石墨舟校准装置制造方法及图纸

技术编号:39101251 阅读:6 留言:0更新日期:2023-10-17 10:53
本申请涉及一种石墨舟校准装置,石墨舟校准装置包括基准座、校准座、升降驱动机构以及松紧机构,其中基准座设有多个第一定位槽,多个第一定位槽平行且间隔设置,第一定位槽用于容置石墨舟的舟叶。基准座设置在基准座的上方,基准座开设有多个第二定位槽,第二定位槽与第一定位槽在竖直方向上一一对应设置。升降驱动机构与校准座连接,升降驱动机构用于驱动校准座做靠近或远离基准座的运动。松紧机构设置在基准座的侧旁,松紧机构用于旋松或旋紧石墨舟的螺纹紧固件。上述石墨舟校准装置能更精确、快速地校准石墨舟,提高了生产效率,降低了人工成本。人工成本。人工成本。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟校准装置


[0001]本申请涉及太阳电池生产设备
,特别是涉及一种石墨舟校准装置。

技术介绍

[0002]随着常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。在太阳电池制造过程中,电池片需要经过清洗、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积法)镀膜、PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)镀膜以及丝网印刷等工序。
[0003]在PECVD镀膜工序中,需要采用石墨舟作为载具承载硅片,以将硅片送入镀膜装置中并在高温负压环境下进行镀膜。石墨舟一般包括多个平行且间隔设置的舟叶,多个舟叶通过螺栓锁紧。石墨舟作为硅片镀膜的载具,其结构直接影响硅片镀膜的品质,石墨舟中良好的舟叶间距以及舟叶垂直度,可以使硅片镀膜均匀,提高硅片品质和转换效率。然而在长时间高温负压环境下,石墨舟的舟叶极易受到应力而产生形变,不仅影响硅片镀膜厚度,若舟叶变形严重,还会导致硅片错位,进而导致取片机械手插碎舟叶和硅片,造成成本增加。因此需要定期对石墨舟进行校准,然而在相关技术中,通常是由工人手动调整石墨舟的螺帽的松紧程度从而调整石墨舟的舟叶间距和舟叶垂直度,但工人调整时通常仅通过手感判断螺帽的松紧程度,容易导致各个螺帽的松紧程度不一致,因此不可避免地导致石墨舟的舟叶间距和垂直度存在偏差,从而无法精确校准石墨舟。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要针对如何更精确地校准石墨舟问题,提供一种石墨舟校准装置。
[0005]一种石墨舟校准装置,包括:
[0006]基准座,所述基准座开设有多个第一卡槽,多个所述第一卡槽平行且间隔设置,所述第一卡槽用于容置石墨舟的舟叶
[0007]校准座,所述校准座设置在所述基准座的上方,所述校准座开设有多个第二卡槽,所述第二卡槽与所述第一卡槽在竖直方向上一一对应设置;
[0008]升降驱动机构,所述升降驱动机构与所述校准座连接,所述升降驱动机构用于驱动所述校准座做靠近或远离所述基准座的运动;以及,
[0009]松紧机构,所述松紧机构设置在所述基准座的侧旁,所述松紧机构用于旋松或旋紧所述石墨舟的螺纹紧固件。
[0010]下面进一步对技术方案进行说明:
[0011]在其中一个实施例中,所述松紧机构包括推进组件以及旋转扳手,所述推进组件设置在所述基准座的侧旁并与所述旋转扳手连接,所述推进组件用于驱动所述旋转扳手做靠近或远离所述基准座的运动,所述旋转扳手用于旋松或旋紧所述石墨舟的螺纹紧固件。
[0012]在其中一个实施例中,所述推进组件包括:
[0013]第一滑轨,所述第一滑轨沿靠近所述基准座方向延伸;
[0014]第一滑块,所述第一滑块与所述第一滑轨移动配合;
[0015]支撑梁,所述支撑梁设置在所述第一滑块上,所述支撑梁与所述旋转扳手连接;以及,
[0016]第一驱动件,所述第一驱动件与所述支撑梁连接,所述第一驱动件用于驱动所述支撑梁沿所述第一滑轨往复移动。
[0017]在其中一个实施例中,所述旋转扳手的数量为多个,多个所述旋转扳手沿平行于所述第一卡槽的延伸方向间隔地设置在所述支撑梁上;和/或,所述第一驱动件的数量为多个,多个所述第一驱动件间隔设置并均与所述支撑梁连接。
[0018]在其中一个实施例中,所述旋转扳手包括:
[0019]轮盘,所述轮盘上可转动地设置有主动齿轮以及多个从动齿轮,多个所述从动齿轮围绕所述主动齿轮间隔设置并均与所述主动齿轮啮合配合;
[0020]第一电机,所述第一电机与所述主动齿轮连接,所述第一电机用于驱动所述主动齿轮转动,以及,
[0021]扳手本体,所述扳手本体用于抓持所述石墨舟的螺纹紧固件,所述扳手本体的数量为多个,所述扳手本体一一对应地与所述从动齿轮连接。
[0022]在其中一个实施例中,所述升降驱动机构包括:
[0023]支架;
[0024]螺旋丝杆,所述螺旋丝杆可转动地设置在所述支架上,并且所述螺旋丝杆沿竖直方向延伸;
[0025]第二滑块,所述第二滑块可移动地设置于所述支架并与所述螺旋丝杆螺纹配合;
[0026]第二电机,所述第二电机与所述螺旋丝杆连接;以及,
