一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座，所述底座的表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一直齿轮，所述底座的表面固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴、的表面固定连接有轴座。本实用新型专利技术通过启动伺服电机，第一张紧轮通过皮带带动第二张紧轮和齿轮轴旋转，齿轮轴带动第三直齿轮旋转，第三直齿轮通过齿槽带动滑杆沿着滑轨内壁滑动，滑杆通过连接板带动放置台向外侧进行移动，从而便于将烘干完成的光刻胶快速取出，并且当关闭盖盘时，还能够自动将放置台向内侧移动，便于将新的光刻胶从外侧放入，提高装置的安全性能。装置的安全性能。装置的安全性能。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构


[0001]本技术涉及光刻胶加工
，具体为一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构。

技术介绍

[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。在使用过程中，将晶片放置在自转机上，涂布头将光刻胶喷洒在旋转的晶片基板中心，液态的光刻胶在旋转的晶片上依据离心力，铺展开来，依据自身的粘性，在晶片基板上以均匀地厚度分布，对镜片涂抹光刻胶后需要进行烘干。
[0003]但是现有技术在实际使用时，烘烤设备在对光刻胶烘烤完成后，烘烤设备设备内部的温度较高，从而不便于将烘干完成的光刻胶快速取出。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，以解决烘烤设备在对光刻胶烘烤完成后，烘烤设备设备内部的温度较高，从而不便于将烘干完成的光刻胶快速取出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括底座，所述底座的表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一直齿轮，所述底座的表面固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴、的表面固定连接有轴座，所述轴座的表面固定连接有盖盘，所述转动轴的表面固定连接有第二直齿轮，所述转动轴的表面固定连接有两个第一张紧轮，所述侧板的内壁转动连接有齿轮轴，所述齿轮轴的表面固定连接有第二张紧轮，所述第一张紧轮的内壁和第二张紧轮的内壁均传动连接有皮带，所述齿轮轴的表面固定连接有第三直齿轮，所述底座的内壁固定连接有两个滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有滑杆，所述滑杆的表面开设有齿槽，所述滑杆的表面固定连接有连接板，所述连接板远离滑杆的一端固定连接有放置台。
[0006]优选的，所述盖盘的表面固定连接有前挡板。
[0007]优选的，所述第二直齿轮的表面与第一直齿轮的表面啮合。
[0008]优选的，所述滑杆通过齿槽与第三直齿轮的表面啮合。
[0009]优选的，所述放置台的表面开设有放置槽。
[0010]优选的，所述底座的表面固定连接有后盖板。
[0011]优选的，所述后盖板的两端分别与两个侧板的表面固定连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过启动伺服电机，伺服电机的输出轴带动第一直齿轮旋转，第一直齿轮带动第二直齿轮和转动轴旋转，转动轴带动轴座和盖盘旋转将烘烤装置打开，同时转动轴带动第一张紧轮旋转，第一张紧轮通过皮带带动第二张紧轮和齿轮轴旋转，齿轮轴
带动第三直齿轮旋转，第三直齿轮通过齿槽带动滑杆沿着滑轨内壁滑动，滑杆通过连接板带动放置台向外侧进行移动，从而便于将烘干完成的光刻胶快速取出，并且当关闭盖盘时，还能够自动将放置台向内侧移动，便于将新的光刻胶从外侧放入，提高装置的安全性能。
附图说明
[0014]图1为本技术一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构整体结构示意图；
[0015]图2为本技术一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构侧板结构剖视图；
