显示面板、显示装置及显示面板制备方法制造方法及图纸

技术编号:39309828 阅读:11 留言:0更新日期:2023-11-12 15:56
本申请公开了一种显示面板、显示装置及显示面板制备方法,包括:多个感测薄膜晶体管,至少两个相邻的感测薄膜晶体管之间共用一个有源层图案,多个有源层图案形成有源层,栅极层设置在有源层上方且与有源层相互绝缘设置,栅极层包括第一图案和第二图案,第一图案设置在有源层正上方,且位于第一图案下方的有源层为非导体化结构。本实施例在通过在有源层图案的上方设置对应的栅极层图案,使得栅极层正下方的部分有源层非导体化,从而将一个有源层图案进行断开,阻断两边的感测薄膜晶体管的有源层通路,使得在其中任意一个子像素出现阈值电压,反馈的感应电流能够全部的进行传递,不会出现被另一个子像素分流的情况。出现被另一个子像素分流的情况。出现被另一个子像素分流的情况。

【技术实现步骤摘要】
显示面板、显示装置及显示面板制备方法


[0001]本专利技术一般涉及显示
,尤其涉及显示面板、显示装置及显示面板制备方法。

技术介绍

[0002]在一些OLED(有机发光半导体,Organic Electroluminescence Display)产品中,左右相邻子像素的感测薄膜晶体管(SENSE TFT)是共用一整块IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide,铟镓锌氧化物)作为薄膜晶体管的沟道和导体化通路,这样导致在感测其中一个子像素的Vth(阈值电压)值时,反馈的感测电流会被另外一个子像素分流,从而导致该像素感测值出现偏差,使像素电学补偿出现差异。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种显示面板、显示装置及显示面板制备方法。
[0004]第一方面,提供一种显示面面板,包括:
[0005]多个感测薄膜晶体管,至少两个相邻的所述感测薄膜晶体管共用一个有源层图案,多个所述有源层图案形成有源层,
[0006]栅极层,所述栅极层设置在所述有源层上方且与所述有源层相互绝缘设置,所述栅极层包括第一图案和第二图案,所述第一图案设置在所述有源层正上方,且位于所述第一图案下方的有源层为非导体化结构,所述第二图案设置在其他位置,且部分位于所述有源层上方形成所述感测薄膜晶体管的开关。
[0007]作为可实现的方案,每个所述有源层图案为长条形,所述第一图案设置在所述有源层图案正中间。
[0008]作为可实现的方案,所述有源层图案的宽度小于等于所述第一图案在所述有源层图案宽度方向的距离。
[0009]作为可实现的方案,还包括:基板和设置在所述基板上的屏蔽金属层,所述屏蔽金属层设置在所述基板和所述感测薄膜晶体管的有源层之间。
[0010]作为可实现的方案,还包括:源漏极层,所述源漏极层设置在所述栅极层远离所述有源层的一面,且通过过孔与所述有源层、所述栅极层、所述屏蔽金属层连接。
[0011]作为可实现的方案,所述屏蔽金属层包括感应线,所述感应线连接至两个相邻的所述感测薄膜晶体管的源漏极层。
[0012]作为可实现的方案,所述有源层与所述栅极层之间设有第一绝缘层,所述第一绝缘层位于所述栅极层第一图案位置的宽度小于所述第一图案的宽度。
[0013]作为可实现的方案,所述有源层图案的材料为IGZO。
[0014]第二方面,提供一种显示装置,包括上述显示面板。
[0015]第三方面,提供一种上述显示面板制备方法,包括步骤:
[0016]提供基板,在所述基板上划分有多个感测薄膜晶体管区域,
[0017]在所述基板上形成屏蔽金属层图案,
[0018]设定的至少两个所述感测薄膜晶体管区域之间设置一个有源层图案,多个所述有源层图案形成有源层,
[0019]在所述有源层上设置第一绝缘层,在所述第一绝缘层上形成栅极层,所述栅极层包括设置在所述有源层上的第一图案,
[0020]刻蚀除所述栅极层位置之外的第一绝缘层,并对所述有源层进行导体化,设有所述第一图案位置的所述有源层为非导体化结构。
[0021]作为可实现的方案,还包括:
[0022]在所述栅极层上形成第二绝缘层,
[0023]在所述第二绝缘层上形成源漏极层,且所述源漏极层通过过孔与所述有源层、所述栅极层、所述屏蔽金属层连接。
[0024]根据本申请实施例提供的技术方案,在相邻的感测薄膜晶体管之间设置有源层图案作为有源层,通过在有源层图案的上方设置对应的栅极层图案,使得栅极层正下方的部分有源层非导体化,从而将一个有源层图案进行断开,阻断两边的感测薄膜晶体管的有源层通路,使得在其中任意一个子像素出现阈值电压,反馈的感应电流能够全部的进行传递,不会出现被另一个子像素分流的情况。
附图说明
[0025]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0026]图1为本实施例中显示面板俯视结构示意图;
[0027]图2

