一种废气处理装置及系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种废气处理装置及系统，涉及有害气体处理技术领域。其中废气处理系统包括废气处理装置，废气处理装置包括废气处理箱及水膜床组件。在第一方向上，废气处理箱依次设置有废气入口、注水口及排气口。水膜床组件位于注水口与废气入口之间且与废气处理箱的内壁连接，水膜床组件包括洗涤件，洗涤件用于接收注水口传出的液体，洗涤件设置有多个气孔，气孔与废气入口及排气口连通。废气在继续上升的过程中，废气逐步穿过洗涤件的气孔时，会形成水泡或水柱，从而能够有效的使得废气中具有水溶性的有害气体充分与液体混合。液体混合。液体混合。

【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置及系统


[0001]本技术涉及有害气体处理
，具体而言，涉及一种废气处理装置及系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中会产生具有毒性、可燃性和腐蚀性的气体，而这些有毒的废气一般会先燃烧，燃烧过后的气体根据成分不同会产生含有有毒且可溶于水的成分，为了除去废气中所含的有毒水溶性成分，现有技术常采用水洗塔，以喷淋的方式进行废气净化。
[0003]经专利技术人研究发现，喷淋的效果有限，难以充分的使得废气中具有水溶性的有害气体与液体充分混合。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种废气处理装置及系统，其能够有效的使得废气中具有水溶性的有害气体充分与液体混合。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种废气处理装置，包括：
[0007]废气处理箱，在第一方向上，废气处理箱依次设置有废气入口、注水口及排气口；
[0008]水膜床组件，水膜床组件位于注水口与废气入口之间且与废气处理箱的内壁连接，水膜床组件包括洗涤件，洗涤件用于接收注水口传出的液体，洗涤件均具有第一容纳腔，洗涤件靠近废气入口的一侧设置有多个气孔，气孔与废气入口及排气口连通。
[0009]在第一容纳腔装满水后，废气逐步穿过洗涤件的气孔时，会形成水泡或水柱，从而能够有效的使得废气中具有水溶性的有害气体充分与液体混合。
[0010]在可选的实施方式中，水膜床组件还包括中转件，中转件的两侧分别与洗涤件及废气处理箱的内侧壁连接，水膜床组件的数量为多个且在第一方向间隔分布，在第二方向上，洗涤件具有第一端及第二端，对于任意两个相邻的水膜床组件，其中一个水膜床组件的中转件位于洗涤件的第一端，另外一个水膜床组件的中转件位于洗涤件的第二端，靠近注水口的水膜床组件中的中转件位于洗涤件远离注水口的一端，第一方向与第二方向呈夹角。
[0011]通过上述设置，在注水过程中，最靠近排气口的水膜床组件中的洗涤件溢出的水会流入到中转件，中转件能够将水排出至下一层的水膜床组件的洗涤件中，多层水膜床组件中的水流呈“S”状沿第一方向依次注满，保证了水流的顺利流转，废气从废气入口进入后，会依次经过多个洗涤件，进而能够使得废气中具有水溶性的有害气体更加充分与液体混合。
[0012]在可选的实施方式中，废气处理箱的内侧壁完全与洗涤件及中转件的外侧壁贴合。
[0013]避免洗涤件与废气处理箱的侧壁之间和中转件与废气处理箱的侧壁出现间隙，能
够保证废气从洗涤件的气孔穿过进而实现废气的洗涤。
[0014]在可选的实施方式中，中转件具有第二容纳腔，第二容纳腔具有进口及出口，第二容纳腔的出口与进口均朝向排气口，并且出口在第一方向上相对进口远离排气口。
[0015]在气体从下至上流动时，难以从第二容纳腔穿出，因此上述结构的中转件能够起到一定的密封的作用，使得废气难以通过，进而保证废气充分的经过洗涤件。
[0016]在可选的实施方式中，中转件包括第二隔板及第三隔板，第二隔板与洗涤件连接，第三隔板包括依次呈夹角连接的第一侧板、第二侧板及第三侧板，第一侧板与废气处理箱的内侧壁连接，第三侧板相对第二隔板远离第一侧板且位于洗涤件靠近废气入口的一侧。
[0017]当第二容纳腔的水装满时，水位与第三侧板保持齐平，从而达到防止废气通过的效果。
[0018]在可选的实施方式中，在第一方向上，第三侧板远离第二侧板的一端与排气口的间距为第一间距，第二隔板靠近废气入口的一端与排气口的间距为第二间距，第一间距小于第二间距。
