一种孔口去毛刺装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种孔口去毛刺装置，涉及喷淋板生产技术领域，具体包括支撑架，所述支撑架的顶端设有传动结构，传动结构的顶部设有两个工件固定结构，所述支撑架底部的两端均设有与工件固定结构适配的工件定位支撑结构，所述支撑架的中部设有去毛刺结构；所述工件固定结构包括与传动结构固定连接的两个移动杆。该孔口去毛刺装置，通过去毛刺结构的设置，该装置通过高压水清除工件孔口毛刺，且工件去毛刺操作时是在密闭的空间内进行的，能够有效的防止碎屑四溅，并可以对碎屑进行有效的收集；通过除杂水箱的设置，除杂水箱可以把水和碎屑分开，使该装置中的水能够循环重复使用，节约了资源。了资源。了资源。

【技术实现步骤摘要】
一种孔口去毛刺装置


[0001]本技术涉及喷淋板生产
，具体为一种孔口去毛刺装置。

技术介绍

[0002]在半导体的加工过程中，例如薄膜沉积工艺，会采用喷淋板喷淋气体至待加工的半导体表面，在半导体晶片表面形成薄膜，进行晶片表面的蚀刻。由于喷淋板上设置有多个微细的喷出孔，喷淋气体从喷出孔喷至待加工的半导体表面，因此喷出孔的加工质量对半导体的加工质量有直接的影响。
[0003]从加工性方面出发，喷淋板多采用铝或硅等板材，喷淋板上的喷出孔通常采用龙门式加工中心进行加工，由于其在加工过程中因模具间隙过大和过小造成胚料断离时上下不均、模具工作刃口长期工作磨损而出现圆角，造成整个断面因撕裂的不规则等原因均会使孔口产生毛刺，产生的毛刺需要去除。现有技术中公开了一些对铝板冲孔后表面处理的专利，如公开号为CN111070010A的授权专利公开了一种铝板冲孔后表面处理设备及铝板表面处理工艺，首先将铝板冲压面朝下放置在两个限位侧板之间，通过定位机构能够将铝板的位置进行锁定，之后控制推送气缸进行往复的前后运动能够带动清理机构将铝板进行去毛刺处理，位置调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种孔口去毛刺装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的顶端设有传动结构，传动结构的顶部设有两个工件固定结构，所述支撑架(1)底部的两端均设有与工件固定结构适配的工件定位支撑结构，所述支撑架(1)的中部设有去毛刺结构；所述工件固定结构包括与传动结构固定连接的两个移动杆(3)，所述移动杆(3)顶部的中部镶嵌有信号发射器(4)，所述移动杆(3)的中部设有液压伸缩杆一(16)和电磁铁(17)，所述移动杆(3)外侧的中部固定连接有转动电机一(15)，所述转动电机一(15)的输出轴末端与液压伸缩杆一(16)的一端固定连接，所述液压伸缩杆一(16)的另一端与电磁铁(17)活动连接；所述工件定位支撑结构包括与支撑架(1)固定连接的固定杆(28)，所述固定杆(28)另一端通过液压伸缩杆二(27)固定连接有工件定位支撑板(8)；所述去毛刺结构包括与支撑架(1)顶部中部固定连接的去毛箱(5)和与支撑架(1)底部中部接触的除杂水箱(6)和高压水泵(12)，所述去毛箱(5)的外表面活动连接有升降门(7)，所述去毛箱(5)内腔的顶部固定连接有喷头(25)，所述喷头(25)底部的两端设有与信号发射器(4)适配的信号接收器(26)，所述除杂水箱(6)内腔底部的中部固定连接有液压伸缩杆三(20)，所述液压伸缩杆三(20)的顶部依次放置有过滤网一(24)、吸水海绵一(23)、过滤网二(22)、吸水海绵二(21)、过滤网三(19)和压框(18)，所述除杂水箱(6)与喷头(25)通过高压水泵(12)连接。2.根据权利要求1所述的一种孔口去毛刺装置，其特征在于：所述移动杆(3)外侧的...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔日，
申请(专利权)人：合肥智杰精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：