【技术实现步骤摘要】
超声波导线键合装置中的力传感器
[0001]本专利技术总体涉及在用于形成半导体器件之间电气互连的导线键合操作期间的力测量，具体而言，涉及一种用于监测由超声波导线键合装置施加的键合力的力传感器。
技术介绍
[0002]超声波焊接通常用于半导体器件装配和封装期间的导线键合。力传感器可用于超声波导线键合装置，以通过感测或测量键合力来监测导线键合的质量。
[0003]导线键合设备中常规的超声波导线键合装置在专利号为9,640,512B2、专利技术名称为“包括振荡机构的导线键合设备”的美国专利中得以描述。这样的导线键合装置包括超声波换能器，该超声波换能器包括劈刀和至少一个具有纵向致动方向的电动致动器。
[0004]在一些现有的超声波导线键合设备中，力传感器或编码器可以附接至其上已经安装了导线键合装置的超声波导线键合设备的键合头或换能器支架上。由于力传感器通常位于远离导线键合工具(例如劈刀)的位置，因而在导线键合操作期间，在检测由导线键合工具施加到键合表面的键合力时，力传感器中存在延迟。因此，检测到的键合力的准确性减弱。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于在导线键合操作期间确定键合力的力传感器，所述力传感器包括：压电感测元件，其安装在超声波导线键合装置的超声波换能器上，所述压电感测元件包括第一部分、第二部分以及第一和第二相对表面；其中所述第一部分的第一表面具有正电极，所述第一部分的第二表面具有负电极；并且所述第二部分的第一表面具有负电极，所述第二部分的第二表面具有正电极。2.根据权利要求1所述的力传感器，其中所述压电感测元件安装在所述超声波换能器上，使得所述第一部分和第二部分沿与所述超声波换能器的纵向方向垂直的方向布置。3.根据权利要求2所述的力传感器，其中所述压电感测元件的所述第一部分和第二部分沿垂直朝向隔开布置。4.根据权利要求3所述的力传感器，其中所述第一部分和第二部分布置成使得对称的正负电极形成在压电感测元件的所述第一和第二相对表面中每一个上。5.根据权利要求1所述的力传感器，其中所述压电感测元件进一步包括布置在压电感测元件的所述第一部分和所述第二部分之间的隔离壁。6.根据权利要求5所述的力传感器，其中所述隔离壁具有1毫米至2毫米的宽度。7.根据权利要求1所述的力传感器，其中所述压电感测元件位于所述超声波换能器的焊头和压电驱动器堆之间。8.根据权利要求7所述的力传感器，进一步包括设置在所述压电感测元件和所述超声波换能器的所述焊头之间的第一绝缘板，以及设置在所述压电感测元件和所述超声波换能器的所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李庆良，林凯定，余子杰，彭利达，
申请(专利权)人：先进科技新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。