一种可调节气体抽速的低温泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节气体抽速的低温泵，其包括：泵体组件、控制组件以及场发生器。泵体组件设置有泵腔，泵腔具有抽吸开口。控制组件设置于泵腔，控制组件包括场感应件和节流件，节流件连接于场感应件，场感应件与泵体组件连接。场发生器设置于泵体组件并用于对场感应件发出控制场。其中，控制场能使得场感应件改变形状，场感应件改变形状时能使得节流件相对泵体组件产生位置变动，以使流入泵腔的流体流速能够改变。上述的低温泵，通过场发生器配合场感应件来实现泵腔的流体流速的改变，结构简单。构简单。构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节气体抽速的低温泵


[0001]本技术涉及真空泵
，特别涉及一种可调节气体抽速的低温泵。

技术介绍

[0002]低温泵是利用低温表面对气体分子进行冷凝、吸附和捕集，从而实现真空环境的一种真空获得设备，它具有抽气速率快、气体容量大、极限真空度高、抽气界面无运动部件以及清洁无油等优点，在半导体芯片制作工艺设备(如离子注入机、PVD)中得到广泛的应用。现有的低温泵，为了针对不同工艺过程获得较佳的使用效能，往往具有控制抽气速率的结构。在一些实施例中，可以通过在低温泵的抽吸端增加一个控制流量的阀装置来实现抽速控制，然而这种低温泵结构体积较大，成本较高，流量控制范围小；在另一种实施方式中，也可以在泵腔中设置一个类似于百叶窗的结构，其具有多个的活动叶片，活动叶片通过驱动装置驱动而作启闭的动作，从而可以改变泵腔流通流体时的有效横截面积，从而改变流体流速。百叶窗的结构可以设置于泵腔中，体积相对较小，流量控制范围较大。然而，上述的低温泵，需要设置驱动动力源和用于传递动力的机械传动机构，结构较为复杂，故障率较高。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种可调节气体抽速的低温泵，通过场发生器配合场感应件来实现泵腔的流体流速的改变，结构简单。
[0004]根据本技术实施例的一种可调节气体抽速的低温泵，其包括：泵体组件，设置有泵腔，所述泵腔具有抽吸开口；控制组件，设置于所述泵腔，所述控制组件包括场感应件和节流件，所述节流件连接于所述场感应件，所述场感应件与所述泵体组件连接；场发生器，设置于所述泵体组件并用于对所述场感应件发出控制场；其中，所述控制场能使得所述场感应件改变形状，所述场感应件改变形状时能使得所述节流件相对所述泵体组件产生位置变动，以使流入所述泵腔的流体流速能够改变。
[0005]根据本技术实施例的一种可调节气体抽速的低温泵，至少具有如下有益效果：上述的低温泵，通过场发生器来产生控制场，场感应件为场敏感元件，场感应件在控制场的作用下改变形状，从而节流件发生位置变动，改变了泵腔的有效横截面积，从而可以改变流体流速。由于采用控制场来实现对于流体流速的改变，机械机构少，无需电机或气缸驱动，机构体积小，结构简单；另外，控制场为非接触式的控制，无需设置机械传动机构，不会因机械传动机构的设置而带来密封性问题，并且在对现有低温泵改进时也容易进行，兼容性好。
[0006]根据本技术的一些实施例，所述场感应件为形状记忆合金。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述场发生器为调温器、磁场发生器和电场发生器中的至少之一。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述控制组件设置多个并围绕预定中心轴线周向排布，多个所述控制组件与所述抽吸开口相对，多个所述场感应件的一端连接在一起，所述节流件连接于对应的所述场感应件的另一端。
[0009]根据本技术的一些实施例，多个所述场感应件的另一端连接在一支架，多个所述场感应件通过所述支架与所述泵体组件连接。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述泵体组件包括屏蔽罩和一级导流挡板，所述屏蔽罩形成所述泵腔，所述一级导流挡板设置于所述抽吸开口处，所述支架与所述屏蔽罩或所述一级导流挡板固定。
[0011]根据本技术的一些实施例，还包括制冷机，所述制冷机设置于所述泵体组件，所述制冷机设置有冷头，所述冷头容置于所述泵腔，所述泵体组件包括一级导流挡板，所述一级导流挡板设置于所述抽吸开口处，所述控制组件设置于所述一级导流挡板和所述冷头之间的位置。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述泵体组件包括一级导流挡板，所述一级导流挡板设置于所述抽吸开口处，所述控制组件设置多个，多个的所述控制组件的所述场感应件一一单独固定于所述一级导流挡板。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述一级导流挡板包括多个板体，所述板体之间形成导流通道，所述场感应件和所述节流件设置于所述导流通道。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述控制组件设置于所述抽吸开口处以构成一级导流挡板。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1为本技术实施例的剖视结构图；
[0018]图2为本技术实施例的场感应件被控制场激发后的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例的单个控制组件的俯视图；
[0020]图4为本技术实施例的多个控制组件组合连接后的俯视图；
[0021]图5为本技术实施例的控制组件采用另一种安装方式的剖视结构图；
[0022]图6为图5的A处放大示意图；
[0023]图7为图5所示实施例的场感应件被控制场激发后的结构示意图；
[0024]附图标记：
[0025]泵体组件100，泵腔110，抽吸开口111，屏蔽罩120，一级导流挡板130；
[0026]控制组件200，场感应件210，节流件220；
[0027]支架300；
[0028]制冷机400，冷头410。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0032]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0033]参照图1至图2，一种可调节气体抽速的低温泵，其包括：泵体组件100、控制组件200以及场发生器(图上未示出)。泵体组件100设置有泵腔110，泵腔110具有抽吸开口111。控制组件200设置于泵腔110，控制组件200包括场感应件210和节流件220，节流件220连接于场本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节气体抽速的低温泵，其特征在于，包括：泵体组件(100)，设置有泵腔(110)，所述泵腔(110)具有抽吸开口(111)；控制组件(200)，设置于所述泵腔(110)，所述控制组件(200)包括场感应件(210)和节流件(220)，所述节流件(220)连接于所述场感应件(210)，所述场感应件(210)与所述泵体组件(100)连接；场发生器，设置于所述泵体组件(100)并用于对所述场感应件(210)发出控制场；其中，所述控制场能使得所述场感应件(210)改变形状，所述场感应件(210)改变形状时能使得所述节流件(220)相对所述泵体组件(100)产生位置变动，以使流入所述泵腔(110)的流体流速能够改变。2.根据权利要求1所述的一种可调节气体抽速的低温泵，其特征在于：所述场感应件(210)为形状记忆合金。3.根据权利要求1或2所述的一种可调节气体抽速的低温泵，其特征在于：所述场发生器为调温器、磁场发生器和电场发生器中的至少之一。4.根据权利要求1所述的一种可调节气体抽速的低温泵，其特征在于：所述控制组件(200)设置多个并围绕预定中心轴线周向排布，多个所述控制组件(200)与所述抽吸开口(111)相对，多个所述场感应件(210)的一端连接在一起，所述节流件(220)连接于对应的所述场感应件(210)的另一端。5.根据权利要求4所述的一种可调节气体抽速的低温泵，其特征在于：多个所述场感应件(210)的另一端连接在一支架(300)，多个所述场感应件(210)通过所述支架(300)与所述泵体组件(100)连接。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓刚，胡勇，王为民，胡湘娥，陈进文，陈洁心，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：