一种磨针台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种磨针台，属于半导体检测技术领域，包括支架，在支架上固定连接有一驱动气缸，驱动气缸伸缩端呈竖直向上运动，在驱动气缸伸缩端上固定连接有一安装板，在安装板上安装有一打磨台，在支架上固定连接有一固定板，固定板呈水平设置，在固定板上安装有一垫板，在垫板靠近驱动气缸的一端端面上开设有一配合槽，配合槽的上下均与外界连通，在固定板上设有用于驱动垫板沿着水平方向来回运动的驱动件，本实用新型专利技术具有提高了打磨台在打磨时的稳定性，提高了驱动气缸的使用寿命的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种磨针台


[0001]本技术属于半导体检测
，特别是一种磨针台。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆测试环节中，在芯片上扎针测试使用的探针卡需要适时的磨针，这个环节所用的部件叫磨针台(Needle Clean PAD)，上面会贴附磨针用的砂纸，在进行磨针动作之前，磨针台先是通过气缸顶升或者单独控制电机抬升，达到高于晶圆测试面，然后通过主Z轴电机驱动晶圆载片台和磨针台上下动作磨针。
[0003]现有磨针台结构存在一定缺陷，就是他们的刚性不足，随着技术进步需要同时打磨的探针数量不断增加，磨针台在磨针时承受的压力越来越大，而不论是气缸顶升或者附属电机驱动都存在刚性不足的问题，这种情况会导致磨针速度受限，并容易导致磨针位置偏移，不同位置针高度出现偏差，严重时会导致扎针测试晶圆报废，针卡未到使用寿命提前报废。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种磨针台，具有提高了打磨台在打磨时的稳定性，提高了驱动气缸的使用寿命的特点。
[0005]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0006]一种磨针台，包括支架，在支架上固定连接有一驱动气缸，驱动气缸伸缩端呈竖直向上运动，在驱动气缸伸缩端上固定连接有一安装板，在安装板上安装有一打磨台，在支架上固定连接有一固定板，固定板呈水平设置，在固定板上安装有一垫板，在垫板靠近驱动气缸的一端端面上开设有一配合槽，配合槽的上下均与外界连通，在固定板上设有用于驱动垫板沿着水平方向来回运动的驱动件。
[0007]进一步的，所述支架包括底板，底板呈矩形设置，在底板上表面的四个角上均固定连接有一竖杆，在竖杆上表面上固定连接有一顶板，驱动气缸固定连接在底板上表面上，在顶板上开设有一通孔，驱动气缸的伸缩端穿过通孔，所述安装板位于顶板上方，所述固定板固定连接在顶板一侧侧壁上。
[0008]进一步的，所述固定板上表面低于顶板上表面，所述垫板下表面抵接在顶板上表面上。
[0009]进一步的，在所述安装板和打磨台之间设有一连接机构，连接机构包括固定连接在安装板两端上表面上的连接板、固定连接在安装板一侧侧壁上的挡板、开设在打磨台两端端面上的安装槽、固定连接在两块连接板相对面上的安装条、螺纹连接诶在安装板远离挡板的一侧侧壁上的连接螺栓和滑动连接在连接螺栓上的连板，所述连板的一侧抵接在打磨台侧壁上，所述打磨台通过安装槽滑动连接在安装条上。
[0010]进一步的，在所述底板上固定连接有两根伸缩杆，两根伸缩杆位于驱动气缸的两侧且两根伸缩杆的轴线和驱动气缸的轴线处于同一竖直平面内，在顶板上开设有两个贯穿
孔，伸缩杆的一端穿过贯穿孔后与安装板的下表面固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0012]1、本技术通过在对探针进行打磨时，驱动气缸驱动安装板向上运动，然后通过驱动件驱动垫板运动，垫板运动至安装板下方，驱动气缸的伸缩端滑动连接在配合槽中，安装板下表面抵接在垫板上表面上，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了打磨台在打磨时的稳定性，提高了驱动气缸的使用寿命。
[0013]2、本技术通过在底板上固定伸缩杆，伸缩杆的上端通过贯穿孔与安装板下表面固定连接，通过这样的设置，结构简单，操作方便，提高了安装板上下运动的稳定性。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图。
