打印元件基板和制造打印元件基板的方法技术

本申请公开了打印元件基板和制造打印元件基板的方法。打印元件基板包括：基板，该基板包括能量生成元件，该能量生成元件生成用于从喷射口喷射液体的能量，以及，流路形成构件，包括将液体供应到喷射口的流路。流路形成构件包括不与流路连通的腔体。腔体的侧表面形成为基本上与基板垂直。基膜形成在腔体和基板之间。流路形成构件的折射率低于基膜的折射率，并且流路形成构件的折射率与基膜的折射率之差大于或等于0.3。于或等于0.3。于或等于0.3。

【技术实现步骤摘要】
打印元件基板和制造打印元件基板的方法


[0001]本公开涉及一种打印元件基板和制造打印元件基板的方法。

技术介绍

[0002]已经开发了通过将液体喷射到打印介质(诸如打印纸)上来进行打印的液体喷射头。液体喷射头包括具有用于喷射液体的喷射口的打印元件基板、用于为喷射生成能量的能量生成元件，等等。从生产控制的角度来看，打印元件基板可以提供有单独的识别信息。
[0003]日本专利公开No.2011
‑
68129描述了一种用于在打印元件基板中提供个体识别信息的方法。根据该方法，在打印元件基板上形成流路(flow passage)的流路形成构件中设置有腔体，使得腔体的形状(腔体图案)例如表示指示个体识别信息的数字。此外，根据日本专利公开No.2011
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68129，通过使腔体的侧表面相对于基板倾斜来提高个体识别信息的可见度。

