一种双向进气的低温真空泵制造技术

本发明专利技术公开了一种双向进气的低温真空泵，包括罩体、防辐射屏和制冷机；防辐射屏顶部安装顶部挡板，围合形成防辐射屏空腔；制冷机穿过防辐射屏且末端安装冷凝板组件；防辐射屏顶部设主进气口，底部设副进气口；防辐射屏侧面与罩体间形成辅助进气口，与副进气口连通；冷凝板组件包括顶部冷凝板和底部冷凝板，主进气口正对顶部冷凝板，副进气口正对底部冷凝板；从真空腔室抽出的气体一部分从主进气口进入防辐射屏空腔上部空间并在顶部冷凝板上冻结；另一部分气体经辅助进气口运动至辅助进气口，进入防辐射屏空腔下部空间并在底部冷凝板上冻结。本方案可以使防辐射屏空腔下部的冷凝物体积增加，能够有效提高低温真空泵的排气容积极限。极限。极限。

【技术实现步骤摘要】
一种双向进气的低温真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵领域，具体涉及一种双向进气的低温真空泵。

技术介绍

[0002]低温真空泵是利用超低温的冷凝板及粘连在冷凝板上的活性炭冷凝或吸附气体的真空泵，以此方式对连接低温真空泵的腔室进行抽气。
[0003]气体经过防辐射屏进气口进入防辐射屏内部后与冷凝板接触并被冻结，在配置有多块冷凝板的低温真空泵中，因所处位置不同，各块冷凝板对气体的冻结情况也不尽相同。顶部冷凝板配置在靠近防辐射屏进气口的位置，进入防辐射屏内部的气体绝大部分被顶部冷凝板捕捉，只有剩余的少量气体被其他冷凝板捕捉。当低温真空泵达到其排气容积极限值时，大部分的冷凝物都处于顶部冷凝板上，位于防辐射屏空腔上部，而防辐射屏空腔下部的空间内的冷凝物数量很少，若可以使防辐射屏空腔下部的冷凝物体积增加，则可以有效提高低温真空泵的排气容积极限。

