一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，涉及玻璃镀膜技术领域。本实用新型专利技术的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体、镀膜组件和夹持组件，所述镀膜腔体的前后端均通过铰链连接有密封门，所述密封门靠近镀膜腔体的一端固定有密封圈。为了解决镀膜机镀膜时镀膜仪与玻璃基片之间的距离不可调节以及镀膜后玻璃基板不易抽出的缺陷，本实用新型专利技术通过镀膜组件可调节镀膜仪与玻璃基板之间的距离，提高镀膜沉积效率，进而提高对多功能玻璃的镀膜质量，通过夹持组件可便于对基板的夹持和抽取，利用滚珠的滚动便于玻璃在夹持槽内移动，同时滚珠表面圆润不易在玻璃表面造成刮擦。擦。擦。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及玻璃镀膜
，具体为一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]多功能玻璃磁控溅射镀膜机是一种对多功能玻璃通过磁控溅射的方式进行镀膜的装置，而磁控溅射是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的物质支撑的靶电极，并将靶材院子溅射出来使其沿着一定的方向运动带衬底并最终在衬底上沉积成膜的方法。
[0003]申请号：CN202122342310.X的中国专利提出了一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，通过开设滑槽，玻璃将镀膜腔体分割成两个部分，实现玻璃两面同时进行镀膜工作，镀膜效率更高，然而该镀膜机存在以下缺陷：
[0004]1、镀膜仪与玻璃基片之间的距离不可调节，导致镀膜的沉积效率低，进而降低镀膜质量；
[0005]2、玻璃镀膜后需从滑槽内抽出，而玻璃基片直接与限位板贴合，抽出的过程会导致限位板在玻璃表面造成刮擦，同时限位板受弹力与玻璃紧密相贴，也不便于工人抽取玻璃基板。
[0006]因此，为了解决镀膜机镀膜时镀膜仪与玻璃基片之间的距离不可调节以及镀膜后玻璃基板不易抽出的缺陷，提出了一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机是很有必要的。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，通过镀膜组件可调节镀膜仪与玻璃基板之间的距离，提高镀膜沉积效率，进而提高对多功能玻璃的镀膜质量，通过夹持组件可便于对基板的夹持和抽取，利用滚珠的滚动便于玻璃在夹持槽内移动，同时滚珠表面圆润不易在玻璃表面造成刮擦，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0009]一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体、镀膜组件和夹持组件，所述镀膜腔体的前后端均通过铰链连接有密封门，所述密封门靠近镀膜腔体的一端固定有密封圈，所述镀膜腔体通过支撑腿支撑，所述镀膜腔体的侧端开设有真空接口，所述镀膜腔体内上下端对称设有固定框，所述固定框的一端设有夹持槽；
[0010]所述镀膜组件包括弧形板和镀膜仪，所述弧形板左右对称设于镀膜腔体内，所述镀膜仪安装于弧形板的内表面，所述镀膜仪以弧形板圆心为中心呈环形阵列分布；
[0011]所述夹持组件包括夹持板，所述夹持板呈左右对称设置，所述夹持板间夹持有多功能玻璃，所述夹持板通过弹簧固定于夹持槽内。
[0012]优选的，所述弧形板的上下端均对称设有双向丝杆，双向丝杆与弧形板螺纹连接，双向丝杆的左右端与镀膜腔体内壁活动连接，双向丝杆贯穿固定框并与固定框活动连接。
[0013]优选的，所述双向丝杆位于固定框内的一端固定有第一锥齿轮，第一锥齿轮的上
端啮合有第二锥齿轮，第二锥齿轮通过传动轴连接有电机，电机焊接于固定框上。
[0014]优选的，所述传动轴的数量有四个，位于同一水平面的传动轴通过传动带相连。
[0015]优选的，所述夹持板内开设有安装槽，安装槽内垂直设有固定轴，固定轴上转动套有滚珠，滚珠与多功能玻璃的表面相贴。
[0016]优选的，所述夹持板上对称固定有把手。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0018]1、本多功能玻璃磁控溅射镀膜机，通过镀膜组件可对玻璃基板和镀膜仪之间的间距进行调节，以提高镀膜的沉积效率，进而提高对多功能玻璃的镀膜质量，启动电机，电机通过传动轴驱动第二锥齿轮旋转，第二锥齿轮带动与其啮合的第一锥齿轮旋转，第一锥齿轮带动与其固定的双向丝杆旋转，由于弧形板与双向丝杆螺纹连接，因此左右两个弧形板可带动镀膜仪朝着或远离玻璃基板方形移动，实现镀膜仪与玻璃基板间距的调节；
