【技术实现步骤摘要】
晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体涉及一种晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法。
技术介绍
[0002]由于晶圆整体质地通常比较脆弱，在晶圆生产及运输过程中，为防止其出现损坏，目前通常是将其装载在专用的晶圆盒中进行暂存。为防止晶圆盒内部的污垢对其内的晶圆造成污染，在装入晶圆前，需先检测晶圆盒内的洁净程度。
[0003]现有技术中，晶圆盒的洁净度检测大多通过手动的方式来实现，具体为，向晶圆盒内倒入纯水，手动地摆动一定时间后，使用LPC（liquid particle counter，液体颗粒计数仪）来检测水中的颗粒数，并依此来判断晶圆盒的洁净度。然而，这种检测方式，主要通过手动来摆动，不仅耗费人工，且无法保证每次摆动的一致性，导致检测结果存在较大的人为误差，降低了检测精度，无法对晶圆盒的洁净程度做出准确的判断。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种晶圆盒检测辅助装置，以解决现有技术的一个或多个问题。
[0005]为达到...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述检测辅助装置包括驱动组件和与所述驱动组件连接的载具，所述晶圆盒能够被收容在所述载具内，且所述驱动组件能够驱动所述载具带动所述晶圆盒绕转动中心线同步摆动，其中，所述转动中心线位于所述晶圆盒的中心对称面上。2.根据权利要求1所述的晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述晶圆盒包括盒体和设置在所述盒体外部的连接座，所述连接座位于所述盒体第一方向上的一端，所述转动中心线沿所述第一方向延伸，且所述连接座位于所述转动中心线上。3.根据权利要求2所述的晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述载具上设有限位结构，所述限位结构包括固定限位组件与可调限位组件，其中，所述固定限位组件用于与所述连接座相互配合，所述可调限位组件用于与所述盒体相互配合，操作所述可调限位组件能够调整在第二方向上夹持所述载具的夹持空间，所述第二方向与所述第一方向相互垂直。4.根据权利要求2所述的晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述载具上设有调节件，操作所述调节件能够调节所述载具在所述第一方向上的容纳空间。5.根据权利要求1所述的晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述检测辅助装置还包括用于控制所述载具绕所述转动中心线摆动幅度的止挡组件，所述止挡组件包括止挡件与转动件，所述转动件设于所述载具上并能够随所述载具同步转动，所述止挡件相对所述驱动组件位置固定。6.根据权利要求5所述的晶圆盒检测辅助装置，其特征在于：所述载具上设置有弧...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：江苏芯梦半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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