技术实现思路

[0004]专利技术目的：本专利技术的目的在于提供一种能够増加防辐射屏空腔下部的冷凝物体积，从而提高排气容积极限的双向进气的低温真空泵。
[0005]技术方案：本专利技术包括罩体以及容纳在罩体内的防辐射屏和制冷机；所述防辐射屏顶部安装顶部挡板，防辐射屏与顶部挡板围合形成防辐射屏空腔；所述制冷机穿过防辐射屏侧面且末端位于防辐射屏空腔内部，在制冷机末端安装冷凝板组件；所述防辐射屏顶部设置主进气口，沿轴向在防辐射屏底部开设与主进气口相对应的副进气口；所述防辐射屏的直径小于罩体的内径，防辐射屏侧面与罩体之间形成环状的辅助进气口，辅助进气口与副进气口连通；所述制冷机将防辐射屏空腔分成防辐射屏空腔上部空间和防辐射屏空腔下部空间，冷凝板组件包括处于防辐射屏空腔上部空间的顶部冷凝板和处于防辐射屏空腔下部空间的底部冷凝板，主进气口正对着顶部冷凝板，副进气口正对着底部冷凝板；从真空腔室抽出的气体分成两部分，一部分气体从主进气口进入防辐射屏空腔上部空间，并在顶部冷凝板上冻结；另一部分气体经过防辐射屏外侧的辅助进气口运动至辅助进气口，进入防辐射屏空腔下部空间，并在底部冷凝板上冻结。
[0006]所述主进气口为在顶部挡板上开设的若干通孔，副进气口为在防辐射屏底部沿周向均布的多个扇形槽。
[0007]所述防辐射屏底部安装底部挡板，底部挡板上沿周向布置一个以上扇形槽。
[0008]所述顶部挡板下表面与顶部冷凝板上表面之间的距离大于底部冷凝板下表面与防辐射屏内底面之间的距离。
[0009]所述顶部冷凝板的半径为顶部挡板半径的70％～98％，底部冷凝板半径与顶部冷凝板相同，提供较大的冷凝层生长面积。
[0010]所述冷凝板组件还包括位于顶部冷凝板和底部冷凝板之间的一个以上的下方冷
凝板，顶部冷凝板、一个以上的下方冷凝板以及底部冷凝板沿防辐射屏的中心轴线纵向排布，顶部冷凝板安装在制冷机顶面，一个以上的下方冷凝板以及底部冷凝板通过连接冷凝板安装在制冷机的2级冷却台上，2级冷却台将冷凝板组件冷却至第二温度。
[0011]多个所述扇形槽围合形成的外圆半径大于底部冷凝板的半径，副进气口低于底部冷凝板，使得底部冷凝板暴露于防辐射屏底部间隙，能够增加从进气口通过防辐射屏辅助进气口进入到防辐射屏副进气口的气体。
[0012]所述顶部冷凝板和底部冷凝板为圆板状部件。
[0013]所述一个以上的下方冷凝板均具有伞状侧面，下方冷凝板水平的上表面和下表面设置吸附剂，伞状侧面作为冷凝面而发挥作用，上表面和下表面作为吸附面发挥作用。
[0014]所述下方冷凝板的整体直径小于顶部冷凝板的直径。
[0015]有益效果：本专利技术的技术方案与现有技术相比，其有益效果在于：从真空腔室抽出的气体分成两部分，一部分气体从主进气口进入防辐射屏空腔上部空间，并在顶部冷凝板上冻结；另一部分气体经过防辐射屏外侧的辅助进气口运动至辅助进气口，进入防辐射屏空腔下部空间，并在底部冷凝板上冻结，本方案可以使防辐射屏空腔下部的冷凝物体积增加，能够有效提高低温真空泵的排气容积极限。
附图说明
[0016]图1为低温真空泵的纵向剖视图；
[0017]图2为低温真空泵的俯视图；
[0018]图3为图2沿A
‑
A方向的剖视图；
[0019]图4为图3沿B
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B方向的剖视图；
[0020]图5为低温真空泵中的气体流路示意图。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施方式和说明书附图对本专利技术的技术方案进行详细介绍。
[0022]本专利技术的低温真空泵与需要真空处理的真空腔室连接，用于将真空腔室内部的真空度提升至所希望的工艺要求的水平。低温真空泵具有用于通入气体的进气口13。真空腔室内部待排出的气体从安装有低温真空泵的真空腔室通过进气口13进入低温真空泵的内部空间。
[0023]以下为了方便理解低温真空泵的构成要件的位置关系，使用“径向”、“轴向”等术语。轴向表示通过进气口13的方向(图3中中心线C的单点划线的方向)，径向表示沿与中心线C垂直的方向。为了方便起见，将在轴向上相对靠近进气口13的一侧称作“上”，相对远离进气口13的一侧称作“下”。关于径向，有时将相对靠近进气口13的中心(图3中为中心轴C)的一侧称作“内”，将相对远离进气口13的中心的一侧称作“外”。将围绕中心轴C的方向称作“周向”。另外，这种表达与低温真空泵安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温真空泵也可以以使进气口13沿铅垂方向朝下的方式安装于真空腔室。
[0024]如图1
‑
4所示，低温真空泵涉及如下部件：罩体11、法兰12、进气口13、制冷机14、辅助进气口20、第一气缸22、1级冷却台23、第二气缸24、2级冷却台25、连接块26、防辐射屏30、主进气口31、顶部挡板32、通孔321、防辐射屏空腔33、防辐射屏空腔上部空间331、防辐射屏
空腔下部空间332、底部挡板34、副进气口35、顶部冷凝板41、第一下方冷凝板42、第二下方冷凝板43、底部冷凝板44、连接冷凝板45。具体构成如下：罩体11内部安装防辐射屏30和制冷机14，防辐射屏30与罩体11同轴设置，制冷机14穿过防辐射屏30侧面且制冷机14端部处于防辐射屏空腔33内部。在防辐射屏空腔33内部的制冷机14端部安装冷凝板组件。防辐射屏空腔33为防辐射屏30内部的全部空间，。防辐射屏空腔33从主进气口31沿中心线C连续。制冷机14将防辐射屏空腔33划分为防辐射屏空腔上部空间331和防辐射屏空腔下部空间332。制冷机14位于防辐射屏30外部的部分被罩体11包裹。法兰12安装在罩体11最上端，将低温真空泵整体与真空腔室连接。
[0025]进气口13包括主进气口31和辅助进气口20。防辐射屏30顶部安装顶部挡板32，顶部挡板32上开设若干通孔321，若干通孔321作为防辐射屏30的主进气口31。顶部挡板32的具体安装方式可以为，防辐射屏30内壁沿轴向均布多个连接块26，顶部挡板32放置在多个连接块26所形成的平面上，顶部挡板32和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双向进气的低温真空泵，包括罩体(11)以及容纳在罩体(11)内的防辐射屏(30)和制冷机(14)；所述防辐射屏(30)顶部安装顶部挡板(32)，防辐射屏(30)与顶部挡板(32)围合形成防辐射屏空腔(33)；所述制冷机(14)穿过防辐射屏(30)侧面且末端位于防辐射屏空腔(33)内部，在制冷机(14)末端安装冷凝板组件；其特征在于：所述防辐射屏(30)顶部设置主进气口，沿轴向在防辐射屏(30)底部开设与主进气口相对应的副进气口(35)；所述防辐射屏(30)的直径小于罩体(11)的内径，防辐射屏(30)侧面与罩体(11)之间形成环状的辅助进气口(20)，辅助进气口(20)与副进气口(35)连通；所述制冷机(14)将防辐射屏空腔(33)分成防辐射屏空腔上部空间(331)和防辐射屏空腔下部空间(332)，冷凝板组件包括处于防辐射屏空腔上部空间(331)的顶部冷凝板(41)和处于防辐射屏空腔下部空间(332)的底部冷凝板(44)，主进气口正对着顶部冷凝板(41)，副进气口(35)正对着底部冷凝板(44)；从真空腔室抽出的气体分成两部分，一部分气体从主进气口进入防辐射屏空腔上部空间(331)，并在顶部冷凝板(41)上冻结；另一部分气体经过防辐射屏(30)外侧的辅助进气口(20)运动至辅助进气口(20)，进入防辐射屏空腔下部空间(332)，并在底部冷凝板(44)上冻结。2.根据权利要求1所述的双向进气的低温真空泵，其特征在于：所述主进气口为在顶部挡板(32)上开设的若干通孔(321)，副进气口(35)为在防辐射屏(30)底部沿周向均布的多个扇形槽(35)。3.根据权利要求2所述的双向进气的低温真空泵，其特征在于：所述防辐射屏(30)底部安装底部挡板(34)，底部挡板(34...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晨，卢政阳，管承红，陈杰，李艳锋，
申请(专利权)人：中船重工鹏力南京超低温技术有限公司，
类型：发明
国别省市：