下载一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法的技术资料

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本发明公开了一种在线无损测量面研磨加工磨削厚度的检测方法,包括如下步骤:定制、安装激光同轴位移计;规划激光同轴位移计的取样点位和数据计算模型;激光同轴位移计实时检测玻璃基板厚度数据并上传检测数据给上位机;上位机根据接收的检测数据,计算得出面...
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