本实用新型专利技术提供了一种氯硅烷中固态物质含量检测装置，涉及多晶硅技术领域。本实用新型专利技术包括滤罐，滤罐侧部设有与抽滤泵连通的抽吸管，滤罐顶部设有漏斗，漏斗外部套设有密封罩，密封罩顶部设有进液管，漏斗上设置有滤纸，密封罩上设有进气管和排气管。本实用新型专利技术用以对氯硅烷中固态物质含量进行检测，在去除工艺生产中的固态物质时，为增设的过滤装置、改进的生产工艺等提供必要的数据支撑和参考。生产工艺等提供必要的数据支撑和参考。生产工艺等提供必要的数据支撑和参考。
【技术实现步骤摘要】
一种氯硅烷中固态物质含量检测装置
[0001]本技术涉及多晶硅
，具体涉及一种氯硅烷中固态物质含量检测装置。
技术介绍
[0002]多晶硅有灰色金属光泽，溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸,硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性，1300℃时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，几乎能与任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性。电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。
[0003]目前，多晶硅生产工序中会产生部分含有硅粉、三氯化铝等固态物质存在的液态氯硅烷，为去除工艺生产中的固态物质，需要增加过滤装置、改进生产工艺等，这就需要对氯硅烷中的固态物质进行准确检测，以提供必要的数据支撑和参考。然而，现有技术主要涉及氯硅烷组分、金属杂质、碳含量等检测，尚无氯硅烷中固态物质含量检测。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是开发一种将氯硅烷中固态物质进行过滤的氯硅烷中固态物质含量检测装置。
[0005]本技术通过如下的技术方案实现：
[0006]一种氯硅烷中固态物质含量检测装置，包括：
[0007]滤罐；
[0008]抽吸管，设于滤罐侧部并与抽滤泵连通；
[0009]漏斗，设于滤罐顶部；
[0010]密封罩，套设在漏斗外部；
[0011]进液管，设于密封罩顶部；
[0012]其中，所述漏斗上设置有滤纸，所述密封罩上设有进气管和排气管。
[0013]可选的，所述漏斗外壁上设有一圈凸台，所述凸台与密封罩底部边缘接触，所述密封罩底部边缘内侧设有一圈外凸环，所述漏斗外壁上设有一圈与外凸环配合的内凸环，所述内凸环表面设有一层密封层。
[0014]可选的，所述密封罩为带耳石英罩。
[0015]可选的，所述进液管设于密封罩上方，所述密封罩顶部设有多个与进液管连通的分液管。
[0016]可选的，所述分液管包括互相连通的竖直部和倾斜部，所述竖直部与密封罩顶部连接，所述竖直部底端处于漏斗内滤纸的上方，所述倾斜部处于密封罩顶部外侧，所述倾斜部顶端向密封罩中间倾斜，所述倾斜部顶端与进液管连通。
[0017]可选的，所述进气管和排气管上分别设有进气阀和排气阀。
[0018]可选的，所述进气管上还连通有分流管，所述分流管上设有分流阀，所述分流管与滤罐之间通过活动管连通，所述活动管与分流管及滤罐可拆卸连接。
[0019]可选的，所述分流管及进气阀在进气管上按照气流方向顺次设置。
[0020]可选的，所述滤罐及漏斗为聚四氟乙烯材质。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]本技术用以对氯硅烷中固态物质含量进行检测，在去除工艺生产中的固态物质时，为增设的过滤装置、改进的生产工艺等提供必要的数据支撑和参考；氯硅烷加入装置前进行空气置换，并且氯硅烷过滤过程中保持高纯惰性气体吹扫，避免氯硅烷与空气中的水分反应生成二氧化硅而影响检测准确性；在氯硅烷完成过滤后，持续流入的高纯惰性气体可加快滤纸上残留氯硅烷的挥发速度，减少滤纸干燥用时，提高工作效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术结构图；
