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固态成像装置及其制造方法、相机以及电子设备制造方法及图纸

技术编号:3928941 阅读:146 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供能够将如OCB膜(43)这样的光刻胶图案层形成为期望图案、并提高成像图像的图像质量的固态成像装置及其制造方法、相机以及电子设备。在光刻胶膜(PR)的形成OCB膜(43)的部分的下方设置光反射膜(42)。由此在执行曝光处理时,被位于光刻胶膜(PR)下方的金属遮光膜(41)反射的曝光光被光反射膜(42)的下表面遮挡。在衬底(101)的成像区域(PA)中的受光面(JS)的上方设置使入射光(H)着色并透射到受光面JS的彩色滤光器(151)。使彩色滤光器(151)包含黑色素,以调整向受光面(JS)入射的光量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态成像装置的制造方法,包括制造固态成像装置的固态成像装置制造步骤,所述固态成像装置在衬底上设置有光电转换部,所述光电转换部使用受光面接受光并生成信号电荷,所述固态成像装置制造步骤包括:金属遮光膜形成步骤,该步骤在所述衬底的上方的与所述受光面对应的区域之外的区域形成金属遮光膜;光反射膜形成步骤,该步骤在所述金属遮光膜的上方形成反射光的光反射膜;以及光刻胶图案层形成步骤,该步骤对形成在所述光反射膜的上方的负型光刻胶膜执行曝光处理后再执行显影处理,由此从所述光刻胶膜形成光刻胶图案层,在所述光反射膜形成步骤中,所述光反射膜包括与所述光刻胶图案层的图案形状对应的形状,并且所述光反射膜以在执行所述光刻胶图案层形成步骤中的所述曝光处理时将所述曝光光反射到所述光刻胶膜的方式被形成。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:和田和司大塚洋一
申请(专利权)人:索尼公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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