【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种固态成像装置的制造方法,包括制造固态成像装置的固态成像装置制造步骤,所述固态成像装置在衬底上设置有光电转换部,所述光电转换部使用受光面接受光并生成信号电荷,所述固态成像装置制造步骤包括:金属遮光膜形成步骤,该步骤在所述衬底的上方的与所述受光面对应的区域之外的区域形成金属遮光膜;光反射膜形成步骤,该步骤在所述金属遮光膜的上方形成反射光的光反射膜;以及光刻胶图案层形成步骤,该步骤对形成在所述光反射膜的上方的负型光刻胶膜执行曝光处理后再执行显影处理,由此从所述光刻胶膜形成光刻胶图案层,在所述光反射膜形成步骤中,所述光反射膜包括与所述光刻胶图案层的图案形状对应的形状,并且所述光反射膜以在执行所述光刻胶图案层形成步骤中的所述曝光处理时将所述曝光光反射到所述光刻胶膜的方式被形成。
【技术特征摘要】
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