图4为本实施例中显示面板制备过程结构示意图;
[0028]图5

图6为本实施例中显示面板截面示意图。
[0029]附图标记:
[0030]屏蔽金属层

10;第一部分

11;感应线

12;
[0031]有源层图案

20;栅极层

30;第一图案

31;
[0032]第二图案

32;源漏极层

40;基板

70。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术,而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0034]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0035]请参考图1,本实施例提供一种显示面面板,包括:
[0036]多个感测薄膜晶体管,至少两个相邻的所述感测薄膜晶体管之间共用一个有源层图案20,多个所述有源层图案20形成有源层,
[0037]栅极层30,所述栅极层30设置在所述有源层上方且与所述有源层相互绝缘设置,
所述栅极层30包括第一图案31和第二图案32,所述第一图案31设置在所述有源层正上方,且位于所述第一图案31下方的有源层为非导体化结构,所述第二图案32设置在其他位置,且部分位于所述有源层上方形成所述感测薄膜晶体管的开关。
[0038]本实施例在相邻的感测薄膜晶体管之间设置有源层图案20作为有源层,通过在有源层图案20的上方设置对应的栅极层图案,使得栅极层30正下方的部分有源层非导体化,从而将一个有源层图案20进行断开,阻断两边的感测薄膜晶体管的有源层通路,使得在其中任意一个子像素出现阈值电压,反馈的感应电流能够全部的进行传递,不会出现被另一个子像素分流的情况。
[0039]根据图1中的结构,本实施例示意的在显示面板上设置四个感测薄膜晶体管部分,至少两个感测薄膜晶体管之间设置有源层图案20作为相邻的感测薄膜晶体管的沟道和导体化通路,图1中给出了两组感测薄膜晶体管之间设置两个有源层图案20的示例,并且在每个有源层图案20上方都设置相应的第一图案31,该第一图案31设置在有源层图案20的正上方,使得IGZO在进行导体化的时候,相应第一图案31下方位置的IGZO不能进行导体化,形成非导体化的结构对整个有源层图案20进行阻断,本实施例优选的将第一图案31与栅极层30同层设置,在栅极层30的制备过程中顺便形成第一图案31,不会增加整个面板制备过程中的工艺步骤,也不会对整个显本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板,其特征在于,包括:多个感测薄膜晶体管,至少两个相邻的所述感测薄膜晶体管共用一个有源层图案,多个所述有源层图案形成有源层,栅极层,所述栅极层设置在所述有源层上方且与所述有源层相互绝缘设置,所述栅极层包括第一图案和第二图案,所述第一图案设置在所述有源层正上方,且位于所述第一图案下方的有源层为非导体化结构,所述第二图案设置在其他位置,且部分位于所述有源层上方形成所述感测薄膜晶体管的开关。2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,每个所述有源层图案为长条形,所述第一图案设置在所述有源层图案正中间。3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述有源层图案的宽度小于等于所述第一图案在所述有源层图案宽度方向的距离。4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,还包括:基板和设置在所述基板上的屏蔽金属层,所述屏蔽金属层设置在所述基板和所述感测薄膜晶体管的有源层之间。5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,还包括:源漏极层,所述源漏极层设置在所述栅极层远离所述有源层的一面,且通过过孔与所述有源层、所述栅极层、所述屏蔽金属层连接。6.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述屏蔽金属层包括感应线,所述感应线连接至两个相邻的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪军成军王海涛方金钢黄勇潮苏同上钱国平纪强强刘国全
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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