[0016]图3为本技术一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构转动轴结构示意图；
[0017]图4为本技术一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构图2中A处结构放大图。
[0018]图中：1、底座；2、伺服电机；3、第一直齿轮；4、侧板；5、转动轴；6、轴座；7、盖盘；8、前挡板；9、第二直齿轮；10、第一张紧轮；11、齿轮轴；12、第二张紧轮；13、皮带；14、第三直齿轮；15、滑轨；16、滑杆；17、齿槽；18、连接板；19、放置台；20、放置槽；21、后盖板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：包括底座1，底座1的表面固定连接有伺服电机2，伺服电机2的输出轴固定连接有第一直齿轮3，底座1的表面固定连接有两个侧板4，两个侧板4相对面的一侧转动连接有转动轴5，转动轴5、的表面固定连接有轴座6，轴座6的表面固定连接有盖盘7，转动轴5的表面固定连接有第二直齿轮9，转动轴5的表面固定连接有两个第一张紧轮10，侧板4的内壁转动连接有齿轮轴11，齿轮轴11的表面固定连接有第二张紧轮12，第一张紧轮10的内壁和第二张紧轮12的内壁均传动连接有皮带13，齿轮轴11的表面固定连接有第三直齿轮14，底座1的内壁固定连接有两个滑轨15，滑轨15的内壁滑动连接有滑杆16，滑杆16的表面开设有齿槽17，滑杆16的表面固定连接有连接板18，连接板18远离滑杆16的一端固定连接有放置台19。
[0021]如图1所示，盖盘7的表面固定连接有前挡板8，前挡板8能够将装置的前侧进行密封，提高装置整体的严密性。
[0022]如图3所示，第二直齿轮9的表面与第一直齿轮3的表面啮合，第一直齿轮3相比第二直齿轮9偏小，即第一直齿轮3与第二直齿轮9之间的传动比较大，第一直齿轮3施加较小的力就能够带动第二直齿轮9旋转，能够降低伺服电机2的输出扭矩。
[0023]如图2、图4所示，滑杆16通过齿槽17与第三直齿轮14的表面啮合。
[0024]如图1所示，放置台19的表面开设有放置槽20，放置槽20能够对光刻胶的位置进行定位。
[0025]如图1所示，底座1的表面固定连接有后盖板21，后盖板21能够将装置的后侧进行密封，提高装置整体的严密性。
[0026]如图1所示，后盖板21的两端分别与两个侧板4的表面固定连接。
[0027]工作原理：在使用时，该技术通过启动伺服电机2，伺服电机2的输出轴带动第
一直齿轮3旋转，第一直齿轮3带动第二直齿轮9和转动轴5旋转，转动轴5带动轴座6和盖盘7旋转将烘烤装置打开，同时转动轴5带动第一张紧轮10旋转，第一张紧轮10通过皮带13带动第二张紧轮12和齿轮轴11旋转，齿轮轴11带动第三直齿轮14旋转，第三直齿轮14通过齿槽17带动滑杆16沿着滑轨15内壁滑动，滑杆16通过连接板18带动放置台19向外侧进行移动，从而便于将烘干完成的光刻胶快速取出，并且当关闭盖盘7时，还能够自动将放置台19向内侧移动，便于将新的光刻胶从外侧放入，提高装置的安全性能。
[0028]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的表面固定连接有伺服电机(2)，所述伺服电机(2)的输出轴固定连接有第一直齿轮(3)，所述底座(1)的表面固定连接有两个侧板(4)，两个所述侧板(4)相对面的一侧转动连接有转动轴(5)，所述转动轴(5)、的表面固定连接有轴座(6)，所述轴座(6)的表面固定连接有盖盘(7)，所述转动轴(5)的表面固定连接有第二直齿轮(9)，所述转动轴(5)的表面固定连接有两个第一张紧轮(10)，所述侧板(4)的内壁转动连接有齿轮轴(11)，所述齿轮轴(11)的表面固定连接有第二张紧轮(12)，所述第一张紧轮(10)的内壁和第二张紧轮(12)的内壁均传动连接有皮带(13)，所述齿轮轴(11)的表面固定连接有第三直齿轮(14)，所述底座(1)的内壁固定连接有两个滑轨(15)，所述滑轨(15)的内壁滑动连接有滑杆(16)，所述滑杆(16)的表面开设有齿槽(17)，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：安礼余，肖山竹，
申请(专利权)人：宇弘研科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：