本实用新型专利技术公开了一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，涉及工装夹具技术领域。本实用新型专利技术的一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，包括调节机构和吸附机构。为了解决镀膜机基板载具固定不够稳定以及不能适用于不同宽度的玻璃基板的缺陷，本实用新型专利技术通过调节机构可调节两个吸附架之间的间距，适用于固定不同长度的玻璃基板，通过转动第二把手带动双向丝杆旋转，双向丝杆带动杆套相向或背向移动，杆套带动吸附盘相向或背向移动，实现对吸附盘间距的调节，适用于固定不同宽度的玻璃基板，通过气泵将真空仓内部空气全部抽出，保证吸盘内真空，以提高对玻璃基板的吸附力，进而提高对玻璃基板固定的稳定性。提高对玻璃基板固定的稳定性。提高对玻璃基板固定的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置
[0001]本技术涉及工装夹具
，具体为一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，水平式磁控溅射镀膜机是指利用这一种技术的水平式镀膜机，而水平式磁控溅射镀膜机在对玻璃基板进行镀膜时，需要用到载具即为夹具，用于装夹玻璃片以便由载具连同玻璃片定位到溅射镀膜仓内进行镀膜。
[0003]申请号：CN202220930884.0的中国专利提出了一种玻璃镀膜用高效率夹具，通过对第一吸盘和第二吸盘的位置进行调节，使得其二者之间的位置更加符合玻璃的尺寸，从而可通过此夹具对更多不同尺寸的玻璃进行固定，然而该镀膜机存在以下缺陷：
[0004]1、该夹具只能对第一吸盘和第二吸盘之间的距离进行调节，不能对第一吸盘或第二吸盘之间的距离进行调节，即不能适用于不同宽度的玻璃基板，存在一定的局限性；
[0005]2、第一吸盘和第二吸盘在对玻璃基板进行吸附时，若吸盘内存在空气则会导致吸盘丧失吸力，使得玻璃基板的固定不够稳定。
[0006]因此，为了解决镀膜机基板载具固定不够稳定以及不能适用于不同宽度的玻璃基板的缺陷，提出了一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置是很有必要的。
技术实现思路
[0007]本技术的目的在于提供一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，通过调节机构可调节两个吸附架之间的间距，适用于固定不同长度的玻璃基板，通过转动第二把手带动双向丝杆旋转，双向丝杆带动杆套相向或背向移动，杆套带动吸附盘相向或背向移动，实现对吸附盘间距的调节，适用于固定不同宽度的玻璃基板，通过气泵将真空仓内部空气全部抽出，保证吸盘内真空，以提高对玻璃基板的吸附力，进而提高对玻璃基板固定的稳定性，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0009]一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，包括调节机构和吸附机构，所述调节机构包括载具基板和第一转轴，所述载具基板通过固定支脚可拆卸式连接于水平式磁控溅射镀膜机的定位装置上，所述第一转轴与载具基板活动连接，所述第一转轴呈上下对称设置且第一转轴的顶端贯穿载具基板固定有咬合齿轮，所述咬合齿轮的侧端啮合有第一带咬合齿滑杆和第二带咬合齿滑杆；
[0010]所述吸附机构包括吸附架和吸附盘，所述吸附架的数量有两个且分别固定于第一带咬合齿滑杆和第二带咬合齿滑杆的侧端，所述吸附盘移动设于吸附架的上端，所述吸附盘包括吸盘和真空仓，所述吸盘设于真空仓的上端且与真空仓保持气体相通，所述真空仓的内部中空且底端开设有抽气口。
[0011]优选的，所述载具基板的上表面固定有导向槽，导向槽内移动设有第一带咬合齿滑杆和第二带咬合齿滑杆。
[0012]优选的，所述载具基板的下表面焊接有固定架，所述第一转轴的底端与固定架活动连接，第一转轴的侧端转动设有第二转轴，第二转轴通过传动带与第一转轴相连，第二转轴的顶端贯穿载具基板固定有第一转把。
[0013]优选的，所述吸附架内活动安装有双向丝杆，双向丝杆的一端贯穿吸附架连接有第二转把。
[0014]优选的，所述双向丝杆上螺纹连接有杆套，杆套的上端通过移动杆连接有吸附盘。
[0015]优选的，所述吸附架上开设有滑槽，滑槽内活动设有移动杆。
[0016]优选的，所述吸附架的侧端固定有气泵，气泵的一端通过气管密封连接有出气口，气泵的另一端密封连接有三通管件，三通管件外通过气管与抽气口密封连接。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0018]1、本水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，通过转动第二转把，第二转把带动双向丝杆旋转，由于杆套与双向丝杆螺纹连接，所以杆套可在双向丝杆上做相向或背向移动，此时移动杆在滑槽内移动，移动杆带动吸附盘做相向或背向移动，实现对吸附盘间距的调节，以适用于固定不同宽度的玻璃基板；