技术实现思路

[0004]但是，在日本专利公开No.2011
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68129中描述的方法中，由于腔体的侧表面相对于基板倾斜，因此难以减小打印元件基板的尺寸。这是因为，为了使腔体的侧表面倾斜，在相邻的各条个体识别信息之间需要与侧表面的倾斜量对应的额外空间，使得难以密集地填充腔体图案。
[0005]因而，本公开提供了一种能够确保个体识别信息的可见度和尺寸的减小两者的打印元件基板和该打印元件基板的制造过程。
[0006]根据本公开的一方面，一种打印元件基板包括基板和流路形成构件，所述基板包括被配置成生成用于从喷射口喷射液体的能量的能量生成元件，所述流路形成构件包括被配置成将液体供应到喷射口的流路。流路形成构件包括不与流路连通的腔体。腔体的侧表面被形成为基本上与基板垂直。基膜形成在腔体和基板之间。流路形成构件的折射率低于基膜的折射率，并且流路形成构件的折射率与基膜的折射率之差大于或等于0.3。
[0007]从以下参考附图对示例性实施例的描述中，本专利技术的其它特征将变得清楚。
附图说明
[0008]图1是打印元件基板的示意图。
[0009]图2是打印元件基板的示意性横截面图。
[0010]图3是个体识别信息部分的顶视图。
[0011]图4A例示了在设置有基膜的基板中形成供液口(liquid supply port)的过程；图4B例示了在基板中形成第一流路形成构件的过程；图4C例示了通过光掩模对第一流路形成构件进行的i线曝光过程；图4D例示了在第一流路形成构件上形成第二流路形成构件的过程；图4E例示了通过光掩模对第二流路形成构件进行的i线曝光过程；并且图4F例示了用溶剂去除被光掩膜遮光的部分的过程。
[0012]图5是个体识别信息的顶视图。
[0013]图6例示了菲涅尔反射。
[0014]图7A是具有从上方可以看到的形状的字符的顶视图；并且图7B是具有从上方可以看到的形状的标记的横截面图。
具体实施方式
[0015]下面详细描述本公开的实施例。
[0016]第一实施例
[0017]图1是根据本实施例的打印元件基板11的示意图。打印元件基板11包括基板1，基板1具有为喷射生成能量的能量生成元件(未示出)和供液口5。打印元件基板11还包括形成在基板1上的流路形成构件6。流路形成构件6包括流路4和喷射口3。打印元件基板11具有个体信息区域2，该个体信息区域2具有不与流路形成构件6中的流路4连通的腔体7。打印元件基板11在其用作液体喷射表面的正Z方向表面上具有液体排斥(liquid
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repellent)膜(未示出)。
[0018]图2是根据本实施例的图1中所示的打印元件基板的沿着线II
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II截取的示意性横截面图。如图2中所示，包括喷射口3和流路4的流路形成构件6形成在包括能量生成元件(未示出)的基板1上。另外，供液口5形成在基板1中，以便从流路形成构件6的一个表面穿过流路形成构件6到另一个表面。流路形成构件6具有个体信息区域2，其包括不与流路4连通的腔体7，并且基膜8形成在腔体7中的基板1上。
[0019]基膜8具有比流路形成构件6更高的折射率，从而能够提高腔体7的可见度。图6是菲涅尔反射(垂直入射)的示意图。如图6中所示，根据菲涅耳反射公式，当光垂直入射到折射率不同的物质相互接触的边界平面时，反射的幅度与折射率之间的差异相关。根据本实施例，考虑到腔体7与基膜8之间以及流路形成构件6与基膜8之间的两个边界平面处的反射，期望基膜8具有比流路形成构件6更高的折射率。基膜8可以位于腔体7周围的基板上，并且可以位于至少个体信息区域2的内部。另外，从生产率的观点来看，期望基膜8也用作基板1的保护膜。考虑到菲涅尔反射，根据本公开，期望流路形成构件的折射率与基膜的折射率之差为0.3或更高。因此，更多的光从基膜8反射，导致可见度提高。此外，如果基膜的折射率为1.9或更高，那么更多的光从基膜8反射，这是期望的。
[0020]图3是从正Z方向观察的图2中所示的个体信息区域2的示意性顶视图。如图3中所示，个体信息区域2的位置使得腔体7与流路形成构件6的端部接触。但是，腔体7不一定必须与流路形成构件6的端部接触，只需要腔体7与大气连通(对大气开放)使得腔体7可以在稍晚的时间处形成。根据本实施例，作为示例，腔体7具有表示个体信息的数字的形状。但是，形状不限于此。例如，如图7A和图7B中所示，可以使用字符或标记，只要它们具有从上方可识别的形状即可。作为个体信息的示例，个体信息可以指示打印元件基板11在基板1中的位置(参见图5)。但是，个体信息可以包括过程中的检查信息和测量信息。另外，为了利于腔体7的形状中的个体信息的可视识别，个体信息区域2设置有折射率至少高于流路形成构件6的折射率的基膜(未示出)。因此，腔体7与基膜8之间以及流路形成构件6与基膜8之间的边界平面处的反射系数增加，使得可以清楚地看到腔体7的形状。反射光随着反射系数的增加而增加，因此亮度增加，从而导致可见度提高。
[0021]期望流路形成构件6的折射率低于基膜8的折射率。这是因为，当流路形成构件6的折射率高于基膜8的折射率时，从上方进入流路形成构件的光线被大大折射，导致可见度降低。为了避免可见度降低，期望流路形成构件6的折射率被最小化。
[0022]另外，期望腔体7的侧表面与基板1形成的角度在85
°
至95
°
范围内。这是因为，通过将腔体7的侧表面形成为与基板1基本上垂直，能够减少在相邻的各条个体识别信息之间设置的并且是在腔体7的侧表面倾斜时所需的额外空间。因此，腔体图案可以被密集填充。
[0023]下面参考图4A至图4F描述根据本实施例的制造打印元件基板的方法。如图4A中所示，制备具有用作能量生成元件和基板保护膜两者的基膜8的基板1，并且形成供液口5以贯通基板1。随后，如图4B中所示，在基板1的其上形成有基膜8的表面上形成由负性光敏树脂制成的第一流路形成构件9。随后，如图4C中所示，第一流路形成构件9通过光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种打印元件基板，包括：基板，包括能量生成元件，该能量生成元件被配置成生成用于从喷射口喷射液体的能量；以及流路形成构件，包括被配置成将液体供应到喷射口的流路，其中，所述流路形成构件包括形成于其中的不与流路连通的腔体，其中，所述腔体的侧表面被形成为基本上与所述基板垂直，其中，在所述腔体与所述基板之间形成基膜，其中，所述流路形成构件的折射率低于所述基膜的折射率，并且其中，所述流路形成构件的折射率与所述基膜的折射率之差大于或等于0.3。2.根据权利要求1所述的打印元件基板，其中，由所述腔体的所述侧表面与所述基板形成的角度在85
°
至95
°
的范围内。3.根据权利要求1所述的打印元件基板，其中，所述基膜的折射率高于或等于1.9。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的打印元件基板，其中，所述基膜为所述基板的保护膜。5.根据权利要求1至3中的任一项所述的打印元件基板，其中，所述腔体对大气开放。6.根据权利要求1至3中的任一项所述的打印元件基板，其中，在所述流路形成构件上形成有被配置成形成所述喷射口的喷射口形成构件，并且其中，所述喷射口形成构件的厚度在2μm至11μm的范围内。7.一种制造打印元件基板的方法，所述打印元件基板包括基板，所述基板包括能量生成元件，所述能量生成元件被配置成生成用于从喷射口喷射液体的能量，以及流路形成构件，包括被配置成将液体供应到所述喷射口的流路和不与所述流路连通的腔体，所述方法包括：制备具有基膜的所述基板；在所述基板上形成所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本圭司，浅井和宏，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：