[0015]图中，1、支架；2、驱动气缸；3、安装板；4、打磨台；5、固定板；6、垫板；7、配合槽；8、驱动件；9、底板；10、竖杆；11、顶板；12、通孔；13、连接机构；14、连接板；15、挡板；16、安装槽；17、安装条；18、连板；19、连接螺栓；20、伸缩杆；21、贯穿孔。
具体实施方式
[0016]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0017]如图1所示，一种磨针台，包括支架1，支架1包括底板9，底板9呈矩形设置，在底板9上表面的四个角上均固定连接有一竖杆10，在四根竖杆10的上表面上固定连接有一顶板11，在顶板11上开设有一通孔12。
[0018]如图1所示，在底板9上表面上固定连接有一驱动气缸2，驱动气缸2的伸缩端呈竖直向上运动，驱动气缸2的伸缩端滑动连接在通孔12中，在驱动气缸2的伸缩端上固定连接有一安装板3，安装板3呈水平设置，在安装板3上表面上安装有一打磨台4。
[0019]如图1所示，为了提高打磨台4的稳定性，在顶板11侧壁上固定连接有一固定板5，固定板5呈水平设置，固定板5的上表面低于顶板11上表面，在固定板5上安装有一垫板6，垫板6可以沿着水平方向来回运动，垫板6的下表面抵接在顶板11上表面上，在固定板5上设有用于驱动垫板6沿着水平方向来回运动的驱动件8，驱动件8设置为气缸、电缸、电机丝杠螺母其中的一种，在垫板6远离驱动件8的一端端面上开设有一配合槽7，配合槽7的上下表面均与外界连通。
[0020]如图1所示，为了提高安装板3的稳定性，在底板9上固定连接有两根伸缩杆20，两根伸缩杆20的轴线与驱动气缸2的轴线位于同一竖直平面内且两根伸缩杆20分别位于驱动气缸2的两侧，在顶板11上开设有贯穿孔21，伸缩杆20的上端穿过贯穿孔21后与安装板3下表面固定连接。
[0021]如图1所示，为了方便操作者对打磨台4的安装和拆卸，在打磨台4和安装板3之间设有一连接机构13，连接机构13包括两块连接板14，两块连接板14分别固定连接在安装板3两端端面上，在安装板3一侧侧壁上固定连接有一挡板15，在两块连接板14的相对面上均固定连接有一安装条17，在打磨台4的两端端面上均开设有一安装槽16，打磨台4通过安装槽16滑动连接在安装条17上，在安装板3远离挡板15的一侧侧壁上螺纹连接有一连接螺栓19，
在连接螺栓19上滑动连接有一连板18，连板18的一侧抵接在打磨台4侧壁上。
[0022]本技术实施例的工作原理：操作者需要进行打磨时，驱动气缸2驱动安装板3向上运动，驱动件8驱动垫板6运动，垫板6运动至安装板3下方，驱动气缸2驱动安装板3抵紧在垫板6上表面上，安装板3抵紧在垫板6上表面上后在对探针进行打磨。
[0023]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
[0024]尽管本文较多地使用了等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本技术的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本技术精神相违背的。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨针台，包括支架(1)，其特征在于，在支架(1)上固定连接有一驱动气缸(2)，驱动气缸(2)伸缩端呈竖直向上运动，在驱动气缸(2)伸缩端上固定连接有一安装板(3)，在安装板(3)上安装有一打磨台(4)，在支架(1)上固定连接有一固定板(5)，固定板(5)呈水平设置，在固定板(5)上安装有一垫板(6)，在垫板(6)靠近驱动气缸(2)的一端端面上开设有一配合槽(7)，配合槽(7)的上下均与外界连通，在固定板(5)上设有用于驱动垫板(6)沿着水平方向来回运动的驱动件(8)。2.根据权利要求1所述的一种磨针台，其特征在于，所述支架(1)包括底板(9)，底板(9)呈矩形设置，在底板(9)上表面的四个角上均固定连接有一竖杆(10)，在竖杆(10)上表面上固定连接有一顶板(11)，驱动气缸(2)固定连接在底板(9)上表面上，在顶板(11)上开设有一通孔(12)，驱动气缸(2)的伸缩端穿过通孔(12)，所述安装板(3)位于顶板(11)上方，所述固定板(5)固定连接在顶板(11)一侧侧壁上。3.根据权利要求2所述的一种磨针台，其特征在于，所述固定板(5)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴涵，朱天宇，
申请(专利权)人：嘉兴威伏半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：