一种超宽带零温漂声表面波滤波器制造技术

本发明专利技术属于声表滤波器技术领域，其公开了一种既有大的带宽又具有零温漂或者接近零温漂的超宽带零温漂声表面波滤波器，其包括并联于输入端和输出端之间的第一滤波器、第二滤波器、

【技术实现步骤摘要】
一种超宽带零温漂声表面波滤波器


[0001]本专利技术涉及声表滤波器
，尤其涉及一种超宽带零温漂声表面波滤波器。

技术介绍

[0002]近年来，随着移动通信技术的快速发展，电子产品中，如手机、基站等需要的声表面波滤波器（Surface Acoustic Wave）数量也快速增加，这对SAW滤波器的性能提出了新的需求与挑战。目前，SAW滤波器由于材料的限制，使得机电耦合系数无法做到很高，这导致了SAW滤波器的相对带宽无法做的很大。此外，常规的铌酸锂、钽酸锂等压电材料的温漂系数都很大，大大限制了滤波器的设计余量。公告号为CN109155619B的专利技术专利中公开了一种具有大带宽的SAW滤波器，该滤波器具有大宽带，并且通过覆盖介电覆盖层来改善滤波器的温漂系数，覆盖介电覆盖层具有比衬底低或与衬底相反的温度系数(TCF)。然而，这种滤波器因为大宽带，传输曲线的左侧滚落和右侧滚落之间的频率差值比较大，因此，这种介电覆盖层无法同时兼顾传输曲线的左侧滚落和右侧滚落的温漂，从而导致整个滤波器的温度漂移依旧比较大，无法使两侧滚落同时满足零温漂或者接近零温漂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超宽带零温漂声表面波滤波器，其特征在于：包括并联于输入端和输出端之间的第一滤波器、第二滤波器、
……
、第n滤波器，其中n为大于或者等于3的自然数，第一滤波器、第二滤波器、
……
、第n滤波器的中心频率从低到高设置，第一滤波器、第二滤波器、
……
、第n滤波器的各传输曲线从低到高依次部分叠加共同形成超宽带传输曲线；所述第一滤波器和第n滤波器均设置有温度补偿层，选取超宽带传输曲线的左侧滚落的腰部位置对应的频率作为第一滤波器的频率f1并得出第一滤波器的波长λ1，选取超宽带传输曲线的右侧滚落的腰部位置对应的频率作为第n滤波器的频率fn并得出第n滤波器的波长λn，定义第一滤波器的压电晶体层的厚度为h1，第N滤波器的压电晶体层的厚度为hn，从温漂系数与压电晶体层、温度补偿层厚度相对波长的归一化关系曲线中选择接近零温漂或者等于零温漂的温度补偿层的厚度h1
’
和hn
’
分别作为第一滤波器和第n滤波器的温度补偿层厚度。2.如权利要求1所述的一种超宽带零温漂声表面波滤波器，其特征在于：所述第一滤波器和第n滤波器均包括压电基底和设置于压电基底上的叉指电极；当压电基底为POI基底时，该PO...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓辉，王景虹，刘国庆，
申请(专利权)人：苏州声芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：