一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置，包括抛光机本体，抛光机本体的一侧设置有抛光液箱体，抛光液箱体内设置有泵体，抛光机本体的顶部一侧固定连接有驱动装置，驱动装置的工作端设置有固定安装板，固定安装板的顶部设置有固定扣，固定安装板的顶部还设置有固定管，泵体的输出口端连通有输出管，输出管的一端与固定管之间连通有软管，固定管的另一端转动连接有旋转壳体，本发明专利技术涉及半导体制造技术领域。该种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置，防止覆铜板在抛光过程中因为不可以旋转和静电从而影响抛光的最终观察到的组织，造成假组织产生，提升抛光的最终观察到的组织结果提升其正确率，给覆铜板生产过程指引正确的生产方向。指引正确的生产方向。指引正确的生产方向。

【技术实现步骤摘要】
一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置。

技术介绍

[0002]随着计算机技术的飞速发展，集成电路的体积越来越小，集成度也越来越高，这就造成对制造集成电路的硅晶片要求也越来越高，一方面要求硅晶片越来越薄，体积得越来越小，另一方面要求硅晶片表面的平滑度越来越高，这就造成对单晶硅的表面加工技术要求越来越高，也即是对抛光机设备的性能越来越高。不仅要求抛光机能双面抛光，而且也要求双面抛光机有很高的加工精度和稳定性，要求双面抛光机能实超薄晶片的超平滑表面加工。在操作过程会因为添加抛光液的设备不是可以旋转的导致抛光液传输有死角，未装有防静电装置导致精抛过程中有异物吸入从而导致划痕等异常，影响最终观察到的抛光组织结果，其工作原理主要是利用抛光盘上的抛光布等和抛光液对物品表面进行摩擦加工，设法得到最大的抛光速率，以便尽快除去磨光时产生的损伤层，同时也要使抛光损伤层不会影响最终观察到的组织，即不会造成假组织。为避免抛光组织物局部磨损太快，在抛光过程中要不断添加抛光液，使抛光组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置，包括抛光机本体(1)，其特征在于：所述抛光机本体(1)的一侧设置有抛光液箱体(2)，所述抛光液箱体(2)内设置有泵体，所述抛光机本体(1)的顶部一侧固定连接有驱动装置(3)，所述驱动装置(3)的工作端固定连接有固定安装板(4)，所述固定安装板(4)的顶部两侧设置有固定扣(6)，所述固定安装板(4)的顶部还设置有固定管(5)，所述泵体的输出口端连通有输出管(7)，所述输出管(7)的一端与固定管(5)之间连通有软管(8)，所述固定管(5)的另一端转动连接有旋转壳体(9)，所述旋转壳体(9)与固定管(5)连通，所述旋转壳体(9)内壁的底部设置有导流叶片(11)，所述旋转壳体(9)的周侧设置有喷洒孔(10)，所述导流叶片(11)的顶部位于所述固定管(5)的喷射口处，所述固定管(5)内的抛光液管口喷出通过导流叶片(11)带动旋转壳体(9)转动；所述驱动装置(3)包括箱体(31)，所述箱体(31)的底部一侧设置有驱动电机(32)，所述箱体(31)内部的两侧转动连接有转轴(33)，所述转轴(33)的表面固定连接有第一同步轮(34)，所述驱动电机(32)的输出端固定连接有第二同步轮(35)，所述箱体(31)内水平设置有固定板(39)，所述转轴(33)的一端贯穿固定板(39)并固定连接有圆轮(36)，所述圆轮(36)内设置有调节结构(37)，所述圆轮(36)的顶部设置有固定销轴(38)，所述调节结构(37)调节固定销轴(38)与圆轮(36)圆心之间的距离，所述固定销轴(38)与固定安装板(4)转动连接。2.根据权利要求1所述的一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置，其特征在于：所述固定管(5)通过固定扣(6)固定在固定安装板(4)的顶部。3.根据权利要求1所述的一种用于覆铜板可旋转防静电抛光机装置，其特征在于：所述旋转壳体(9)呈锥形结构，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪晓霞，胡金山，代建伟，
申请(专利权)人：金宝电子铜陵有限公司，
类型：发明
国别省市：