一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统技术方案

本发明专利技术公开了一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，属于芯片检测技术领域。一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，包括安装箱和升降设置在安装箱内的图样采集部，还包括：用于传输物料的传输部，传输部上可拆卸连接有用于固定芯片的托盘，托盘包括底部开设有开口的安装盒，安装盒的顶部固定连接有凸块，安装盒内部开设有活塞槽；本发明专利技术中通过托盘与间歇式移动的传输皮带配合，消除振动并对芯片进行固定，从而避免因振动导致待测芯片表面与相机在成像光轴方向的距离产生波动从而避免波动范围超过成像系统的景深范围，避免造成离焦模糊无法获得聚焦清晰的料盘及芯片图像的现象，从而避免影响到后续的图像分析处理与芯片表面质量的判断。质量的判断。质量的判断。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统


[0001]本专利技术涉及芯片检测
，尤其涉及一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统。

技术介绍

[0002]在半导体芯片质量检测的自动化生产环境中，芯片被放置于其对应型号的料盘中(塑封表面缺陷视觉检测)或由真空吸嘴吸起(引脚表面缺陷视觉检测)，被送入相机拍摄区域。以塑封面视觉检测为例，在夹持机构的作用下，料盘会在其所在平面的列方向运动，同时相机与光源在料盘的行方向运动，以确保料盘上所有芯片都能进入相机拍摄区域。由于各种原因两者会不可避免地产生振动，以及芯片厚度与料盘承载口高度公差，这些都会导致待测芯片表面与相机在成像光轴方向的距离产生波动。如果此波动范围超过成像系统的景深范围，就会造成离焦模糊无法获得聚焦清晰的料盘及芯片图像，直接影响到后续的图像分析处理与芯片表面质量的判断。
[0003]因此需要设计一种用于使芯片可以更平稳的从相机下方经过，降低振动对相机景深的影响的芯片缺陷视觉检测用图像采集系统。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中振动对容易降低图像采本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，包括安装箱(1)和升降设置在所述安装箱(1)内的图样采集部，其特征在于，还包括：用于传输物料的传输部，所述传输部上可拆卸连接有用于固定芯片的托盘(7)，其中，所述托盘(7)包括底部开设有开口的安装盒(701)，所述安装盒(701)的顶部固定连接有凸块(702)，所述安装盒(701)内部开设有活塞槽(704)，所述活塞槽(704)内滑动连接有活塞板(705)，所述凸块(702)上开设有与活塞槽(704)连通的气孔(703)，所述活塞板(705)的顶部固定连接有延伸至气孔(703)内的密封杆(706)；所述安装盒(701)内设置有用于驱动活塞板(705)升降的第一驱动部。2.根据权利要求1所述的一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，其特征在于，所述传输部包括固定连接在所述安装箱(1)上的安装架(8)，所述安装架(8)上转动连接有安装轴(801)，所述安装轴(801)上固定连接有传输辊(802)，所述传输辊(802)上套有传输皮带(803)，所述安装架(8)外壁上设置有用于驱动传输辊(802)转动的第二驱动部。3.根据权利要求2所述的一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，其特征在于，所述第二驱动部包括连接在安装架(8)外壁上的第四安装板(9)，所述第四安装板(9)上固定连接有第二电机(901)，所述第二电机(901)的输出轴上固定连接有往复丝杆(902)，所述往复丝杆(902)螺纹连接有滑动套(903)，转动连接在所述安装架(8)外壁上的传动轴，所述传动轴通过带轮组(906)与安装轴(801)同步转动，所述带轮组(906)中位于传动轴上的带轮内设置有棘轮结构(907)，所述安装架(8)的外壁上固定连接有连接板(905)，所述连接板(905)上滑动连接有齿条(904)，所述传动轴上固定连接有与齿条(904)啮合的传动齿轮(908)。4.根据权利要求2所述的一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，其特征在于，所述安装架(8)上固定连接有支撑板(805)，所述支撑板(805)上开设有与T形的滑槽，环形的所述传输皮带(803)的内侧固定连接有截面为T形的限位条(806)，所述限位条(806)与滑槽滑动相连。5.根据权利要求2所述的一种芯片缺陷视觉检测用图像采集系统，其特征在于，所述传输皮带(803)的外侧固定连接有定位条(804)，多根所述定位条(804)组成多个定位槽，所述安装盒(701)插接在定位槽中。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓剑勋，胡春霞，李丹，
申请(专利权)人：重庆电子工程职业学院，
类型：发明
国别省市：