[0025]图2为密封罩与漏斗连接示意图。
具体实施方式
[0026]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本专利技术创造的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0027]在本专利技术创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造的限制。
[0028]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。
[0029]如图1和图2所示，本技术公开了一种氯硅烷中固态物质含量检测装置，包括滤罐1，滤罐1顶部设有与其连通的漏斗2。滤罐1顶部设有注气管11，滤罐1侧壁上设有抽吸管3，抽吸管3与抽滤泵连通。滤罐1、漏斗2、注气管11及抽吸管3均为聚四氟乙烯材质。
[0030]漏斗2内设有滤纸，漏斗2外部罩设有密封罩4，密封罩4为带耳石英罩，密封罩4呈圆桶状。
[0031]漏斗2外壁上设有一圈凸台21，凸台21与密封罩4底部边缘接触，对密封罩4支撑。
[0032]密封罩4底部边缘内侧设有一圈外凸环41，漏斗2外壁上设有一圈与外凸环41配合的内凸环22，内凸环22表面设有一层密封层23。
[0033]密封罩4套入漏斗2上，密封罩4底部外凸环41滑过漏斗2上的内凸环22，此时漏斗2或内凸环22进行一定的弹性形变，使外凸环41卡入内凸环22下部，内凸环22及密封层23抵在密封罩4内壁上。通过外凸环41与内凸环22的配合，实现密封罩4与漏斗2活动卡接，并且卡接后密封。
[0034]密封罩4顶部设有两个分液管7，分液管7包括互相连通的竖直部71和倾斜部72。竖直部71与密封罩4顶部连接，密封罩4与漏斗2卡接后，竖直部71底端处于漏斗2内滤纸的上方。倾斜部72处于密封罩4顶部外侧，倾斜部72顶端向密封罩4中间倾斜。
[0035]密封罩4上方设有进液管8，两个分液管7倾斜部72的顶端与进液管8连通。
[0036]密封罩4侧壁上连通有进气管5和排气管6，进气管5在气流输送方向上依次设有与其连通的分流管9及进气阀，分流管9上还设有分流阀，分流管9与注气管11之间连通有活动管10，活动管10与分流管9及注气管11均为可拆卸连接，活动管10可以是弹性软管，排气管6上设有排气阀。
[0037]本技术的工作过程及原理：
[0038]将滤纸放入漏斗2，将密封罩4卡接在漏斗2上，在分流管9与注气管11之间连通活动管10，抽滤泵与抽吸管3连通；
[0039]关闭排气阀，打开进气阀和分流阀，向进气管5中输送高纯惰性气体，高纯惰性气体可以是高纯氩气或氮气，部分高纯惰性气体由进气管5进入密封罩4，另一部分高纯惰性气体由分流管9、活动管10及注气管11本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷中固态物质含量检测装置，其特征在于，包括：滤罐；抽吸管，设于滤罐侧部并与抽滤泵连通；漏斗，设于滤罐顶部；密封罩，套设在漏斗外部；进液管，设于密封罩顶部；其中，所述漏斗上设置有滤纸，所述密封罩上设有进气管和排气管。2.根据权利要求1所述的氯硅烷中固态物质含量检测装置，其特征在于，所述漏斗外壁上设有一圈凸台，所述凸台与密封罩底部边缘接触，所述密封罩底部边缘内侧设有一圈外凸环，所述漏斗外壁上设有一圈与外凸环配合的内凸环，所述内凸环表面设有一层密封层。3.根据权利要求1所述的氯硅烷中固态物质含量检测装置，其特征在于，所述密封罩为带耳石英罩。4.根据权利要求1所述的氯硅烷中固态物质含量检测装置，其特征在于，所述进液管设于密封罩上方，所述密封罩顶部设有多个与进液管连通的分液管。5.根据权利要求4所述的氯硅烷中固态物质含量检测装...
【专利技术属性】
技术研发人员：李日红，侯海波，武红元，慕道焱，何鹏，
申请(专利权)人：内蒙古通威高纯晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：
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