温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆盒检测辅助装置及晶圆盒洁净度检测方法，所述检测辅助装置包括驱动组件和与所述驱动组件连接的载具，所述晶圆盒能够被收容在所述载具内，且所述驱动组件能够驱动所述载具带动所述晶圆盒绕转动中心线同步摆动，其中，所述转动中心线位于所...
该专利属于江苏芯梦半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯梦半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。