[0019]2、本多功能玻璃磁控溅射镀膜机，通过夹持组件可便于抽取镀膜完成后的玻璃基板，同时还可降低抽取过程中对玻璃基板表面造成的损伤，当需要夹持玻璃基板时，先通过把手向两侧拉动夹持板，弹簧受力压缩产生形变，然后将玻璃基板插入夹持板之间并推动玻璃基板，此时滚珠滚动促进玻璃基板的移动，由于滚珠表面圆润，因此不会对玻璃表面造成过多的刮擦，最后送开把手，弹簧归位并通过夹持板将玻璃基本紧紧夹持。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体结构轴测图；
[0021]图2为本技术的整体结构左视图；
[0022]图3为本技术的按压组件安装连接图；
[0023]图4为本技术的按压组件结构示意图；
[0024]图5为本技术的进刀组件轴测图。
[0025]图中：1、镀膜腔体；11、真空接口；12、镀膜组件；121、弧形板；122、镀膜仪；123、双向丝杆；124、第一锥齿轮；125、第二锥齿轮；126、电机；127、传动带；128、传动轴；13、夹持组件；131、夹持板；132、弹簧；133、把手；134、安装槽；135、固定轴；136、滚珠；14、固定框；141、夹持槽；2、密封门；21、铰链；22、密封圈；3、支撑腿。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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图3，一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体1、镀膜组件12和夹持组件13，镀膜腔体1的前后端均通过铰链21连接有密封门2，密封门2靠近镀膜腔体1的一端固定有密封圈22，镀膜腔体1通过支撑腿3支撑，镀膜腔体1的侧端开设有真空接口11。
[0028]其中需要说明的是，密封门2和密封圈22的设计是为了提高镀膜腔体1的密封性，真空接口11外通过气管密封连接有真空泵，由于磁控溅射镀膜方式需要在真空下进行，因此在镀膜多功能玻璃之前，应利用真空泵通过真空接口11将镀膜腔体1内的空气全部抽出。
[0029]为了解决镀膜机如何调节镀膜仪与玻璃基板间距的技术问题，请参阅图1
‑
图4，本实施例提供以下技术方案：
[0030]镀膜组件12包括弧形板121和镀膜仪122，弧形板121左右对称设于镀膜腔体1内，镀膜仪122安装于弧形板121的内表面，镀膜仪122以弧形板121圆心为中心呈环形阵列分布。
[0031]弧形板121的上下端均对称设有双向丝杆123，双向丝杆123与弧形板121螺纹连接，双向丝杆123的左右端与镀膜腔体1内壁活动连接，双向丝杆123贯穿固定框14并与固定框14活动连接。
[0032]双向丝杆123位于固定框14内的一端固定有第一锥齿轮124，第一锥齿轮124的上端啮合有第二锥齿轮125，第二锥齿轮125通过传动轴128连接有电机126，电机126焊接于固定框14上，传动轴128的数量有四个，位于同一水平面的传动轴128通过传动带127相连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，包括镀膜腔体(1)、镀膜组件(12)和夹持组件(13)，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的前后端均通过铰链(21)连接有密封门(2)，所述密封门(2)靠近镀膜腔体(1)的一端固定有密封圈(22)，所述镀膜腔体(1)通过支撑腿(3)支撑，所述镀膜腔体(1)的侧端开设有真空接口(11)，所述镀膜腔体(1)内上下端对称设有固定框(14)，所述固定框(14)的一端设有夹持槽(141)；所述镀膜组件(12)包括弧形板(121)和镀膜仪(122)，所述弧形板(121)左右对称设于镀膜腔体(1)内，所述镀膜仪(122)安装于弧形板(121)的内表面，所述镀膜仪(122)以弧形板(121)圆心为中心呈环形阵列分布；所述夹持组件(13)包括夹持板(131)，所述夹持板(131)呈左右对称设置，所述夹持板(131)间夹持有多功能玻璃，所述夹持板(131)通过弹簧(132)固定于夹持槽(141)内。2.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述弧形板(121)的上下端均对称设有双向丝杆(123)，双向丝杆(123)与...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵子东，李倩，黄罗生，宋毅，陈朝旭，徐东，
申请(专利权)人：马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：