一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及石英DOME件研磨技术领域，且公开了一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，包括机箱、液压杆、石英研磨件转动机构、调节夹持机构、移动研磨机构、喷水组件，通过拉动四个支撑杆带动夹块一起在滑轨内进行向内移动，从而达到了四个夹块通过石英DOME件的大小进行调节固定的作用，通过移动研磨头贴合石英DOME件时，内表面设置的磁块吸附被动研磨头，被动研磨头被吸附上升贴合于石英DOME件下表面，同时对石英DOME件下表面进行研磨，相较于现有的石英研磨装置只能单面研磨大大地提升了研磨时的效率，并且通过启动一个电机在带动石英DOME件转动的同时带动两个研磨头进行移动，对石英DOME件上下两面同时进行全方位研磨的作用。磨的作用。磨的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置


[0001]本专利技术涉及石英DOME件研磨
，具体为一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置。

技术介绍

[0002]石英DOME采用高纯透明石英和高纯乳白石英融合制作，具有耐腐蚀、耐高温、耐热震等性能，同时对密封性要求较高。在高温加工中，不会向外释放杂质微粒，确保石英DOME内所承载的器件物体的纯度和密封性。石英DOME产品，对外观、洁净度有较高的要求，研磨是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。用于材料的单面研磨、抛光。中国专利“CN202210262734.1”中公布了一种半导体石英研磨装置，包括：研磨台，所述研磨台上安装有夹持机构和通过升降机构安装在所述研磨台上的研磨机构；所述研磨机构包括：第一箱体，所述第一箱体内开设有储液腔和与所述储液腔连通的动力腔，所述动力腔内安装有驱动机构，所述储液腔内安装有第一搅拌机构，所述驱动机构与所述第一搅拌机构连接；所述储液腔靠近所述夹持机构侧安装有研磨盘，所述研磨盘与所述驱动机构连接，所述研磨盘开设有喷洒口。驱动机构驱动研磨盘进行研磨时，喷洒液实现自动搅拌喷出，避免研磨液在长时间静置的情况下会发生沉淀，且通过喷洒液跟随储料仓的转动同时搅拌扇叶自转，提高了搅拌效果，从而提高了研磨液的均匀度，从而提高了研磨效果。
[0003]由上述所提出的装置可知，虽然上述制备方法提供了一种相对研磨机在研磨过程防止研磨液沉淀的问题效果较好解决方法，但本申请人认为仍然存有以下的缺陷：现有的半导体石英研磨装置在对石英件进行研磨的过程中，由于半导体需要用到的石英件形状各异，无法对异形的石英件进行一次性研磨需要分段进行研磨，并且在对石英件研磨的过程中无法上下双面同时进行研磨只能单面研磨，在对例如石英DOME件进行研磨时由于石英DOME件边缘为弧度，无法对石英DOME件进行稳定的夹持，并且在现有的相对石英DOME件的研磨机也无法对大小不同的石英DOME件进行调节夹持，造成了工作效率低下并且使用环境单一的问题。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，具备通过拉动四个支撑杆带动夹块一起在滑轨内进行向内移动，从而达到了四个夹块通过石英DOME件的大小进行调节固定的作用，通过移动研磨头贴合石英DOME件时，内表面设置的磁块吸附被动研磨头，被动研磨头被吸附上升贴合于石英DOME件下表面，同时对石英DOME件下表面进行研磨，相较于现有的石英研磨装置只能单面研磨大大地提升了研磨时的效率，并且通过启动一个电机在带动石英DOME件转动的同时带动两个研磨头进行移动，从而达到了对石英DOME件上下两面同时进行全方位研磨的作用优点，解决了现有的半导体
石英研磨装置在对石英件进行研磨的过程中，由于半导体需要用到的石英件形状各异，无法对异形的石英件进行一次性研磨需要分段进行研磨，并且在对石英件研磨的过程中无法上下双面同时进行研磨只能单面研磨，在对例如石英DOME件进行研磨时由于石英DOME件边缘为弧度，无法对石英DOME件进行稳定的夹持，并且在现有的相对石英DOME件的研磨机也无法对大小不同的石英DOME件进行调节夹持，造成了工作效率低下并且使用环境单一的问题。
