一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法技术

本发明专利技术公开了一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法，包括如下步骤：定制、安装激光同轴位移计；规划激光同轴位移计的取样点位和数据计算模型；激光同轴位移计实时检测玻璃基板厚度数据并上传检测数据给上位机；上位机根据接收的检测数据，计算得出面研磨加工磨削厚度T

【技术实现步骤摘要】
一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法


[0001]本专利技术涉及玻璃基板厚度检测
，具体涉及一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法。

技术介绍

[0002]在玻璃基板面研磨加工的过程中，需要检测面研磨的磨削量，现有的有两种检测方法分别为失重法和台阶法，下面分别阐述两种方法的实验过程：
[0003]失重法：先称取研磨前玻璃基板重量为m0，然后对玻璃基板进行面研磨加工，称取研磨后玻璃基板重量为m1。研磨前玻璃基板重量m0减去研磨后玻璃基板重量为m1得到研磨去除量m
p
，研磨时间为t，研磨加工表面积为s，研磨基板玻璃密度为ρ，根据公式Δh＝(m0‑
m1)/(s*ρ)可计算出磨削厚度Δh。
[0004]台阶法：先采用耐磨材料覆盖玻璃基板部分区域，然后对玻璃基板进行面研磨加工，加工完成后去除耐磨材料，采用表面形貌仪或三坐标法测量玻璃基板厚度，耐磨材料覆盖区域玻璃厚度为h0，未覆盖区域厚度为h1，根据公式Δh＝h0‑
h1可计算得出磨削厚度Δh。
[0005]但是，从以上所述实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：定制、安装激光同轴位移计，激光同轴位移计的测厚探头朝向玻璃基板的方向；规划激光同轴位移计的取样点位和数据计算模型；激光同轴位移计实时检测玻璃基板厚度数据并上传检测数据给上位机；上位机根据接收的检测数据，计算得出面研磨加工磨削厚度T
pm
；在已知面研磨加工时间t的情况下，根据RR＝T
pm
/t计算得出面研磨加工速率RR。2.根据权利要求1所述的一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法,其特征在于，激光同轴位移计取样点位的规划方法如下：将基板玻璃沿短边方向均匀划分为m个分区，沿玻璃长边方向均匀划分n个分区，测量每个区块中心点的玻璃厚度，取样点数为m线*n点，多点测量后取平均值得出面研磨加工磨削厚度T...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲，曹志强，朱永迁，朱猛，詹楠，沈玉国，
申请(专利权)人：蚌埠中光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：