一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置及纯化炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置及纯化炉，涉及纯化炉技术领域，包括从上到下依次设置在纯化炉的炉腔内的当硅液漏下时会熔断的多层监测组件，最下层监测组件下方及相邻两个监测组件之间均设置有阻碍硅液的流动的阻隔垫，各监测组件的接线柱穿出纯化炉的炉腔均通过导线连接有通断控制报警机构，通断控制报警机构连接有工控机；本实用新型专利技术设计合理，当纯化炉的炉腔发生漏硅时，硅液会由预留的溢流孔流向纯化炉的炉腔底部，当硅液接触到第一层某一组监测组件时，做出相应的措施应对，避免造成更加严重的次生事故，保证操作人员的人身安全。保证操作人员的人身安全。保证操作人员的人身安全。

【技术实现步骤摘要】
一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置及纯化炉


[0001]本技术涉及纯化炉
，更具体的是涉及纯化炉用硅液溢流的分区监测装置及纯化炉


技术介绍

[0002]纯化炉在生产过程中，由于工艺异常、坩埚质量、设备异常等因素，有可能会造成坩埚破裂，而使坩埚内盛放的硅液泄漏到炉腔底部，如果不及时处理则有可能会造成事故扩大，本方案所述硅液溢流监测装置不但能及时监测到硅液溢流部位，而且能检测到硅液溢流程度及硅液流动趋势，从而做出不同的处理措施，将事故由原来的“听天由命”变为安全可控。
[0003]由于纯化炉炉腔底部为双层水冷夹套，硅液的温度＞1420℃，炉壁材质是不锈钢，熔点为1400℃，当硅液接触到炉壁后，会将炉壁熔穿，夹套内的冷却水会进入高温状态下的炉腔内，从而引发爆炸事故。
[0004]如何解决上述技术问题成了本领域技术人员的努力方向。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：为了解决现有纯化炉炉腔底部由于溢流液泄漏造成爆炸事故的技术问题，本技术提供一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置及纯化炉。
[0006]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0007]一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，包括从上到下依次设置在纯化炉的炉腔内的当硅液漏下时会熔断的多层监测组件，最下层监测组件下方及相邻两个监测组件之间均设置有阻碍硅液的流动的阻隔垫，各监测组件的接线柱穿出纯化炉的炉腔均通过导线连接有通断控制报警机构，通断控制报警机构连接有工控机。
[0008]具体来说，监测组件的作用是当硅液漏下时会熔断，从而使监测组件处于断路状态。当发生漏硅事故时，硅液顺着预留的溢流孔流下时（溢流孔设置在纯化炉的炉腔顶部），会第一时间流到第一层监测组件上，第一层监测组件会立即熔断溢流丝，第一层监测组件把熔断型号通过通断控制报警机构传输给工控机，从而触发警报，操作人员根据工控机上所显示的报警区域，可以直接判断出漏硅的位置和程度，从而做出相应的应急处理。
[0009]进一步地，通断控制报警机构包括串联的通断控制器、蜂鸣器及报警灯，断控制器、蜂鸣器及报警灯均位于纯化炉炉腔外侧。
[0010]具体来说，通断控制器用来根据监测组件的通断情况发出信号，蜂鸣器和报警灯接收到通断控制器发出的信号后进行声光提示。
[0011]进一步地，与纯化炉的炉腔壁接触处的各监测组件的接线柱上均套设有绝缘套。
[0012]具体来说，绝缘套的作用是使监测组件与炉腔隔绝，避免出现短路。监测组件的接线柱通过绝缘套从炉腔内穿出，通过接线柱与导线连接，导线则将通断控制器与蜂鸣器、报警灯串联在一起。
[0013]进一步地，阻隔垫为耐高温氧化铝纤维毯。
[0014]具体来说，耐高温氧化铝纤维毯铺设在纯化炉的炉腔内最下层及设置在相邻两层监测组件之间，下层的监测组件的作用，是起到阻碍硅液的流动及起到隔绝最下层的监测组件与纯化炉底部的作用。
[0015]进一步地，各层监测组件包括至少一条溢流丝，溢流丝绕行分布纯化炉炉腔，溢流丝的绕行路线无交叉。
[0016]具体来说，溢流丝根据纯化炉的炉腔的形状和纯化炉炉腔内各部件的位置，绕行分布，且绕行路线无交叉。
[0017]进一步地，监测组件的层数为两层，分别为下层监测组件和上层监测组件，下层监测组件和上层监测组件之间铺设有多层氧化铝纤维毯。
[0018]进一步地，下层监测组件和上层监测组件之间铺设有至少三层氧化铝纤维毯。