[0005]（二）技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，包括机箱、液压杆、石英研磨件转动机构、调节夹持机构、移动研磨机构、喷水组件，所述透气孔设置于机箱背部，所述机箱背部设置有排水管，所述机箱内表面上方固定安装有防水板，所述排水管设置于防水板与机箱内表面上方的隔层中，所述机箱内表面中间固定安装有隔板，设置于水泵上方用于防止水进入水泵接线处使水泵短路，所述机箱上表面四角处固定安装有四根液压杆，四根所述液压杆上表面固定安装有顶板，所述顶板下表面固定安装有上压板，所述上压板下表面中间环形安装有四个弹簧杆，所述弹簧杆外表面套设安装有弹簧，所述弹簧下端固定连接有套杆，所述套杆活动安装于弹簧杆外表面，所述套杆下表面固定安装有定位轮。
[0006]优选的，所述石英研磨件转动机构包括电机底座、电机、主动轴、主转伞齿轮、从转伞齿轮、主转轴、下转盘、上转盘、环形槽、滑槽，所述机箱内表面左侧固定安装有电机底座，所述电机底座上表面固定安装有电机，所述电机通过中心轴固定连接有主动轴，所述主动轴外表面固定安装有主转伞齿轮，所述主转伞齿轮通过表面卡齿啮合安装有从转伞齿轮。
[0007]优选的，所述从转伞齿轮上表面固定安装有主转轴，所述主转轴活动安装于防水板内表面，所述主转轴上方外表面固定安装有下转盘和上转盘，所述上转盘上表面环形设置有四个滑槽，所述上转盘中间设有环形槽。
[0008]优选的，所述调节夹持机构包括气缸、顶杆、连接块、一号连接杆、滑块、滑轨、二号连接杆、旋转板、支撑杆、夹块、三号连接杆、四角旋转板，所述机箱右侧内表面固定安装有气缸，所述气缸通过中心轴固定连接有顶杆，所述顶杆外表面固定连接有连接块，所述连接块内表面固定连接有一号连接杆，所述一号连接杆固定安装于滑块内表面。
[0009]优选的，所述滑块活动安装于滑轨内表面，所述滑轨固定安装于下转盘上表面，所述滑块内表面固定安装有二号连接杆，所述二号连接杆外表面活动安装有旋转板，所述滑块上表面固定安装有支撑杆，所述支撑杆活动安装于滑槽内表面，所述支撑杆上表面固定安装有夹块。
[0010]优选的，所述旋转板另一端活动安装有三号连接杆，所述三号连接杆固定安装于四角旋转板其中一角内表面，所述四角旋转板活动安装于主转轴外表面，所述四角旋转板另外三角处内表面均固定安装有三号连接杆、旋转板、二号连接杆、滑块、支撑杆、夹块、滑轨，四个所述滑轨均环形安装于下转盘上表面，四个所述支撑杆分别活动安装于滑槽内表面。
[0011]优选的，所述移动研磨机构包括传动链轮、链条、联动链轮、输出限位杆、移动限位槽、转动滑杆、转动滑块、输出伞齿轮、输入伞齿轮、连接器、丝杆、丝杆套柱、移动弹簧杆、移动弹簧、移动套杆、移动圆形连接头、移动研磨头、固定块、四号连接杆、下滑轨、滑轮、滑轮
轴、被动限位杆、被动滑杆、被动滑块、圆形连接头、被动研磨头、上喷头底座、下喷头底座、被动限位槽，所述主转轴外表面固定安装有传动链轮，所述传动链轮通过链条传动连接有联动链轮，所述联动链轮内表面固定安装有输出限位杆，所述输出限位杆穿过并活动安装于防水板和机箱上方内表面。
[0012]优选的，所述输出限位杆外壁设有四个移动限位槽，所述输出限位杆内表面活动安装有转动滑杆，所述转动滑杆外壁固定安装有四个转动滑块，四个所述转动滑块活动安装于移动限位槽内表面，所述转动滑杆上表面固定安装有输出伞齿轮，所述输出伞齿轮通过表面螺纹啮合安装有输入伞齿轮，所述输入伞齿轮左侧外表面固定安装有丝杆，所述丝杆活动安装于连接器内表面，所述丝杆另一端固定安装于上压板设置的凹槽处，所述连接器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，包括机箱（1）、液压杆（2）、石英研磨件转动机构（3）、调节夹持机构（4）、移动研磨机构（5）、喷水组件（6），其特征在于：所述透气孔（11）设置于机箱（1）背部，所述机箱（1）背部设置有排水管（12）；所述机箱（1）内表面上方固定安装有防水板（13），所述排水管（12）设置于防水板（13）与机箱（1）内表面上方的隔层中；所述机箱（1）内表面中间固定安装有隔板（14），设置于水泵（65）上方用于防止水进入水泵（65）接线处使水泵短路；所述机箱（1）上表面四角处固定安装有四根液压杆（2），四根所述液压杆（2）上表面固定安装有顶板（21），所述顶板（21）下表面固定安装有上压板（22）；所述上压板（22）下表面中间环形安装有四个弹簧杆（23），所述弹簧杆（23）外表面套设安装有弹簧（24），所述弹簧（24）下端固定连接有套杆（25），所述套杆（25）活动安装于弹簧杆（23）外表面，所述套杆（25）下表面固定安装有定位轮（26）。