，从而完成了干干燥
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净化
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再生过程，然后第一吸附塔14排气第一气动切换阀16关闭，再生气仍从出气口流经第一吸附塔14，直至第一吸附塔14、第二吸附塔25两塔压力一致，从而完成了均压过程，保证了第二吸附塔25切换到第一吸附塔14时压缩空气不会对阀体造成冲击，均压完后第一吸附塔14进气切断阀打开，同时第二吸附塔25切断阀关闭，氮气经第一吸附塔14进气切断阀进入第一吸附塔14吸附，其过程与第二压力表24相同，如此循环使干燥净化完本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮气干燥净化装置，包括：C级精密过滤器(1)、位于C级精密过滤器(1)一侧的第一吸附塔(14)、位于C级精密过滤器(1)一侧的第二吸附塔(25)，其特征在于，C级精密过滤器(1)的一侧装设有微热再生干燥机(3)，微热再生干燥机(3)的一侧装设有A级精密过滤器(2)，A级精密过滤器(2)的一侧装设有二氧化碳净化装置(5)，二氧化碳净化装置(5)的一侧装设有T级精密过滤器(4)；第一吸附塔(14)与第二吸附塔(25)之间装设有消声器(15)，第一吸附塔(14)的外侧壁装设有第一压力表(13)，第二吸附塔(25)的外侧壁装设有第二压力表(24)。2.根据权利要求1所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，C级精密过滤器(1)上装设有空气进口(6)，T级精密过滤器(4)上装设有空气出口(7)。3.根据权利要求1所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，第一吸附塔(14)的一端装设有第一气动切换阀(16)，第一气动切换阀(16)带动一端装设有第二气动切换阀(17)。4.根据权利要求3所述的一种氮气干燥净化装置，其特征在于，第二吸附塔(25)的一端装设有第三气动切换阀(26)，第三气动切换阀(26)的一端装设有第四气动切换阀(27)，消声器(15)装...

【专利技术属性】
技术研发人员：包炳岳，
申请(专利权)人：杭州临安汉克森过滤设备有限公司，
类型：新型
国别省市：