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一种用于在导线键合操作期间确定键合力的力传感器，包括：压电感测元件，其安装在超声波导线键合装置的超声波换能器上，该压电感测元件包括第一部分、第二部分以及第一和第二相对表面，其中第一部分的第一表面具有正电极，第一部分的第二表面具有负电极，并且...
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