2.根据权利要求1所述的一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，其特征在于：所述石英研磨件转动机构（3）包括电机底座（31）、电机（32）、主动轴（33）、主转伞齿轮（34）、从转伞齿轮（35）、主转轴（36）、下转盘（37）、上转盘（38）、环形槽（39）、滑槽（310），所述机箱（1）内表面左侧固定安装有电机底座（31），所述电机底座（31）上表面固定安装有电机（32），所述电机（32）通过中心轴固定连接有主动轴（33），所述主动轴（33）外表面固定安装有主转伞齿轮（34），所述主转伞齿轮（34）通过表面卡齿啮合安装有从转伞齿轮（35），所述从转伞齿轮（35）上表面固定安装有主转轴（36），所述主转轴（36）活动安装于防水板（13）内表面，所述主转轴（36）上方外表面固定安装有下转盘（37）和上转盘（38），所述上转盘（38）上表面环形设置有四个滑槽（310），所述上转盘（38）中间设有环形槽（39）。3.根据权利要求1所述的一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，其特征在于：所述调节夹持机构（4）包括气缸（41）、顶杆（42）、连接块（43）、一号连接杆（44）、滑块（45）、滑轨（46）、二号连接杆（47）、旋转板（48）、支撑杆（49）、夹块（410）、三号连接杆（411）、四角旋转板（412），所述机箱（1）右侧内表面固定安装有气缸（41），所述气缸（41）通过中心轴固定连接有顶杆（42），所述顶杆（42）外表面固定连接有连接块（43），所述连接块（43）内表面固定连接有一号连接杆（44），所述一号连接杆（44）固定安装于滑块（45）内表面。4.根据权利要求3所述的一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，其特征在于：所述滑块（45）活动安装于滑轨（46）内表面，所述滑轨（46）固定安装于下转盘（37）上表面，所述滑块（45）内表面固定安装有二号连接杆（47），所述二号连接杆（47）外表面活动安装有旋转板（48），所述滑块（45）上表面固定安装有支撑杆（49），所述支撑杆（49）活动安装于滑槽（310）内表面，所述支撑杆（49）上表面固定安装有夹块（410）。5.根据权利要求4所述的一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，其特征在于：所述旋转板（48）另一端活动安装有三号连接杆（411），所述三号连接杆（411）固定安装于四角旋转板（412）其中一角内表面，所述四角旋转板（412）活动安装于主转轴（36）外表面，所述四角旋转板（412）另外三角处内表面均固定安装有三号连接杆（411）、旋转板（48）、二号连接杆（47）、滑块（45）、支撑杆（49）、夹块（410）、滑轨（46），四个所述滑轨（46）均环形安装于下转盘（37）上表面，四个所述支撑杆（49）分别活动安装于滑槽（310）内表面。6.根据权利要求1所述的一种用于石英DOME的异形石英件双面打磨装置，其特征在于：
所述移动研磨机构（5）包括传动链轮（51）、链条（52）、联动链轮（53）、输出限位杆（54）、移动限位槽（55）、转动滑杆（56）、转动滑块（57）、输出伞齿轮（58）、输入伞齿轮（59）、连接器（510）、丝杆（511）、丝杆套柱（512）、移动弹簧杆（513）、移动弹簧（514）、移动套杆（515）、移动圆形连接头（516）、移动研磨头（517）、固定块（518）、四号连接杆（519...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洋洋，王杰，宋建伟，
申请(专利权)人：杭州泓芯微半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：