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本实用新型公开了一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座，所述底座的表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一直齿轮，所述底座的表面固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴、的表面固定连接有轴座...
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