一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖、内盖与管口盖支撑弓，所述内盖位于外盖的一侧位置，所述外盖的内侧定位有角度自适应压紧机构，所述管口盖支撑弓与角度自适应压紧机构之间连接有连接架，所述角度自适应压紧机构连接有调节轴，所述调节轴的端部连接有压紧旋柄，所述角度自适应压紧机构的一侧开设有支撑槽，所述调节轴端部位于支撑槽内侧的位置连接有卡轴，所述管口盖支撑弓的两端均一体定位有背柄。本实用新型专利技术所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果。确保可靠密封效果。确保可靠密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖


[0001]本技术涉及真空镀膜炉胆管口领域，特别涉及一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖。

技术介绍

[0002]Parylene真空沉积镀膜工艺是在非常高温和低温以及真空条件下产生分子沉积成薄膜的方式，当前已广泛使用在电子、医疗等零件制作工艺中；其工艺设备中耐高温和真空的炉胆是其主要器件之一，而炉胆的密封和自身加热也是其工艺的关键之一，随着科技的不断发展，人们对于真空镀膜炉胆管口加热密封盖的制造工艺要求也越来越高。
[0003]现有的真空镀膜炉胆管口加热密封盖在使用时存在一定的弊端，目前市面上普遍用到的炉胆密封盖结构存在一些问题，如密封盖与炉胆不能牢固安装、密封盖无加热导致冷区，密封不良等，因此需要一种新型的炉胆盖结构来解决这些问题，给实际的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题：针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]技术方案：为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖、内盖与管口盖支撑弓，所述内盖位于外盖的一侧位置，所述外盖的内侧定位有角度自适应压紧机构，所述管口盖支撑弓与角度自适应压紧机构之间连接有连接架，所述角度自适应压紧机构连接有调节轴，所述调节轴的端部连接有压紧旋柄。
[0006]优选的，所述角度自适应压紧机构的一侧开设有支撑槽，所述调节轴端部位于支撑槽内侧的位置连接有卡轴，所述管口盖支撑弓的两端均一体定位有背柄，所述背柄上开设有销轴。
[0007]优选的，所述外盖与内盖之间定位有定位销，所述外盖上定位有加热器，所述外盖与内盖之间定位有密封热圈，所述内盖内侧定位有加热机构，所述加热器与加热机构之间连接有连接导线。
[0008]优选的，所述角度自适应压紧机构与支撑槽之间一体成型，所述调节轴的端部通过卡轴、支撑槽与角度自适应压紧机构之间卡合定位，所述管口盖支撑弓的两端通过背柄与销轴进行定位。
[0009]优选的，所述加热器与加热机构之间通过连接导线电性连接，所述内盖与加热机构之间卡合固定，所述外盖与内盖之间通过密封热圈进行密封定位。
[0010]优选的，所述管口盖支撑弓通过角度自适应压紧机构支撑定位外盖的位置，且通过压紧旋柄进行调节。
[0011]有益效果：与现有技术相比，本技术提供了一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，具备以下有益效果：该一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果，炉胆盖内盖设加热装置，可改善温区死角从而改善无用的冷区沉积，炉胆加热内盖与外盖隔热设计，节能且改善高温操作环境，通过完整而创新的设计方案实现了操作的方便性、可靠性和良好的密封效果，有效提高了Parylene真空沉积镀膜生产工艺的质量稳定性，整个真空镀膜炉胆管口加热密封盖结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。
附图说明
[0012]图1为本技术一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖的整体结构示意图。
[0013]图2为本技术一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖中剖视图的结构示意图。
[0014]图3为本技术一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖中压紧旋柄的结构示意图。
[0015]图4为本技术一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖中加热机构的结构示意图。
[0016]图中：1、外盖；2、角度自适应压紧机构；3、卡轴；4、背柄；5、管口盖支撑弓；6、压紧旋柄；7、调节轴；8、支撑槽；9、加热器；10、密封热圈；11、加热机构；12、内盖；13、连接架；14、销轴；15、连接导线；16、定位销。
具体实施方式
[0017]下面将结合附图和具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本技术，而不应视为限制本技术的范围。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]如图1
‑
4所示，一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖1、内盖12与管口盖支撑弓5，内盖12位于外盖1的一侧位置，外盖1的内侧定位有角度自适应压紧机构2，管口盖支撑弓5与角度自适应压紧机构2之间连接有连接架13，角度自适应压紧机构2连接有调节轴
7，调节轴7的端部连接有压紧旋柄6，角度自适应压紧装置确保管口盖与炉胆口方向及中心始终保持符合状态，炉胆管口盖密圈自紧自居中功能，不变形、不走位，确保可靠密封效果，炉胆盖内盖设加热装置，可改善温区死角从而改善无用的冷区沉积，炉胆加热内盖与外盖隔热设计，节能且改善高温操作环境。
[0021]进一步的，角度自适应压紧机构2的一侧开设有支撑槽8，调节轴7端部位于支撑槽8内侧的位置连接有卡轴3，管口盖支撑弓5的两端均一体定位有背柄4，背柄4上开设有销轴14。
[0022]进一步的，外盖1与内盖12之间定位有定位销16，外盖1上定位有加热器9，外盖1与内盖12之间定位有密封热圈10，内盖12内侧定位有加热机构11，加热器9与加热机构11之间连接有连接导线15。
[0023]进一步的，角度自适应压紧机构2与支撑槽8之间一体成型，调节轴7的端部通过卡轴3、支撑槽8与角度自适应压紧机构2之间卡合定位，管口盖支撑弓5的两端通过背柄4与销轴14进行定位。
[0024]进一步的，加热器9与加热机构11之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，包括外盖(1)、内盖(12)与管口盖支撑弓(5)，其特征在于：所述内盖(12)位于外盖(1)的一侧位置，所述外盖(1)的内侧定位有角度自适应压紧机构(2)，所述管口盖支撑弓(5)与角度自适应压紧机构(2)之间连接有连接架(13)，所述角度自适应压紧机构(2)连接有调节轴(7)，所述调节轴(7)的端部连接有压紧旋柄(6)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述角度自适应压紧机构(2)的一侧开设有支撑槽(8)，所述调节轴(7)端部位于支撑槽(8)内侧的位置连接有卡轴(3)，所述管口盖支撑弓(5)的两端均一体定位有背柄(4)，所述背柄(4)上开设有销轴(14)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜炉胆管口加热密封盖，其特征在于：所述外盖(1)与内盖(12)之间定位有定位销(16)，所述外盖(1)上定位有加热器(9)，所述外盖(1)与内盖(12)之间定位有密封热...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨照国，孙林超，相玉峰，
申请(专利权)人：苏州沃德科电子有限公司，
类型：新型
国别省市：