[0019]2、本水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，通过吸附机构可增强对玻璃基板固定的稳定性，启动气泵，气泵通过气管和三通管件从抽气口处抽出真空仓内的空气，由于吸盘与真空仓保持气体相通，因此吸盘内的空气也被全部抽出，增强吸盘的对玻璃基板的吸附力，从而增强载具对玻璃基板固定的稳定性。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体结构立体图；
[0021]图2为本技术的调节机构拆分图；
[0022]图3为本技术的调节结构平面图；
[0023]图4为本技术的吸附机构立体图；
[0024]图5为本技术的吸附盘剖视图。
[0025]图中：1、调节机构；11、载具基板；12、固定支脚；13、导向槽；14、固定架；15、第一转轴；16、咬合齿轮；17、第一带咬合齿滑杆；18、第二带咬合齿滑杆；19、传动带；110、第二转轴；111、第一转把；2、吸附机构；21、吸附架；22、双向丝杆；23、第二转把；24、杆套；25、滑槽；26、移动杆；27、吸附盘；271、吸盘；272、真空仓；273、抽气口；28、气泵；29、气管；210、三通管件；211、出气口。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]为了解决基板载具如何适用于不同长度玻璃的技术问题，请参阅图1
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图3，本实施
例提供以下技术方案：
[0028]一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，包括调节机构1和吸附机构2，调节机构1包括载具基板11和第一转轴15，载具基板11通过固定支脚12可拆卸式连接于水平式磁控溅射镀膜机的定位装置上，第一转轴15与载具基板11活动连接，第一转轴15呈上下对称设置且第一转轴15的顶端贯穿载具基板11固定有咬合齿轮16，咬合齿轮16的侧端啮合有第一带咬合齿滑杆17和第二带咬合齿滑杆18，载具基板11的上表面固定有导向槽13，导向槽13内移动设有第一带咬合齿滑杆17和第二带咬合齿滑杆18。
[0029]载具基板11的下表面焊接有固定架14，第一转轴15的底端与固定架14活动连接，第一转轴15的侧端转动设有第二转轴110，第二转轴110通过传动带19与第一转轴15相连，第二转轴110的顶端贯穿载具基板11固定有第一转把111。
[0030]具体的，通过人工转动第一转把111，第一转把111驱动第二转轴110旋转，第二转轴110通过传动带19带动第一转轴15旋转，第一转轴15旋转带动与其固定的咬合齿轮16旋转，咬合齿轮16旋转带动第一带咬合齿滑杆17和第二带咬合齿滑杆18做反向本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，包括调节机构(1)和吸附机构(2)，其特征在于：所述调节机构(1)包括载具基板(11)和第一转轴(15)，所述载具基板(11)通过固定支脚(12)可拆卸式连接于水平式磁控溅射镀膜机的定位装置上，所述第一转轴(15)与载具基板(11)活动连接，所述第一转轴(15)呈上下对称设置且第一转轴(15)的顶端贯穿载具基板(11)固定有咬合齿轮(16)，所述咬合齿轮(16)的侧端啮合有第一带咬合齿滑杆(17)和第二带咬合齿滑杆(18)；所述吸附机构(2)包括吸附架(21)和吸附盘(27)，所述吸附架(21)的数量有两个且分别固定于第一带咬合齿滑杆(17)和第二带咬合齿滑杆(18)的侧端，所述吸附盘(27)移动设于吸附架(21)的上端，所述吸附盘(27)包括吸盘(271)和真空仓(272)，所述吸盘(271)设于真空仓(272)的上端且与真空仓(272)保持气体相通，所述真空仓(272)的内部中空且底端开设有抽气口(273)。2.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具装置，其特征在于：所述载具基板(11)的上表面固定有导向槽(13)，导向槽(13)内移动设有第一带咬合齿滑杆(17)和第二带咬合齿滑杆(18)。3.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机基板载具...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵子东，李倩，黄罗生，宋毅，陈朝旭，徐东，
申请(专利权)人：马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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