感光性树脂用化合物、耐热树脂、感光树脂组合物、图案化膜及显示装置制造方法及图纸

技术编号:39181528 阅读:8 留言:0更新日期:2023-10-27 08:29
本发明专利技术提供一种感光性树脂用化合物、耐热树脂、感光树脂组合物、图案化膜及显示装置。所述化合物具有下述通式结构(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中的任意一种,所述结构式(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种,R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;q表示0~1的整数;S代表连接基团,所述连接基团的碳原子数不少于6,且含有至少一个脂环和/或芳环的并环结构。得到高敏感度、优异热性能的感光树脂组合物。优异热性能的感光树脂组合物。

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂用化合物、耐热树脂、感光树脂组合物、图案化膜及显示装置


[0001]本专利技术涉及光电半导体
,具体地说,涉及感光性树脂用化合物、耐热树脂、感光树脂组合物、图案化膜及显示装置。

技术介绍

[0002]近年来,随着显示发光元件以及半导体元件的细微化,对表面保护膜、层间绝缘膜和像素定义层等也要求μm级别甚至以下的分辨率及高敏感度,同时由于制程与加工工艺的要求,对感光材料的耐热性、电绝缘性和耐化学品性提出了很高的要求。因此,由本身具有良好耐热性和电绝缘性的聚酰亚胺、聚苯并噁唑、酚醛树脂等得到的高感光性树脂组合物在该领域得到广泛的关注与应用,特别是经紫外光曝光后,曝光部分可溶解于碱水溶液的正型感光性树脂组合物。
[0003]目前常用的方法是向在碱液中具有良好溶解性的耐热性树脂或其前体中,加入具有感光活性的阻溶性化合物—重氮萘醌化合物,通过重氮萘醌基团的氢键作用、静电作用以及碱催化耦合作用等抑制未曝光区在碱液中的溶解,曝光后重氮萘醌基团发生分解,转化为羧基,溶解抑制作用消失并增大曝光区的溶解性。可举出如聚酰胺酸中加入重氮萘醌化合物的树脂组合物,含羟基聚酰亚胺中加入重氮萘醌化合物的树脂组合物等体系。此外,为了提高遮光区与曝光区的溶解对比度,降低曝光量,常在树脂体系中加入酚类化合物。然而,重氮萘醌化合物、羟基以及酚类化合物的引入,容易导致热处理后固化膜的耐热性与耐药品性变差的问题,以及显影过程中膜减薄与曝光量之间难以平衡的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决上述技术问题,提供一种感光性树脂用化合物、耐热树脂、感光树脂组合物、图案化膜及本专利技术第五方面。
[0005]本专利技术第一方面提供一种感光性树脂用化合物,所述化合物具有下述通式结构(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中的任意一种,
[0006][0007]所述结构式(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种,R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;q表示0~1的整数;S代表连接基团,所述连接基团含有的碳原子数不少于6,所述连接基团含有至少一个脂环和/或芳环的并环结构。
[0008]优选地,所述S基团包含砜基、亚砜基、硫醚基、硅氧烷键或六氟丙基的四价连接基团;
[0009]和/或,所述脂环和/或芳环的并环结构包括两个以上脂环结构相并的结构、至少一个脂环与至少一个芳环相并的结构、两个以上芳环相并的结构中的任意一种或多种。
[0010]其它优选地,所述连接基团含有两个脂环和/或芳环的并环结构,且两个所述脂环和/或芳环的并环结构之间通过二价基团连接。
[0011]优选地,所述化合物选自下述结构中的任意一种或多种;
[0012][0013][0014]所述结构式中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种;R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;X、Y代表二价连接基团,X选自

O



S



CO



SO



C(CF3)2‑
、碳原子数在0

20的烷基或取代烷基、碳原子数在0

20的芳基或取代芳基;Y选自

O



S



CO



SO



SO2‑
、碳原子数在0

20的烷基或取代烷基、碳原子数在0

20的芳基或取代芳基或者含Si的分子量在800以内的二价连接基团。
[0015]进一步地,含二价连接基团X或Y的化合物选自下述结构中的任意一种或多种:
[0016][0017][0018][0019]所述结构式中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种;R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种。
[0020]本专利技术第二方面提供一种耐热性树脂,由本专利技术第一方面提供的感光性树脂用化合物形成,所述耐热性树脂为包括下述通式(Ⅳ)、(

