低温泵、控制系统和控制方法技术方案

本发明专利技术公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明专利技术实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。并满足大冷量需求。并满足大冷量需求。

【技术实现步骤摘要】
低温泵、控制系统和控制方法


[0001]本专利技术涉及低温泵
，尤其是涉及一种低温泵、控制系统和控制方法。

技术介绍

[0002]低温泵基于低温冷凝和低温吸附原理捕获密闭空间中的气体创造真空环境。具有极限真空度高、抽速大、真正洁净无油等突出优点，广泛应用于半导体物理气相沉积(PVD)和离子注入工艺过程。相关技术中，低温泵的制冷元件一般为双级GM制冷机，由于泵壳内空间有限，冷屏、一级蓄冷部件和二级蓄冷部件三者的结构设计不合理，导致一级蓄冷部件和二级蓄冷部件和热耦合程度比较强，蓄冷能力受限，无法满足大冷量需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种低温泵，所述低温泵能解决冷屏、一级蓄冷部件和二级蓄冷部件三者的结构设计不合理，蓄冷能力受限，无法满足大冷量需求的问题。
[0004]本专利技术还旨在提出一种低温泵的控制系统，以应用上述的低温泵。
[0005]本专利技术还旨在提出一种低温泵的控制方法。
[0006]根据本专利技术实施例的低温泵，包括：泵壳；冷屏，所述冷屏设在所述泵壳内，所述冷屏的内部形成有容纳空间，所述冷屏上设有通孔，所述通孔连通所述容纳空间；一级蓄冷部件，所述一级蓄冷部件设在所述泵壳内；二级蓄冷部件，所述二级蓄冷部件设在所述容纳空间内，所述二级蓄冷部件的一端延伸出所述通孔并连接所述一级蓄冷部件；连接件，所述连接件的一端连接所述一级蓄冷部件，另一端连接所述冷屏；冷板组件，所述冷板组件设在所述容纳空间内，并连接所述二级蓄冷部件。
[0007]根据本专利技术实施例的低温泵，该低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
[0008]在本专利技术的一些实施例中，所述连接件包括：筒体，所述二级蓄冷部件穿设于所述筒体；第一端板，所述第一端板设在所述筒体的一端，并连接所述二级蓄冷部件；第二端板，所述第二端板设在所述筒体的另一端并连接所述冷屏。
[0009]在本专利技术的一些实施例中，所述一级蓄冷部件具有连接所述第一端板的一级冷台，在沿所述筒体的轴线方向上，所述第一端板的投影大于等于所述一级冷台的投影，所述第一端板的投影和所述第二端板的投影重合。
[0010]在本专利技术的一些实施例中，所述低温泵还包括：第一压力检测件，所述第一压力检测件设在所述泵壳上，以检测所述泵壳内的压力；泄压阀，所述泄压阀设在所述泵壳上，所述泄压阀具有阀芯，所述阀芯被配置为可主动开启，当所述第一压力检测件检测到所述泵壳内的压力达到第一设定值时，所述阀芯被打开且保持设定开度。
[0011]根据本专利技术实施例的低温泵的控制系统，包括：前文所述的低温泵，所述低温泵还包括电机，用于对所述一级蓄冷部件和所述二级蓄冷部件提供动力；压缩机，所述压缩机具
有低压管路和高压管路，所述低压管路和所述高压管路用于对所述一级蓄冷部件和所述二级蓄冷部件提供工作气体；第二压力检测件，用于通信连接所述压缩机和检测所述低压管路的压力；第三压力检测件，用于通信连接所述压缩机和检测所述高压管路的压力；操控装置，用于通信连接所述电机和所述压缩机，并根据所述低压管路和所述高压管路的压力值或压力差值，发出警示信息和/或补救信息。
[0012]根据本专利技术实施例的低温泵的控制系统，通过第二压力检测件、第三压力检测件和操控装置可以检测出系统管路是否出现泄露，并给出警示信息和补救信息。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，所述控制系统还包括低温泵控制器，所述低温泵控制器通信连接所述电机和所述操控装置，所述低温泵控制器可获取所述电机的运行状态参数，所述操控装置根据所述电机的运行状态参数，评估所述低温泵和所述压缩机的使用工况并给出维修建议。
[0014]在本专利技术的一些实施例中，所述电机的运行状态参数包括电流，所述低温泵控制器获取所述电机的电流，所述操控装置将所述电流和设定电流进行比较，并通过PID控制算法调整所述电机的转速。
[0015]根据本专利技术实施例的低温泵的控制方法，包括：获取压缩机的低压管路的压力；获取压缩机的高压管路的压力；根据所述低压管路和所述高压管路的压力值或压力差值，发出警示信息和/或补救信息。
