【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构
[0001]本技术涉及光刻胶加工
，具体为一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构。
技术介绍
[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。在使用过程中，将晶片放置在自转机上，涂布头将光刻胶喷洒在旋转的晶片基板中心，液态的光刻胶在旋转的晶片上依据离心力，铺展开来，依据自身的粘性，在晶片基板上以均匀地厚度分布，对镜片涂抹光刻胶后需要进行烘干。
[0003]但是现有技术在实际使用时，烘烤设备在对光刻胶烘烤完成后，烘烤设备设备内部的温度较高，从而不便于将烘干完成的光刻胶快速取出。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，以解决烘烤设备在对光刻胶烘烤完成后，烘烤设备设备内部的温度较高，从而不便于将烘干完成的光刻胶快速取出的问题。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的表面固定连接有伺服电机(2)，所述伺服电机(2)的输出轴固定连接有第一直齿轮(3)，所述底座(1)的表面固定连接有两个侧板(4)，两个所述侧板(4)相对面的一侧转动连接有转动轴(5)，所述转动轴(5)、的表面固定连接有轴座(6)，所述轴座(6)的表面固定连接有盖盘(7)，所述转动轴(5)的表面固定连接有第二直齿轮(9)，所述转动轴(5)的表面固定连接有两个第一张紧轮(10)，所述侧板(4)的内壁转动连接有齿轮轴(11)，所述齿轮轴(11)的表面固定连接有第二张紧轮(12)，所述第一张紧轮(10)的内壁和第二张紧轮(12)的内壁均传动连接有皮带(13)，所述齿轮轴(11)的表面固定连接有第三直齿轮(14)，所述底座(1)的内壁固定连接有两个滑轨(15)，所述滑轨(15)的内壁滑动连接有滑杆(16)，所述滑杆(16)的表面开设有齿槽(17)，所述滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：安礼余，肖山竹，
申请(专利权)人：宇弘研科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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