低温泵制造技术

本发明专利技术公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明专利技术的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。吸气容量。吸气容量。

【技术实现步骤摘要】
低温泵


[0001]本专利技术涉及低温泵
，尤其是涉及一种低温泵。

技术介绍

[0002]低温泵是一种气体捕获式的真空泵，利用极低温将真空腔室内气体冻结或吸附在泵内部从而获得真空。随着气体捕获量的增大，低温泵的抽速和恢复能力不断衰减，甚至抽速下降为零，失去抽气能力，因此需要对低温泵进行定期再生，低温泵的再生周期由抽气容量决定，因此，如何提升低温泵的吸气容量成为当下亟待解决的问题之一。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种低温泵，所述低温泵能提高冷板组件的气体捕获量，从而提高吸气容量。
[0004]根据本专利技术实施例的低温泵，包括：壳体，所述壳体具有容纳空间和敞口；障板，所述障板设在所述敞口上，所述障板具有第一区域和第二区域，所述第一区域上设有多个第一通孔，所述第二区域上设有多个第二通孔，所述第一通孔的孔面积之和小于所述第二通孔的孔面积之和；冷板组件，所述冷板组件设在所述容纳空间内，所述冷板组件包括第一冷板和第二冷板，所述第一冷板在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有容纳空间和敞口；障板，所述障板设在所述敞口上，所述障板具有第一区域和第二区域，所述第一区域上设有多个第一通孔，所述第二区域上设有多个第二通孔，所述第一通孔的孔面积之和小于所述第二通孔的孔面积之和；冷板组件，所述冷板组件设在所述容纳空间内，所述冷板组件包括第一冷板和第二冷板，所述第一冷板在所述障板上的正投影和所述第一区域的面积相等，所述第二冷板设在所述第一冷板的远离所述障板的一侧，并连接所述第一冷板。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述第二区域围绕所述第一区域设置。3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述第一区域为圆形，所述第二区域为环形。4.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述第一通孔的孔面积之和为所述第一通孔和所述第二通孔的孔面积之和的25％～45％。5.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述障板凸出所述敞口设置。6.根据权利要求5所述的低温泵，其特征在于，所述障板在所述壳体上的凸出距离为10mm～20mm。7.根据权利要求5所述的低温泵，其特征在于，还包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨杨，邓家良，武义锋，曾环，王建勇，冯欣宇，韩雨松，程祥，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：