[0016]根据本专利技术实施例的低温泵的控制方法，通过该控制方法能检测出系统管路是否出现泄露，并给出警示信息和补救信息。
[0017]在本专利技术的一些实施例中，所述控制方法还包括：获取电机的运行状态参数，根据所述电机的运行状态参数，评估所述低温泵和所述压缩机的使用工况并给出维修建议。
[0018]在本专利技术的一些实施例中，所述电机的运行状态参数包括电流，所述控制方法还包括：获取所述电机的电流，将所述电流和设定电流进行比较，并通过PID控制算法调整所述电机的转速。
[0019]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0020]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1是本专利技术实施例中低温泵的结构示意图；
[0022]图2是本专利技术实施例中一级蓄冷部件、二级蓄冷部件和连接件的连接示意图；
[0023]图3是本专利技术实施例中连接件的结构示意图；
[0024]图4是本专利技术实施例中低温泵的控制系统的结构示意图；
[0025]图5是本专利技术实施例中低温泵的控制方法的流程图一；
[0026]图6是本专利技术实施例中低温泵的控制方法的逻辑图；
[0027]图7是本专利技术实施例中低温泵的控制方法的流程图二。
[0028]附图标记：
[0029]100、控制系统；
[0030]10、低温泵；
[0031]101、泵壳；101a、敞口；
[0032]102、冷屏；102a、容纳空间；
[0033]103、一级蓄冷部件；1031、一级冷台；1032、一级气缸；1033、一级活塞；
[0034]104、二级蓄冷部件；1041、二级冷台；1042、二级气缸；1043、二级活塞；
[0035]105、连接件；1051、筒体；1052、第一端板；1053、第二端板；
[0036]106、冷板组件；107、第一压力检测件；108、泄压阀；109、电机；110、障板；111、第二温度检测件；112、粗抽阀；113、氮气吹扫阀；114、第一温度检测件；
[0037]201、主机；202、通讯控制器；203、本地操作面板；
[0038]30、压缩机；301、低压管路；302、高压管路；40、低温泵控制器。
具体实施方式
[0039]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵，其特征在于，包括：泵壳；冷屏，所述冷屏设在所述泵壳内，所述冷屏的内部形成有容纳空间，所述冷屏上设有通孔，所述通孔连通所述容纳空间；一级蓄冷部件，所述一级蓄冷部件设在所述泵壳内；二级蓄冷部件，所述二级蓄冷部件设在所述容纳空间内，所述二级蓄冷部件的一端延伸出所述通孔并连接所述一级蓄冷部件；连接件，所述连接件的一端连接所述一级蓄冷部件，另一端连接所述冷屏；冷板组件，所述冷板组件设在所述容纳空间内，并连接所述二级蓄冷部件。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述连接件包括：筒体，所述二级蓄冷部件穿设于所述筒体；第一端板，所述第一端板设在所述筒体的一端，并连接所述一级蓄冷部件；第二端板，所述第二端板设在所述筒体的另一端并连接所述冷屏。3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述一级蓄冷部件具有连接所述第一端板的一级冷台，在沿所述筒体的轴线方向上，所述第一端板的投影大于等于所述一级冷台的投影，所述第一端板的投影和所述第二端板的投影重合。4.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还包括：第一压力检测件，所述第一压力检测件设在所述泵壳上，以检测所述泵壳内的压力；泄压阀，所述泄压阀设在所述泵壳上，所述泄压阀具有阀芯，所述阀芯被配置为可主动开启，当所述第一压力检测件检测到所述泵壳内的压力达到第一设定值时，所述阀芯被打开且保持设定开度。5.一种低温泵的控制系统，其特征在于，包括：如权利要求1至4中任一项所述的低温泵，所述低温泵还包括电机，用于对所述一级蓄冷部件和所述二级蓄冷部件提供动力；压缩机，所述压缩机具有低压管路和高压管路，所述低压管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓家良，杨杨，武义锋，程祥，韩雨松，冯欣宇，王建勇，曾环，张海峰，章学华，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：