[0019]具体来说，以下层监测组件和上层监测组件之间铺设有三层氧化铝纤维毯为例，将下层监测组件所在的位置命名为D区，下层监测组件内设置有一条D区溢流丝。即在D区溢流丝上铺设了三层氧化铝纤维毯，用于隔绝下层监测组件和上层监测组件。
[0020]进一步地，上层监测组件包括并从左到右且列设置的A区、B区以及C区，A区、B区以及C区均分别铺设有A区溢流丝、B区溢流丝以及C区溢流丝。
[0021]进一步地，A区溢流丝、B区溢流丝以及C区溢流丝均为独立形成回路的一根溢流丝，A区溢流丝、B区溢流丝以及C区溢流丝的均在各自对应的区域内绕行，且绕行路线均无交叉。
[0022]具体来说，D区监测组件处于最下层，D区监测组件下方铺设一层氧化铝纤维毯，上方铺设三层氧化铝纤维毯，A、B、C三个区同处于最上层。A区溢流丝、B区溢流丝以及C区溢流丝均为独立形成回路的一根溢流丝，每根独立回路溢流丝都处于预留的溢流孔正下方，并且在所有溢流孔正下方形成闭环状态，每根独立回路溢流丝均通过各自的接线柱与外部的通断控制报警机构连接，可以实现独立报警。
[0023]当发生漏硅事故时，硅液顺着预留的溢流孔流下时，会第一时间流到A或B或C三个区溢流丝上，会立即熔断溢流丝，从而触发警报，操作人员根据工控机上所显示的报警区域，可以直接判断出漏硅的位置和程度，从而做出相应的应急处理。
[0024]当硅液漏出很多时，硅液会浸透D区溢流丝上所铺设的三层氧化铝纤维毯，到达D区，熔断D区溢流丝，从而出发D区报警，操作人员根据报警做出相应反应。
[0025]本使用新型还提供一种纯化炉，包括上述的一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置。
[0026]其中，工控机内部预先编写了程序，用于显示A、B、C、D四个区域溢流丝通断状态。
[0027]本技术的有益效果如下：
[0028]1、本技术设计合理，当纯化炉的炉腔发生漏硅时，硅液会由预留的溢流孔流向纯化炉的炉腔底部，当硅液接触到第一层某一组监测组件时，会将监测组件熔断，触发声光报警，操作者可第一时间进行紧急处理，并且根据报警位置及其他几组报警的顺序及时间推断出漏硅的程度和硅液侵入的位置，从而做出相应的措施应对，避免造成更加严重的次生事故，保证操作人员的人身安全。
[0029]2、通断控制器用来根据监测组件的通断情况发出信号，蜂鸣器和报警灯接收到通
断控制器发出的信号后进行声光提示。
附图说明
[0030]图1是本技术上层监测组件的结构示意图；
[0031]图2是本技术下层监测组件的结构示意图；
[0032]附图标记：1
‑
炉腔，2
‑
A区溢流丝，3
‑
A区，4
‑ꢀ
B区溢流丝，5
‑
B区，6
‑
C区，7
‑
C区溢流丝，8
‑
D区溢流丝。
具体实施方式
[0033]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0034]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，其特征在于，包括从上到下依次设置在所述纯化炉的炉腔(1)内的当硅液漏下时会熔断的多层监测组件，最下层所述监测组件下方及相邻两个所述监测组件之间均设置有阻碍硅液的流动的阻隔垫，各所述监测组件的接线柱穿出所述纯化炉的炉腔(1)均通过导线连接有通断控制报警机构，所述通断控制报警机构连接有工控机。2.根据权利要求1所述的一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，其特征在于，所述通断控制报警机构包括串联的通断控制器、蜂鸣器及报警灯，所述断控制器、所述蜂鸣器及所述报警灯均位于所述纯化炉炉腔(1)外侧。3.根据权利要求2所述的一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，其特征在于，与所述纯化炉的炉腔(1)壁接触处的各所述监测组件的接线柱上均套设有绝缘套。4.根据权利要求1所述的一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，其特征在于，所述阻隔垫为耐高温氧化铝纤维毯。5.根据权利要求1至4中任一项所述的一种纯化炉用硅液溢流的分区监测装置，其特征在于，各层所述监测组件包括至少一条溢流丝，所述溢流丝绕行分布所述纯化炉炉腔(1)，所述溢流丝的绕行路线无交叉。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：成春泽，梁辉，康永强，李红波，赵鹏旭，张建涛，颉谦，李征，吴昊，
申请(专利权)人：新疆东方希望新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：