一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层制造技术

本发明专利技术公开了一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层，包括基体，基体的顶部沉积Ti打底层，Ti打底层的顶部沉积CrN过渡层，CrN过渡层的顶部沉积AlCrN耐高温层。纯TI涂层对遮光板的膜基结合力最优，且对后面的功能涂层ALCrN结合力也优异，而遮光板直接与功能涂层ALCrN结合效果较差，同时钛涂层可以满足耐温性需求。同时钛涂层可以满足耐温性需求。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层


[0001]本专利技术涉及耐高温涂层
，特别是涉及一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层。

技术介绍

[0002]影视灯具上一般都有2～4片遮扉，它具有挡光作用，通俗称它为遮光板，它的主要作用是控制有效光区。主要作用：1.突出主题，强实弱虚；2.同一平面，层次分明；3.不同材质，控制光区；4.控制光区，互不干扰。
[0003]通常，遮光板的材质有：亚克力板，铝合金等，表面做遮光涂层。但是遮光板的耐温性要求高，导致其使用寿命低。舞台聚光灯光线完全靠后面较大的反射镜射出，用同样大功率的灯泡，如钨丝聚光灯，亮度较聚光要亮，在舞台上要表现强烈光源和亮度时使用，同时在调光时中心常出现黑心，容易引起燃烧。为避免黑心，在灯前端加上遮光板，使其射出的光斑大而不易收拢。此工作环境下对耐温性要求高，同时还保证稳定遮光效果。遮光板的一般应用耐高温涂层只有500
‑
600℃左右，无法满足使用需求。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的不足，本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种能够提高耐温性能，延长使用寿命，生产效率高的应用于舞台遮光板的耐高温涂层。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术采用了如下的技术方案：
[0006]一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层，包括基体，基体的顶部沉积Ti打底层，Ti打底层的顶部沉积CrN过渡层，CrN过渡层的顶部沉积AlCrN耐高温层。
[0007]一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层的制备方法包括以下步骤：
[0008]S1:基体表面预处理；
[0009]S2:在采用反应磁控溅射技术在氩气的气氛中进行溅射，在基体的顶部进行Ti的沉积，沉积参数为阴极功率12kw，Ti靶电流为30A，电压426v，在沉积过程中基体对Ti靶进行正转；
[0010]S3:沉积前将炉内温度升至大于420℃，开启Cr靶，电流为100A，偏压为600V，离子轰击基材表面进行清洗时间为5min，然后用120A电流40V偏压通入600氮气进行CrN沉积；
[0011]S4:在沉积ALCrN时进行50
‑
200V的90分钟IET清洗，关闭Cr靶，沉积ALCrN靶电流为150A，基体负偏压大于40V，通入3.5pa的氮气进行涂层。
[0012]其中，步骤S1中，基体表面预处理采用以下方式：
[0013]对基体做涂层分析，将基体用120金刚砂喷砂后擦拭外观，硅片经酒精擦拭自然烘干，将温度升至180
°
本体抽至2x10
‑3pa，通入80scmm氩气，用200v偏压对基体表面进行45min清洗，然后关闭靶材挡板用进行5min靶清洗除去氧化层。
[0014]其中，Ti靶的纯度大于99.99％。
[0015]其中，Cr靶的纯大于99.99％。
[0016]综上，本应用于舞台遮光板的耐高温涂层具有以下有益效果：
[0017]1.经过多批次验证，纯TI涂层对遮光板的膜基结合力最优，且对后面的功能涂层ALCrN结合力也优异，而遮光板直接与功能涂层ALCrN结合效果较差，同时钛涂层可以满足耐温性需求。
[0018]2.ALCrN优异特性：
[0019]1)更加耐高温氧化(1100℃时仍然保持25GPa的硬度)；
[0020]2)可以调整膜层的组织结构，达到想要的效果；
[0021]3)沉积效率稳定高效。
具体实施方式
[0022]实施例一
[0023]一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层，包括基体，基体的顶部沉积Ti打底层，Ti打底层的顶部沉积CrN过渡层，CrN过渡层的顶部沉积AlCrN耐高温层。
[0024]一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层的制备方法包括以下步骤：
[0025]S1:基体表面预处理；
[0026]S2:采用反应磁控溅射技术在氩气的气氛中进行溅射，在基体的顶部进行Ti的沉积，沉积参数为阴极功率12kw，Ti靶电流为30A，电压426v，在沉积过程中基体对Ti靶进行正转；
[0027]S3:沉积前将炉内温度升至大于420℃，开启Cr靶，电流为100A，偏压为600V，离子轰击基材表面进行清洗时间为5min，然后用120A电流40V偏压通入600氮气进行CrN沉积；
[0028]S4:在沉积ALCrN时进行50
‑
200V的90分钟IET清洗，关闭Cr靶，沉积ALCrN靶电流为150A，基体负偏压大于40V，通入3.5pa的氮气进行涂层。
[0029]本实施例中，步骤S1中，基体表面预处理采用以下方式：
[0030]对基体做涂层分析，将基体用120金刚砂喷砂后擦拭外观，硅片经酒精擦拭自然烘干，将温度升至180
°
本体抽至2x10
‑3pa，通入80scmm氩气，用200v偏压对基体表面进行45min清洗，其目的去除表面吸附的杂质，增加结合力，然后关闭靶材挡板用进行5min靶清洗除去氧化层。
[0031]本实施例中，Ti靶的纯度为99.99％。
[0032]本实施例中，Cr靶的纯度为99.99％。
[0033]耐温性提升：可以实现2min的1000℃耐高温实验下，膜层完整，无析出。
[0034]在大气环境中，CrN涂层在700℃及以上时发生氧化；A1CrN涂层在900℃下氧化的涂层层表面形貌和退火的相比没有明显变化。运用PVD技术，利用Ti+CrN+AlCrN的分层设计，通过将过渡层与功能分离以及参数优化，实现2min的1000℃耐高温实验下，膜层完整，无析出。
[0035]实现过渡层与功能层镀膜分离，更有利于生产组织，提升效率。
[0036]过渡层Ti利用磁控溅射制备，功能层CrN+AlCrN利用电弧离子镀制备，中间产品放置在无尘环境内。对比一台设备直接镀膜成型的生产效率，通过合理调配生产节奏后，可以极大提升效率。
[0037]最后应说明的是：本领域的技术人员可以对本专利技术进行各种改动和变型而不脱离
本专利技术的精神和范围。这样，倘若本专利技术的这些修改和变型属于本专利技术权利要求及其等统计数的范围之内，则本专利技术也意图包含这些改动和变型。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层，其特征在于，包括基体，基体的顶部沉积Ti打底层，Ti打底层的顶部沉积CrN过渡层，CrN过渡层的顶部沉积AlCrN耐高温层。2.根据权利要求1所述的一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层，其特征在于，其制备方法包括以下步骤：S1:基体表面预处理；S2:采用反应磁控溅射技术在氩气的气氛中进行溅射，在基体的顶部进行Ti的沉积，沉积参数为阴极功率12kw，Ti靶电流为30A，电压426v，在沉积过程中基体对Ti靶进行正转；S3:沉积前将炉内温度升至大于420℃，开启Cr靶，电流为100A，偏压为600V，离子轰击基材表面进行清洗时间为5min，然后用120A电流40V偏压通入600sccm氮气进行CrN沉积；S4:在沉积ALCrN时进行50
‑
200V的9...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭欣，石敬分，邓四风，王海林，周笠，雷敬，
申请(专利权)人：重庆中光学建设镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：