)或(

)所示重复单元中的一种或多种:
[0021][0022]所述结构式(Ⅳ)、(

)或(

)中,Q表示碳原子数2~30的有机基团,D表示碳原子数2~50的有机基团,R4代表氢原子或具有1个以上碳原子的烃基的任意一种,R4优选为甲基、乙基、丙基、异丙基及含氟烷基;
[0023]含R4的重复单元为聚酰亚胺树脂前体重复单元总量的40~100mol%,R4为氢原子重复单元为含R4的重复单元总量的30~100mol%。
[0024]进一步地,所述D的10~100mol%为通式结构(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)任意一种或多种所示化合物的残基。
[0025]本专利技术第三方面提供一种感光树脂组合物,所述感光树脂组合物包括本专利技术第二
方面提供的耐热性树脂、光致产酸剂和含酚羟基的化合物。
[0026]进一步地,感光树脂组合物中含酚羟基的化合物具有通式(

)所示结构:
[0027][0028]所述结构式(

)中,E为碳原子数1~30的脂肪链或者含脂环的有机结构,R5表示氢原子或碳原子数为1~5的烷基,R6表示氢原子、羟基、羧基、酯基、碳原子数为1~5的烷基中的任意一种或多种,n为大于0的整数,k、o、l、q分别表示0~5的整数。
[0029]本专利技术第四方面一种感光树脂组合物,所述感光树脂组合物包括本专利技术第二方面提供的耐热性树脂、光聚合引发剂和具有可光聚合的不饱和键的单体。
[0030]进一步地,所述具有可光聚合的不饱和键的单体包括官能度为1~8的丙烯酸单体,优选官能度为2~4的丙烯酸单体。
[0031]本专利技术第五方面提供一种图案化膜,由本专利技术第三方面或本专利技术第四方面提供的感光树脂组合物固化得到,所述图案化膜用作有机电致发光元件的绝缘层、像素定义层、平坦化层或者半导体元件的表面保护膜、绝缘层。
[0032]本专利技术第六方面一种显示装置,包括本专利技术第五方面提供的所述图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光性树脂用化合物,其特征在于,所述化合物具有下述通式结构(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中的任意一种,所述结构式(I)、(Ⅱ)和(Ⅲ)中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种,R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;q表示0~1的整数;S代表连接基团,所述连接基团含有的碳原子数不少于6,所述连接基团含有至少一个脂环和/或芳环的并环结构。2.根据权利要求1所述的感光性树脂用化合物,其特征在于,所述S基团包含砜基、亚砜基、硫醚基、硅氧烷键或六氟丙基的四价连接基团;和/或,所述脂环和/或芳环的并环结构包括两个以上脂环结构相并的结构、至少一个脂环与至少一个芳环相并的结构、两个以上芳环相并的结构中的任意一种或多种。3.根据权利要求1所述的感光性树脂用化合物,其特征在于,所述连接基团含有两个脂环和/或芳环的并环结构,且两个所述脂环和/或芳环的并环结构之间通过二价基团连接。4.根据权利要求1所述的感光性树脂用化合物,其特征在于,所述化合物选自下述结构中的任意一种或多种;
所述结构式中R1表示氢原子、碳原子数≥1的烷基中的任意一种或多种;R2表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基、羟基、羧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;p表示0~3的整数;R3表示氢原子、碳原子数≥1的烷基、碳原子数≥1的烷氧基以及氟、氯、溴取代基中的任意一种或多种;X、Y代表二价连接基团,X选自

O



S



CO



SO



C(CF3)2‑
、碳原子数在0

20的烷基或取代烷基、碳原子数在0

20的芳基或取代芳基;Y选自

O



S


...

【专利技术属性】
技术研发人员:王元强周小明肖桂林鲁丽萍柯孝明张萍朱双全
申请(专利权)人:湖北鼎龙控股股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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