一种电极间距可连续调节的电容压力传感器制造技术

本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：左机架、右机架以及底板共同组成腔室；感压膜片设置在左机架和右机架之间，将腔室分成第一腔室和第二腔室；第一腔室内设置有进气口，第二腔室内设置有固定电极、陶瓷板以及引出电极；固定电极与陶瓷板之间设置有调节螺杆，陶瓷板通过卡箍固定在底板上，引出电极与调节螺杆连接。本申请消除了传统固定电极镀膜后无法对电极间距更改的现状，实现了感压膜片与固定电极间距的连续调节，固定电极和陶瓷板之间采用螺纹连接，减少了真空镀膜的环节，提高了生产效率，降低了加工成本。降低了加工成本。降低了加工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种电极间距可连续调节的电容压力传感器


[0001]本申请涉及真空计量
，具体而言，涉及一种电极间距可连续调节的电容压力传感器。

技术介绍

[0002]电容薄膜真空计是一种利用弹性膜片在压差作用下产生位移，引起电极和膜片之间距离的变化，导致电容量发生改变，通过测量电容的变化，实现真空度测量的仪器。它具有测量准确度高、线性好、输出的重复性和长期稳定性好、能够测量气体和蒸汽的全压力，测量结果与气体成分和种类无关等诸多优点，在真空计量、微电子工业、表面处理、等离子体测量、航空航天、高能物理、可控热核聚变等领域得到广泛应用。
[0003]电容压力传感器是电容薄膜真空计的物理单元，其感压膜片与固定电极间距以及固定电极形状是影响电容压力传感器性能的主要因素，电容薄膜压力传感器在制造和调试过程中固定电极的形状及厚度会直接影响感压膜片与固定电极间距的变化，从而导致输出电容值发生变化而影响传感器的测量精度。
[0004]传统电容压力传感器中固定电极是通过真空镀膜方式直接将铝镀在陶瓷板上形成铝膜作为固定电极的，即镀膜完成后固定电极的形状和厚度完全确定无法更改。这种设计的不足之处在于电容压力传感器在性能调试过程中一旦发现固定电极与感压膜片间距不满足设计要求时则无法对固定电极进行更换，如要进行更换则必须重新进行镀膜，造成研制时间和成本的巨大投入。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，可有效减小传统电容压力传感器固定电极一旦完成镀膜则无法更改的现状，有效地消除传统电极组件局限性的同时，极大地提高了固定电极设计及更换的多样性。
[0006]为了实现上述目的，本申请提供了一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：机架包括左机架和右机架，左机架、右机架以及底板共同组成腔室；感压膜片设置在左机架和右机架之间，将腔室分成第一腔室和第二腔室；第一腔室内设置有进气口，第二腔室内设置有固定电极、陶瓷板以及引出电极；固定电极与陶瓷板之间设置有调节螺杆，调节螺杆与固定电极为一体结构，引出电极与调节螺杆连接，陶瓷板通过卡箍固定在底板上。
[0007]进一步的，陶瓷板的中心位置设置有螺纹通孔，用于与调节螺杆配合连接。
[0008]进一步的，通过调节螺杆能够旋转固定电极，实现电极间距的连续调节。
[0009]进一步的，固定电极的材料为金属材料，厚度为4mm
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10mm，直径为20mm
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100mm。
[0010]进一步的，陶瓷板的材料为95瓷。
[0011]本专利技术提供的一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，具有以下有益效果：
[0012]本申请采用独立结构的固定电极组件，安装及拆卸都极其简便，消除了传统固定
电极镀膜后无法对电极间距更改的现状，实现了感压膜片与固定电极间距的连续调节，固定电极和陶瓷板之间采用螺纹连接，减少了真空镀膜的环节，提高了生产效率，降低了加工成本，同时降低了原有镀膜生产方式废品率。
附图说明
[0013]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0014]图1是根据本申请实施例提供的电极间距可连续调节的电容压力传感器的结构示意图；
[0015]图2是传统电容压力传感器固定电极和陶瓷板之间的连接示意图；
[0016]图3是根据本申请实施例提供的电极间距可连续调节的电容压力传感器固定电极和陶瓷板之间的连接示意图；
[0017]图中：11
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左机架、12
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右机架、13
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第一腔室、14
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第二腔室、15
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进气口、2
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底板、3
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感压膜片、4
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固定电极、5
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陶瓷板、6
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引出电极、7
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调节螺杆、8
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卡箍。
具体实施方式
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0020]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0021]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0022]另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0024]如图1所示，本申请提供了一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，包括机
架、底板2、感压膜片3、固定电极4、陶瓷板5以及引出电极6，其中：机架包括左机架11和右机架12，左机架11、右机架12以及底板2共同组成腔室；感压膜片3设置在左机架11和右机架12之间，将腔室分成第一腔室13和第二腔室14；第一腔室13内设置有进气口15，第二腔室14内设置有固定电极4、陶瓷板5以及引出电极6；固定电极4与陶瓷板5之间设置有调节螺杆7，调节螺杆7与固定电极4为一体结构，引出电极6与调节螺杆7连接，陶瓷板5通过卡箍8固定在底板2上。
[0025]具体的，本申请实施例提供的电极间距可连续调节的电容压力传感器通过测量感压膜片3与固定电极4之间的距离变化，即电容的变化，实现对真空度的测量。其中，机架分为左机架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电极间距可连续调节的电容压力传感器，其特征在于，包括机架、底板、感压膜片、固定电极、陶瓷板以及引出电极，其中：所述机架包括左机架和右机架，所述左机架、所述右机架以及所述底板共同组成腔室；所述感压膜片设置在所述左机架和所述右机架之间，将腔室分成第一腔室和第二腔室：所述第一腔室内设置有进气口，所述第二腔室内设置有固定电极、陶瓷板以及引出电极；所述固定电极与所述陶瓷板之间设置有调节螺杆，所述调节螺杆与所述固定电极为一体结构，所述引出电极与所述调节螺杆连接，所述陶瓷板通过卡箍固定在所述底板上。2.根据权利要求1所述的电极间距可连续调节的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴晓强，丁栋，吴成耀，冉欣，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：