[0027]支撑臂,所述支撑臂与所述第二滑块连接,所述校准座设置在所述支撑臂上。
[0028]在其中一个实施例中,所述校准座的数量为多个,多个所述校准座沿平行于所述第一卡槽的延伸方向间隔地设置于所述支撑臂上。
[0029]在其中一个实施例中,所述石墨舟校准装置还包括第一夹紧件以及第二夹紧件,所述第一夹紧件以及所述第二夹紧件分别设置在所述基准座沿所述第一卡槽的延伸方向上的两侧,所述第一夹紧件与所述第二夹紧件能做相互靠近或相互远离的运动以夹紧或松开所述石墨舟。
[0030]在其中一个实施例中,所述石墨舟校准装置还包括底板以及定位板,所述底板设有安装平面,所述定位板、所述基准座、所述升降驱动机构以及所述松紧机构均安装于所述安装平面上,其中,所述定位板位于所述基准座沿垂直于所述第一卡槽延伸方向上的一侧,所述定位板具有用于抵接至所述石墨舟的抵接平面,所述抵接平面与所述安装平面相垂直设置。
[0031]在其中一个实施例中,所述松紧机构的数量为两个,两个所述松紧机构分别设置在所述基准座沿垂直于所述第一卡槽延伸方向上的两侧。
[0032]上述石墨舟校准装置在校准石墨舟时,通过基准座承载石墨舟,然后通过松紧机构旋松石墨舟的螺纹紧固件,再将石墨舟的舟叶一一对应地插入到第一卡槽中,由于相邻两个第一卡槽的间距是固定的,通过将舟叶一一对应地插入到第一卡槽中,从而实现校准石墨舟的舟叶间距,然后通过升降驱动机构驱动校准座做靠近的基准座的运动,使得舟叶
远离基准座的一侧一一对应地插入到校准座的第二卡槽内,由于第二卡槽与第一卡槽在竖直方向上一一对应设置,通过将舟叶的一侧插入到第一槽,另一侧插入到第二卡槽,能使得舟叶保持竖直状态,从而实现校准舟叶的垂直度。最后再通过松紧机构旋紧石墨舟的螺纹紧固件,通过螺纹紧固件锁紧石墨舟的舟叶即可完成对石墨舟的校准。相比于传统的凭借工人经验校准石墨舟的方案,本申请的石墨舟校准装置能对石墨舟的舟叶间距以及舟叶垂直度进行标准化校准,从而能更精确、快速地校准石墨舟,提高了生产效率,降低了人工成本。
附图说明
[0033]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。
[0034]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]此外,附图并不是1本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟校准装置,其特征在于,包括:基准座(10),所述基准座(10)开设有多个第一卡槽(11),多个所述第一卡槽(11)平行且间隔设置,所述第一卡槽(11)用于容置石墨舟(70)的舟叶;校准座(20),所述校准座(20)设置在所述基准座(10)的上方,所述校准座(20)开设有多个第二卡槽(21),所述第二卡槽(21)与所述第一卡槽(11)在竖直方向上一一对应设置;升降驱动机构(30),所述升降驱动机构(30)与所述校准座(20)连接,所述升降驱动机构(30)用于驱动所述校准座(20)做靠近或远离所述基准座(10)的运动;以及,松紧机构(40),所述松紧机构(40)设置在所述基准座(10)的侧旁,所述松紧机构(40)用于旋松或旋紧所述石墨舟(70)的螺纹紧固件。2.根据权利要求1所述的石墨舟校准装置,其特征在于,所述松紧机构(40)包括推进组件以及旋转扳手(45),所述推进组件设置在所述基准座(10)的侧旁并与所述旋转扳手(45)连接,所述推进组件用于驱动所述旋转扳手(45)做靠近或远离所述基准座(10)的运动,所述旋转扳手(45)用于旋松或旋紧所述石墨舟(70)的螺纹紧固件。3.根据权利要求2所述的石墨舟校准装置,其特征在于,所述推进组件包括:第一滑轨(41),所述第一滑轨(41)沿靠近所述基准座(10)方向延伸;第一滑块(42),所述第一滑块(42)与所述第一滑轨(41)移动配合;支撑梁(43),所述支撑梁(43)设置在所述第一滑块(42)上,所述支撑梁(43)与所述旋转扳手(45)连接;以及,第一驱动件(44),所述第一驱动件(44)与所述支撑梁(43)连接,所述第一驱动件(44)用于驱动所述支撑梁(43)沿所述第一滑轨(41)往复移动。4.根据权利要求3所述的石墨舟校准装置,其特征在于,所述旋转扳手(45)的数量为多个,多个所述旋转扳手(45)沿平行于所述第一卡槽(11)的延伸方向间隔地设置在所述支撑梁(43)上;和/或,所述第一驱动件(44)的数量为多个,多个所述第一驱动件(44)间隔设置并均与所述支撑梁(43)连接。5.根据权利要求2所述的石墨舟校准装置,其特征在于,所述旋转扳手(45)包括:轮盘(452),所述轮盘(452)上可转动地设置有主动齿轮(454)以及多个从动齿轮(455),多个所述从动齿轮(455)围绕所述主动齿轮(454)间隔设置并均与所述主动齿轮(454)啮...

【专利技术属性】
技术研发人员:余乾煇钟健
申请(专利权)人:通威太阳能成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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