[0019]第三侧板与第二隔板高低错位设置，能够有效地防止废气从装满水的中转件中经过。
[0020]在可选的实施方式中，废气处理装置还包括喷淋组件，喷淋组件位于水膜床组件与废气入口之间。
[0021]喷淋组件喷淋出的水雾能够使废气中部分的水溶性成分溶解到水中，进一步使得废气中具有水溶性的有害气体与液体充分混合，进而保证从排气口流出的气体的洁净度。
[0022]在可选的实施方式中，废气处理装置还包括水箱，水箱与废气入口连接，水箱用于接收废气处理箱中下落的液体。
[0023]当喷淋组件与注水口向废气处理箱内分别进行喷淋及注水时，与废气结合的水能够进入水箱中，能够避免其四散。
[0024]在可选的实施方式中，水箱内设置有电连接的水位传感器及排水件，当水位传感器检测到水箱内的水位达到预设水位时，排水件开始排水。
[0025]通过上述设置能够有效避免水箱内的水溢出。
[0026]第二方面，本技术提供一种废气处理系统，包括前述实施方式任一项的废气处理装置。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1为本技术实施例提供的废气处理装置的结构示意图；
[0029]图2为本技术实施例提供的水膜床组件的结构示意图。
[0030]图标:1
‑
废气处理装置；10
‑
废气处理箱；11
‑
废气入口；12
‑
排气口；13
‑
注水口；20
‑
水膜床组件；21
‑
洗涤件；211
‑
第一隔板；212
‑
底板；213
‑
第一容纳腔；22
‑
中转件；221
‑
第二隔板；223
‑
第三隔板；2231
‑
第一侧板；2232
‑
第二侧板；2233
‑
第三侧板；224
‑
出口；225
‑
进
口；226
‑
第二容纳腔；23
‑
气孔；30
‑
喷淋组件；40
‑
水箱。
具体实施方式
[0031]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0032]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]应注意到：相似的标号和字母在下面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：废气处理箱(10)，在第一方向上，所述废气处理箱(10)依次设置有废气入口(11)、注水口(13)及排气口(12)；水膜床组件(20)，所述水膜床组件(20)位于所述注水口(13)与所述废气入口(11)之间且与所述废气处理箱(10)的内壁连接，所述水膜床组件(20)包括洗涤件(21)，所述洗涤件(21)用于接收所述注水口(13)传出的液体，所述洗涤件(21)具有第一容纳腔(213)，所述洗涤件(21)设置有多个气孔(23)，所述气孔(23)与所述废气入口(11)及所述排气口(12)连通。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：所述水膜床组件(20)还包括中转件(22)，所述中转件(22)的两侧分别与所述洗涤件(21)及所述废气处理箱(10)的内侧壁连接，所述水膜床组件(20)的数量为多个且在所述第一方向间隔分布，在第二方向上，所述洗涤件(21)具有第一端及第二端，对于任意两个相邻的所述水膜床组件(20)，其中一个所述水膜床组件(20)的中转件(22)位于所述洗涤件(21)的第一端，另外一个所述水膜床组件(20)的中转件(22)位于所述洗涤件(21)的第二端，靠近所述注水口(13)的所述水膜床组件(20)中的中转件(22)位于所述洗涤件(21)远离所述注水口(13)的一端，所述第一方向与所述第二方向呈夹角。3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：所述废气处理箱(10)的内侧壁完全与所述洗涤件(21)及所述中转件(22)的外侧壁贴合。4.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：所述中转件(22)具有第二容纳腔(226)，所述第二容纳腔具有进口(225)及出口(224)，所述第二容纳腔的出口(224)与进口(225)均朝向所述排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，冯梦真，于广游，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：